专利名称：一种自适应基板尺寸的真空吸附平台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空吸附装置，尤其涉及一种自适应基板尺寸的真空吸附平台。
背景技术：
在平板显示器如rop、IXD、OLED的玻璃基板制程中，一般在后工序制程中需要对前工序大尺寸的基板进行切割、分断，以制成较小尺寸的平板显示器，在玻璃基板的切割、分断工艺中通常使用真空吸附工作台对待加工的基板予以吸附、固持。类似地，在其它平板型工件如PCB的加工过程中也广泛地使用真空吸附工作台。在实际生产中，玻璃基板等平板型工件的规格和尺寸常有变化，也就是要求某种规格尺寸的真空吸附工作台能够兼容适用于该规格最大尺寸及以下尺寸的平板型工件。传统的真空吸附工作台技术解决方案是:为避免未被平板型工件覆盖的吸气孔与大气接通，采用塑料薄膜等材料覆盖没有平板型工件的工作台吸附孔区域，或采用螺丝等堵塞元件将未被平板型工件覆盖的吸气孔封住，以免漏气。显然这种方法使用不便，效率低下。由于传统解决方案的缺陷，一些研究人员提出了自动调整吸附范围的真空吸附装置。如专利号01261453.X提出将吸附工作台分隔成不同区域，利用压力传感器感测不同区域真空度，以判断不同区域是否被平板型工件覆盖，从而控制相应区域的真空阀门的开启与关闭。显然此种方案技术复杂,成本高。申请号200910135112.7的专利申请提出利用摆杆原理，在吸附工作台上每个吸附孔内内置一个Z字型摆杆，无平板型工件覆盖区域的Z字型杠杆一端伸出台面、另一端在重力作用下隔阻吸附孔下侧孔口，有平板型工件覆盖时Z字型摆杆伸出台面一端受工件作用而向下摆动，另一端则抬起，从而打开吸气孔下侧孔口，即吸气孔与内部真空接通。此种方案的异型吸气孔加工难度高，且易对基板表面造成划伤。另一中国专利02239287.4提出用大型薄板制成悬伸薄片，利用悬伸薄片的弯曲摆动阻挡吸气孔以将工作台未被平板型工件覆盖部分的吸附孔与内部真空隔离。此种方案要求薄板材料尺寸规格与吸附工作台相同，市场上的薄板材料往往不能满足要求，而且此种方案结构比较复杂，获取成本较高。申请号201110290659.1和201210111025.X的专利申请分别提出使用多孔质板或
膜作为透气层，利用多孔质材料中的微孔产生的压降来阻隔未被平板型工件覆盖部分的大气与工作台内部真空接通，此两种解决方案存在的不足之处一是需要特殊的多孔质材料，二是存在额外的能源损失。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种结构简单、成本低廉的自适应基板尺寸的真空吸附平台，尤其适用于平板显示器行业玻璃基板的切割、分断工艺。[0009]为了实现以上目的，本实用新型的自适应基板尺寸的真空吸附平台，包括真空阀板，和置于真空阀板上的阵列分布有贯穿的吸附小孔的真空吸附载板，以及置于真空阀板下的基座，所述真空阀板上阵列分布设置长方形沉槽，所述长方形沉槽底部为圆弧形面，所述圆弧形面底部中心设置一通孔，所述长方形沉槽中活动地设置一长方形弹性膜片。所述长方形弹性膜片的长边两侧有连通长方形沉槽和沉槽底部通孔的槽口。在所述长方形沉槽底部长度方向两端为平面，中部为圆弧形面。在所述长方形沉槽底部圆弧形面中心通孔的周边局部敷设圆弧形胶片，圆弧形胶片具有与圆弧形面一致的曲率半径。进一步的，所述吸附小孔为逐渐过渡的台阶孔。本实用新型与现有技术相比，其显著优点:(1)具有结构简单、使用方便、成本较低；(2)能够吸附住有效吸附面积不能完全覆盖住真空吸附工作台上吸气孔的平板型工件，可自动适应平板型工件的规格和尺寸。
