一种金刚线切割冷却液喷液嘴的制作方法

文档序号:1888250阅读:624来源:国知局
一种金刚线切割冷却液喷液嘴的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种金刚线切割冷却液喷液嘴,包括导流板、分流管和喷液嘴主体,所述喷液嘴主体内腔为圆柱形、且沿其侧壁上的一条母线设置一条长直的开口;所述分流管置于喷液嘴主体的内腔中,沿分流管侧壁上的一条母线均匀设有若干相同的喷液孔,所述喷液孔与开口反向放置,所述导流板包括支撑板和导向板,所述喷液嘴主体置于支撑板上,支撑板后方设有过滤网,所述过滤网与支撑板平滑连接,所述过滤网下方设置导向板,所述导向板与支撑板之间呈一定夹角,所述冷却液以45°喷射到切割金刚线和硅棒的接触处,增加进入锯缝的冷却液量,均匀润湿,提高冷却效率和切割硅片的表面质量,同时延长切割金刚线的使用寿命。
【专利说明】一种金刚线切割冷却液喷液嘴
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及线切割领域,尤其是一种金刚线切割冷却液喷液嘴。
【背景技术】
[0002]目前,线切割作为机械加工的一种方式已经广泛地应用在多个行业,近年来随着光伏产业的快速发展,线切割也进入到该行业,作为加工硅棒的必要步骤之一。国内光伏行业的硅片切割大都是采用工艺比较成熟的碳化硅砂浆多线切割方式。近期,国外上开发了一种新型的硅片切割方式,即金刚线切割。金刚线切割技术是利用电镀方法将金刚石颗粒固定到普通钢线上,再通过快速走线对单晶棒进行切割,相比普通砂浆切割具有切割效率高,低成本,低污染,硅片表面质量高等特点。在切割过程中需要在快速运行的金刚线上均匀地喷上循环的冷却液,以防止切割时温度上升过高影响切割效果。现有的冷却液的喷嘴由分流管、喷液嘴主体和导流板组成,分流管置于喷液嘴主体的内腔中,喷液嘴置于导流板上,导流板下方设有切割线。冷却液从分流管的喷嘴中喷出经喷液嘴主体侧壁上相对应的开口中流出后流至导流板上,然后直接垂直地喷射到切割线的线网上,流量不均匀,不利于切割线将冷却液带到切割的硅棒的锯缝中,冷却效果差;同时不能很好地润湿切割线;而且冷却液循环过程中会有板结的硅粉聚团物堵住喷液嘴开口,影响液流的均一性和稳定性,造成在切割时硅片表面质量较低、TTV升高,金刚线单耗增加,甚至导致切割过程金刚线断线的重大质量事故。

【发明内容】

[0003]要解决的技术问题:针对现有技术的不足,本实用新型提供一种金刚线切割冷却液喷嘴,解决现有技术中的冷却液喷出流量不均匀、润湿切割线效果差造成切割硅片表面质量低、TTV升高、金刚线单耗增加、金刚线易断线、冷却效果不佳等技术问题。
[0004]技术方案:为解决上述技术问题,本实用新型采用以下技术方案:
[0005]一种金刚线切割冷却液喷液嘴,包括导流板、分流管和喷液嘴主体,所述喷液嘴主体内腔为圆柱形、且沿其侧壁上的一条母线设置一条长直的开口 ;所述分流管置于喷液嘴主体的内腔中,沿分流管侧壁上的一条母线均匀设有若干相同的喷液孔,所述喷液孔与开口的位置反向对准;所述导流板包括支撑板和导向板,所述喷液嘴主体置于支撑板上,支撑板后方设有过滤网,所述过滤网前侧与支撑板平滑连接,过滤网下方设置导向板,且过滤网后侧与导向板平滑连接,所述导向板与支撑板之间呈一定夹角。
[0006]进一步的,在本实用新型中,所述导向板由平行的向下弯折的长板构成,具体包括顺次连接过渡的A板、B板和C板,所述A板置于过滤网下方、且与过滤网后侧平滑连接,A板与支撑板之间呈锐角,所述B板与A板、C板之间均成钝角,所述C板与切割金刚线的走向夹角为45°。冷却液经多道缓冲,可使流量更加均匀;冷却液从C板上可以45°角喷射至IJ切割金刚线上,有利于更好地润湿切割金刚线以及进入切割硅棒的锯缝中。
[0007]进一步的,在本实用新型中,所述支撑板前方设有前挡板、两侧设有上侧挡板;所述过滤网后方设有后挡板;所述A板和B板两侧设有下侧挡板。保证冷却液不外漏。
[0008]有益效果:
[0009]本实用新型通过将冷却液的导流板上增加了过滤网,可滤除循环冷却液中颗粒较大的硅粉聚团物,避免大的硅粉聚团物堵住喷液嘴开口,影响液流的均一性和稳定性,造成在切割时硅片表面质量较差、TTV高,金刚线单耗增加,甚至导致切割过程金刚线断线的重大质量事故。
[0010]通过设置支撑板和导向板,且以45°角喷射到切割线上,对冷却液进行多重缓冲,使得流量更加均匀,且对切割金刚线的润湿效果好,切割金刚线可更加方便地将冷却液带到切割硅棒的锯缝中,提高了切割时的冷却效果和切割硅片表面的质量,金刚线表面电镀的金刚石颗粒被冷却液均匀包裹,减小了切割时的剧烈程度,提高其使用寿命,减低断线率,大大降低了生产成本。
【专利附图】

