技术总结
本发明涉及多晶硅加工专用切割设备，旨在提供金刚线晶锭开方机。该种金刚线晶锭开方机包括大底架、工作台、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、机械手部件、切割室部件、升降机构、收放线部件、张力部件、底部导轮部件。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了材料损耗，并改善了工作环境；本发明采用新的旋转机构来降低工作台高度，从而减小切割导轮轴距，线弓小，进刀快，切割效率高，避免了因为硬质点造成的切割尺寸偏差；本发明在底部导轮处增加了水平移动功能，在第二次进刀时将切割线由竖直变为斜线，仅在晶锭上方切出一个切入口，从而避免了尺寸无法控制及崩边。
技术研发人员：曹建伟;沈文杰;傅林坚;卢嘉彬;何守龙;邱文杰;杨思炜;沈加富;邱敏秀
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
文档号码：201610791377
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2016.12.07