砂线切割液的回收方法
【专利摘要】本发明公开了一种砂线切割液的回收方法，包括：第一步，在沉淀池中放置60-120分钟；第二步，将沉淀池中上部的滤清液通过管路排出；第三步，进行纱布过滤，进一步滤除浮在表面的低密度杂质；第四步，按照体积比100:3的比例加入双氧水，即每100升滤清液中加入3升双氧水；第五步，通过致密石墨板进行二次过滤，并且致密石墨板每20分钟要进行反冲洗一次，保证过滤效果。通过上述技术方案回收的砂线切割液，可以进行重复利用，减少水污染的排放，可以将回收液里面的杂质进行收集和储藏，供二次使用；本砂线切割液的回收方法，可以减少70%的重金属污染的排放，减少85%的非金属有害物质的排放。
【专利说明】砂线切割液的回收方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种砂线切割液的回收方法，属于半导体材料切割【技术领域】。
【背景技术】
[0002]在进行半导体加工的过程中，所使用的砂线切割液的用量非常大，一般砂线切割液里面含有重污染物质，对环境会造成较大的伤害，而直接将用过的砂线切割液排放出去也会造成资源的浪费。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种砂线切割液的回收方法，解决砂线切割液直接排放带来的污染和浪费的问题。
[0004]本发明的目的通过以下技术方案来具体实现:
砂线切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置60-120分钟；
第二步，将沉淀池中上部的滤清液通过管路排出；
第三步，进行纱布过滤，进一步滤除浮在表面的低密度杂质；
第四步，按照体积比100: 3的比例加入双氧水，即每100升滤清液中加入3升双氧水；第五步，通过致密石墨板进行二次过滤，并且致密石墨板每20分钟要进行反冲洗一次，保证过滤效果。
[0005]通过上述技术方案回收的砂线切割液，可以进行重复利用，减少水污染的排放，可以将回收液里面的杂质进行收集和储藏，供二次使用；本砂线切割液的回收方法，可以减少70%的重金属污染的排放，减少85%的非金属有害物质的排放。
【具体实施方式】
[0006]本发明实施例一所述的砂线切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置60分钟；
第二步，将沉淀池中上部的滤清液通过管路排出；
第三步，进行纱布过滤，进一步滤除浮在表面的低密度杂质；
第四步，按照体积比100:3的比例加入双氧水，即每100升滤清液中加入3升双氧水；第五步，通过致密石墨板进行二次过滤，并且致密石墨板每20分钟要进行反冲洗一次，保证过滤效果。
[0007]本发明实施例二所述的砂线切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置120分钟；
第二步，将沉淀池中上部的滤清液通过管路排出；
第三步，进行纱布过滤，进一步滤除浮在表面的低密度杂质；
第四步，按照体积比100:3的比例加入双氧水，即每100升滤清液中加入3升双氧水；第五步，通过致密石墨板进行二次过滤，并且致密石墨板每20分钟要进行反冲洗一次，保证过滤效果。
[0008]本发明实施例三所述的砂线切割液的回收方法，包括:
第一步，在沉淀池中放置80分钟；
第二步，将沉淀池中上部的滤清液通过管路排出；
第三步，进行纱布过滤，进一步滤除浮在表面的低密度杂质；
第四步，按照体积比100:3的比例加入双氧水，即每100升滤清液中加入3升双氧水；第五步，通过致密石墨板进行二次过滤，并且致密石墨板每20分钟要进行反冲洗一次，保证过滤效果。
[0009]通过上述技术方案回收的砂线切割液，可以进行重复利用，减少水污染的排放，可以将回收液里面的杂质进行收集和储藏，供二次使用；本砂线切割液的回收方法，可以减少70%的重金属污染的排放，减少8 5%的非金属有害物质的排放。
【权利要求】
1.砂线切割液的回收方法，包括: 第一步，在沉淀池中放置60-120分钟； 第二步，将沉淀池中上部的滤清液通过管路排出； 第三步，进行纱布过滤，进一步滤除浮在表面的低密度杂质； 第四步，按照体积比100:3的比例加入双氧水，即每100升滤清液中加入3升双氧水；第五步，通过致密石墨板进行二次过滤，并且致密石墨板每20分钟要进行反冲洗一次，保证过滤效 果。
【文档编号】C02F9/04GK103508592SQ201310477768
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年10月14日 优先权日:2013年10月14日
【发明者】刘耀峰, 潘振东 申请人:无锡荣能半导体材料有限公司