图1是本实用新型的示意图；图2是本实用新型的剖视图；图3是图2所示I处的局部放大图；图4是本实用新型的真空阀板平面图；图5是图4所示II处的局部放大图；图6是本实用新型的长方形弹性膜片平面图。其中，附图中的附图标记所对应的名称为:I—真空吸附载板，11—吸附小孔，111—细孔，112—过渡孔，113—吸附孔口，2—真空阀板，21 一长方形沉槽，211 一平面，212一圆弧形面，22一通孔，23一圆弧形I父片，24一弹性膜片，241—槽口，3—基座，31 —凹槽，32—通孔，33—沉孔，4一管接头，5—平板型工件，6一螺栓。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明:实施例如图1-6所示，本实用新型的自适应基板尺寸的真空吸附平台，包括真空阀板2，和置于真空阀板2上的阵列分布有贯穿的吸附小孔11的真空吸附载板1，以及置于真空阀板2下的基座3，真空阀板2上阵列分布设置长方形沉槽21，长方形沉槽21底部为圆弧形面212，圆弧形面212底部中心设置一通孔22，所长方形沉槽21中活动地置一长方形弹性膜片24。吸附小孔11设为逐步过渡的阶梯孔，上端为细孔111，中部为直径稍大的过渡孔112，下端为吸附孔口 113。平板型工件5置于真空吸附载板I上。真空阀板2设于真空吸附载板I下方，在真空阀板2上具有若干与吸附小孔11一一对应的长方形沉槽21，长方形沉槽21底部两端为平面211，中部为圆弧形面212，圆弧形面212中心有一通孔22，通孔22周边局部敷设圆弧形胶片23。在长方形沉槽21中活动地置有一长方形弹性膜片24，并由长方形沉槽21底部两端平面211支承，弹性膜片24长边两侧有连通长方形沉槽21和沉槽底部通孔22的槽口 241。基座3设于真空阀板2下方，在基座上设有连通真空阀板2上通孔22的凹槽31，在凹槽31中部通孔32上设有管接头4用以将凹槽31与真空源接通。为了更好地实施本实用新型，真空吸附载板I设有螺纹盲孔114，在真空阀板2和基座3上分别设有与螺纹盲孔114 一一对应的通孔和沉孔33，并通过螺栓6将真空吸附载板1、真空阀板2和基座3置加紧固在一起。由上述构件组成本实用新型的真空吸附平台，在真空吸附平台上没有平板型工件覆盖且管接头4未与真空源接通时，真空吸附载板I上部的大气经由载板I上的吸附小孔
11、真空阀板2上的长方形沉槽21、弹性膜片24上两侧的槽口 241、弹性膜片24下表面与长方形沉槽21圆弧形底部212之间的空隙和通孔22，与基座3上的凹槽31接通。本实用新型工作时，首先将平板型工件5置于真空吸附载板I上，然后将连接于管接头4与真空源之间的真空开关打开，从而将真空阀板2上的通孔22通过基座3的凹槽31、中部通孔32与真空源接通。当真空吸附载板I上的吸附小孔11未被平板型工件5覆盖时，经由真空吸附载板I上的吸附小孔11、真空阀板2上的长方形沉槽21 (弹性膜片24上表面以上)、弹性膜片24上两侧的槽口 241的大气在流经弹性膜片24下表面与长方形沉槽21圆弧形底部212之间的空隙时，流速加大，形成负压，而此时弹性膜片24上表面承受近于大气压的压力，弹性膜片24在上下表面的压力差作用下，其中部逐步向下弯曲而与长方形沉槽21底部的圆弧形面212贴和，从而将弹性膜片24上表面的大气与基座3上凹槽31中的真空隔断。为了增加长方形沉槽21底部的圆弧形面212与弹性膜片24下表面之间的密闭效果，在圆弧形底部212通孔22周边局部敷设圆弧形胶片23，并使圆弧形胶片23上表面具有与长方形沉槽底部一致的曲率半径。