一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置的制作方法

文档序号:11496429阅读:559来源:国知局

本实用新型涉及一种晶体生长工艺装置,特别涉及一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置。



背景技术:

物质在一定温度、压力、浓度、介质、pH等条件下由气相、液相、固相转化,形成特定线度尺寸晶体的过程称为晶体生长,晶体生成的一般过程是先生成晶核,而后再逐渐长大,一般认为晶体从液相或气相中的生长有三个阶段,分别为介质达到过饱和、过冷却阶段,成核阶段,生长阶段,过饱和、过冷却状态的出现,并不意味着整个体系的同时结晶,体系内各处首先出现瞬时的微细结晶粒子,这时由于温度或浓度的局部变化,外部撞击,或一些杂质粒子的影响,都会导致体系中出现局部过饱和度、过冷却度较高的区域,使结晶粒子的大小达到临界值以上,形成晶体核,由于晶体生长过程中,会生成不同的晶面,不同的晶面对环境的有求也不一样,同时加热效果不好,还浪费严重,并且晶体还会因为不均匀受热导致晶体利用率不高等。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置,包括坩埚、辅助加热器、导光玻璃片、伺服电机a、温度计、进料口、过滤网、主加热器、支架、长晶器、转盘、滑轮、转轴、冷却水管道、隔热层、热门、热交换器、保温层、外护板和伺服电机b,所述坩埚的两侧均设置辅助加热器,所述辅助加热器的一侧设置有导光玻璃片,所述辅助加热器与伺服电机a电性连接,所述坩埚的顶部设置有温度计,所述温度计的一侧设置有进料口,所述进料口的内部设置有过滤网,所述坩埚的底部设置有主加热器,所述主加热器的两侧设置有支架,所述主加热器的底部设置有长晶器,所述长晶器的底部设置有转盘,所述转盘的外侧设置有滑轮,所述转盘的内部设置有转轴。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述温度计的一侧设置有冷却水管道,所述转盘的两侧均设置有隔热层。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述转盘的底部设置有热门,所述热门的底部设置有热交换器。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述坩埚的外侧设置有保温层,所述保温层的外侧设置有外护板。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述热交换器与伺服电机b电性连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

本实用新型通过设置导光玻璃片观察晶体生长的过程,来决定辅助加热器的大小,从而能够提高晶体的生长效率,根据温度计上的温度读数来了解温度的变化情况,以控制坩埚是否过冷却,提高晶体的成核速度,通过转轮带动转轴转动,进而对坩埚内的晶体进行充分加热,提高热能效率,在进料口设置过滤网,用来过滤杂质,用来提高晶体的纯度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型的整体结构示意图;

图中:1、坩埚;2、辅助加热器;3、导光玻璃片;4、伺服电机a;5、温度计;6、进料口;7、过滤网;8、主加热器;9、支架;10、长晶器;11、转盘;12、滑轮;13、转轴;14、冷却水管道;15、隔热层;16、热门;17、热交换器;18、保温层;19、外护板;20、伺服电机b。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1所示,本实用新型提供一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置,包括坩埚1、辅助加热器2、导光玻璃片3、伺服电机a4、温度计5、进料口6、过滤网7、主加热器8、支架9、长晶器10、转盘11、滑轮12、转轴13、冷却水管道14、隔热层15、热门16、热交换器17、保温层18、外护板19和伺服电机b20,坩埚1的两侧均设置辅助加热器2,辅助加热器2的一侧设置有导光玻璃片3,辅助加热器2与伺服电机a4电性连接,坩埚1的顶部设置有温度计5,温度计5的一侧设置有进料口6,进料口6的内部设置有过滤网7,坩埚1的底部设置有主加热器8,主加热器8的两侧设置有支架9,主加热器8的底部设置有长晶器10,长晶器10的底部设置有转盘11,转盘11的外侧设置有滑轮12,转盘11的内部设置有转轴13。

进一步的,温度计5的一侧设置有冷却水管道14,转盘11的两侧均设置有隔热层15,方便对整体温度的控制。

进一步的,转盘11的底部设置有热门16,热门16的底部设置有热交换器17,可以提高热能效率。

进一步的,坩埚1的外侧设置有保温层18,保温层18的外侧设置有外护板19,可以保证整体的温度不受环境的影响。

进一步的,热交换器17与伺服电机b20电性连接,方便对热交换器的控制。

具体的,在使用时,通过进料口6进料,然后经过过滤网7进入坩埚1,通过导光玻璃片3来观察晶体生长的过程,由于晶体生长过程中有不同的梯度,所需要的温度情况不一样,所以再根据晶体生长过程的各种情况决定辅助加热器2的大小,从而能够提高晶体的生长效率,通过冷却水管道14对坩埚1进行冷却,然后根据温度计5上的温度读数来了解温度的变化情况,以控制坩埚1是否有过冷却现象,提高晶体的成核速度,通过滑轮12带动转轴13转动,使上面的主加热器8一起转动,进而对坩埚1内的晶体进行充分加热,防止加热不均匀出现部分晶体没有转换或转换过慢的情况。

本实用新型通过设置导光玻璃片3观察晶体生长的过程,来决定辅助加热器2的大小,从而能够提高晶体的生长效率,根据温度计5上的温度读数来了解温度的变化情况,以控制坩埚1是否有过冷却的现象,提高晶体的成核速度,通过滑轮12带动转轴13转动,进而对坩埚1内的晶体进行充分加热,提高热能效率,在进料口6设置过滤网7,用来过滤杂质,用来提高晶体的纯度。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1