【附图说明】
[0011]图1为本实用新型中导流板的结构示意图;
[0012]图2为本实用新型中喷液嘴主体的结构示意图;
[0013]图3为本实用新型中分流管的结构示意图;
[0014]图4为本实用新型中整体装配的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
[0016]一种金刚线切割冷却液喷液嘴,包括导流板1、分流管2和喷液嘴主体3,所述喷液嘴主体3内腔为圆柱形、且沿其侧壁上的一条母线设置一条长直的开口 4,所述喷液嘴主体3的两端开口处设有固定板18 ;所述分流管2置于喷液嘴主体3的内腔中,所述分流管2靠近其一端开口处设有定位板19,所述定位板19与固定板18之间通过螺钉固定。沿分流管2侧壁上的一条母线均匀设有若干相同的喷液孔5,所述喷液孔5与开口 4的位置反向对准。
[0017]所述导流板I包括支撑板6和导向板7,所述支撑板6前方设有前挡板10、两侧设有上侧挡板14,所述两侧的上侧挡板14上设有对称的两个半圆孔17,所述喷液嘴主体3由两边的固定板18支撑、并放置于两个半圆孔17中间的支撑板6上,分流管2伸出喷液嘴主体3的部分恰好架在半圆孔17中;支撑板6后方设有过滤网9,过滤网9前侧与支撑板6平滑连接,过滤网9后方设有后挡板15。
[0018]所述过滤网9下方设置导向板7,导向板15与过滤网后侧平滑连接,所述导向板7与支撑板6之间呈一定夹角。所述导向板7由平行的向下弯折的长板构成,具体包括顺次连接过渡的A板11、B板12和C板13,所述A板11置于过滤网9下方、且与过滤网9后侧平滑连接,A板11与支撑板6之间呈锐角,所述B板12与A板11、C板13之间均成钝角,所述C板12与切割金刚线的走向夹角为45°,所述A板11和B板12两侧设有下侧挡板16。
[0019]工作时,循环的冷却液流入分流管2中,通过喷液孔5和开口 4流到支撑板6上。经过过滤网9的过滤,将循环的冷却液中颗粒较大的硅粉聚团物滤除,冷却液继而流到导向板7上,流动过程中前挡板10、上侧挡板14、下侧挡板16等均对冷却液进行阻挡防止其从周侧漏出。经过导向板7上的A板11、B板12和C板13的多道缓冲,使得冷却液流量更加均匀,然后以45°的角度喷射到前方的切割金刚线8和硅棒的接触处,相比于之前以90°喷射到切割金刚线8上,可以更加均匀地润湿切割金刚线8,有利于切割金刚线8将冷却液带到切割硅片的锯缝中,改善冷却效果和切割硅片的表面质量,金刚线表面电镀的金刚石颗粒被冷却液均匀包裹,减小了切割时的剧烈程度,提高其使用寿命,减低断线率,大大降低了生产成本。
[0020]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出:对于本【技术领域】的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种金刚线切割冷却液喷液嘴,包括导流板(I)、分流管(2)和喷液嘴主体(3),所述喷液嘴主体(3)内腔为圆柱形、且沿其侧壁上的一条母线设置一条长直的开口(4);所述分流管(2)置于喷液嘴主体(3)的内腔中,沿分流管(2)侧壁上的一条母线均匀设有若干相同的喷液孔(5),所述喷液孔(5)与开口(4)的位置反向对准,其特征在于:所述导流板(I)包括支撑板(6)和导向板(7),所述喷液嘴主体(3)置于支撑板(6)上,支撑板(6)后方设有过滤网(9),所述过滤网(9)前侧与支撑板(6)平滑连接,过滤网(9)下方设置导向板(7),且过滤网(9)后侧与导向板(7)平滑连接,所述导向板(7)与支撑板(6)之间呈一定夹角。
2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割冷却液喷液嘴,其特征在于:所述导向板(7)由平行的向下弯折的长板构成,具体包括顺次连接过渡的A板(11)、B板(12)和C板(13),所述A板(11)置于过滤网(9)下方、且与过滤网(9)后侧平滑连接,A板(11)与支撑板(6)之间呈锐角,所述B板(12)与A板(11)、C板(13)之间均成钝角,所述C板(12)与切割金刚线的走向夹角为45°。
3.根据权利要求1所述的一种金刚线切割冷却液喷液嘴,其特征在于:所述支撑板(6)前方设有前挡板(IO )、两侧设有上侧挡板(14 )。
4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割冷却液喷液嘴,其特征在于:所述过滤网(9)后方设有后挡板(15)。
5.根据权利要求2所述的一种金刚线切割冷却液喷液嘴,其特征在于:所述A板(11)和B板(12)两侧设有下侧挡板(16)。
【文档编号】B28D7/02GK203418655SQ201320427039
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年7月18日 优先权日:2013年7月18日
【发明者】邢旭 申请人:镇江荣德新能源科技有限公司
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