当真空吸附载板I的吸附孔11被平板型工件覆盖时，吸附小孔11中和长方形沉槽21上部空间的气体经由弹性膜片24两侧边槽口 241、弹性膜片24下表面与长方形沉槽21圆弧形底部212之间的空隙和通孔22与真空源接通而快速排出，也即吸附小孔11中和弹性膜片24上部空间的压力迅速降低，从而弹性膜片24上下表面之间的压力差较小，不足以使弹性膜片24向下产生足够的弯曲变形量，吸附小孔11同凹槽31处于连通的状态，也就是说被平板型工件覆盖的吸附小孔11与真空源保持接通状态，将平板型工件吸附、固持在吸附工作台上。在实际应用中，可根据平板型工件有效吸附面积以及对吸附力大小的要求等，对吸附小孔11的直径和长度、弹性膜片22的材料和厚度、长方形沉槽21底部的曲率半径等参数进行配合设计以使真空吸附平台达到最佳应用效果。综上所述，本实用新型工作时，置于真空阀板2长方形沉槽中的弹性膜片24能够自动地把未被工件覆盖的吸附小孔11与内部真空之间遮断和密闭，而被工件覆盖的吸附小孔11则能够保持与内部真空接通，从而本实用新型能够根据玻璃基板等平板型工件的规格和尺寸变化，自动地调整吸附范围。
权利要求1.一种自适应基板尺寸的真空吸附平台，包括真空阀板(2)，和置于真空阀板(2)上的阵列分布有贯穿的吸附小孔(11)的真空吸附载板(1)，以及置于真空阀板(2)下的基座(3)，其特征在于:所述真空阀板(2)上阵列分布设置长方形沉槽(21)，所述长方形沉槽(21)底部为圆弧形面(212)，所述圆弧形面(212)底部中心设置一通孔(22)，所述长方形沉槽(21)中活动地设置一长方形弹性膜片(24)。
2.根据权利要求1所述的自适应基板尺寸的真空吸附平台，其特征在于:所述长方形弹性膜片(24)的长边两侧有连通长方形沉槽(21)和沉槽底部通孔(22)的槽口(241)。
3.根据权利要求1所述的自适应基板尺寸的真空吸附平台，其特征在于:所述长方形沉槽(21)底部长度方向两端为平面(211)，中部为圆弧形面(212)。
4.根据权利要求1所述的自适应基板尺寸的真空吸附平台，其特征在于:所述长方形沉槽(21)底部圆弧形面(212)中心通孔(22)的周边局部敷设圆弧形胶片(23)，圆弧形胶片(23)与圆弧形面(212)具有一致的曲率半径。
5.根据权利要求1所述的自适应基板尺寸的真空吸附平台，其特征在于:所述吸附小孔(11)为逐渐过渡的台阶孔。
6.根据权利要求1所述的自适应基板尺寸的真空吸附平台，其特征在于:所述真空吸附载板(I)设有螺纹盲孔(114)，在所述真空阀板(2)和基座(3)上分别设有与螺纹盲孔(114) 一一对应的通孔(32)和沉孔(33)，螺栓(6)通过通孔(32)、沉孔(33)和螺纹盲孔(114)将真空 吸附载板(I)、真空阀板(2)和基座(3)叠加紧固在一起。
专利摘要本实用新型公开了一种自适应基板尺寸的真空吸附平台，包括真空阀板(2)，和置于真空阀板(2)上的阵列分布有贯穿的吸附小孔(11)的真空吸附载板(1)，以及置于真空阀板(2)下的基座(3)，真空阀板(2)上阵列分布设置长方形沉槽(21)，长方形沉槽(21)底部为圆弧形面(212)，圆弧形面(212)底部中心设置一通孔(22)，长方形沉槽(21)中活动地置一长方形弹性膜片(24)。本实用新型能广泛应用在平板显示器玻璃基板及其它平板型工件如PCB的加工过程中。
文档编号C03B33/00GK203156623SQ20132015821
公开日2013年8月28日 申请日期2013年4月1日 优先权日2013年4月1日
发明者王会中, 李宗泽 申请人:四川长虹电器股份有限公司