一种晶体硅的线切割的方法与流程

文档序号:12372067阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶体硅的线切割方法,所述方法通过线切割机进行,并包括以下步骤:

(1)在线砂浆的配制

配制在线砂浆,所述在线砂浆为包含聚乙二醇和碳化硅颗粒的混合砂浆,密度为1.660-1.675kg/L,粘度为220-260mPa·s;

(2)导轮加工

开槽夹角为70-80°,槽深为190±10μm,槽距补偿为7-17μm以及V或U型槽的开槽工艺加工所述线切割机的导轮;

(3)晶体硅切割

设定结构线的速度为9.5-15m/s,张力为R/L:25-20N/18-24N,待切割晶体硅的进给速度为0.255-0.500mm/min,所述在线砂浆的流量为110-150kg/min,温度为17-23℃且砂浆更换系数为0.3-0.4kg在线砂浆/mm进行切割,其中,在切割前依硅块有效切割长度和砂浆更换系数添加砂浆,即砂浆添加量=有效切割长度*砂浆更换系数,其中所述砂浆更换系数为0.3-0.4kg在线砂浆/mm。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,步骤(1)中,作为硅片切割液的聚乙二醇的粘度为45-50mPa·s,碳化硅颗粒的粒度为1500#,所述在线砂浆的砂液质量比为1.02。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述在线砂浆采用80重量%的再生砂浆和20重量%的新砂浆来制备,其中,所述再生砂浆为通过回收系统回收分离的废旧砂浆,密度为1.660-1.675kg/L,粘度为220-240mpa·s,所述新砂浆为新配制的砂浆,密度为1.660-1.675kg/L,粘度为220-240mpa·s。

4.根据权利要求3所述的方法,其中,配制所述再生砂浆和所述新砂浆所用的切割液包含0-100重量%的回收聚乙二醇。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,步骤(3)中,所述结构线的母线的直径为0.110mm或0.115mm。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,步骤(3)中,所述结构线具有垂直正弦波型且为镀有抗氧化层的结构线。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,步骤(3)晶体硅切割的具体过程为:将晶体硅块粘在光伏玻璃上,然后固定在切割机进给台上,将结构线依序缠绕至所述线切割机的导轮上,启动线切割机进行切割直到结束,切割结束后将硅棒升起,提升速度为50-100mm/min,待硅棒完全脱离线网后用专用下棒车将硅棒取下,放在下棒推车上,转至清洗车间进行清洗处理。

8.根据权利要求7所述的方法,其中,在提升切好的硅棒的过程中遇到线网夹线时,以0.01-0.03m/s的线速走线或剪开线网完成提棒。

9.根据权利要求7所述的方法,其中,所述线切割机开机进行热机5-10分钟后,进行切割。

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