一种竖直进给式高精度硅片带锯机的制作方法

文档序号:12754143阅读:261来源:国知局

本实用新型涉及硅片带锯设备技术领域,尤其是一种竖直进给式高精度硅片带锯机。



背景技术:

当前,企业在对硅片进行加工时所采用的带锯机均为水平进给,这种进给方式容易受到水平方向的外力干扰,导致进给出现偏差,降低硅片的加工精度,导致大量的残次品出现,增加企业生产成本,存在不足。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种竖直进给式高精度硅片带锯机,为克服上述的不足,采用竖直进给的方式,避免水平的外力干扰,提高硅片加工精度,降低企业生产成本。

本实用新型的技术方案:

一种竖直进给式高精度硅片带锯机,包括底座、导向柱、主动带轮、传动带、电机、活动横梁、从动带轮、主动锯轮、带锯、进给轮、进给轮支架、从动锯轮;其中:进给轮与进给轮支架活动连接,进给轮支架与底座固定连接,底座与导向柱固定连接,导向柱与活动横梁活动连接,活动横梁与电机固定连接,电机与主动带轮同轴连接,主动带轮通过传动带与从动带轮连接,从动带轮与主动锯轮同轴连接,主动锯轮通过带锯与从动锯轮连接。

一种竖直进给式高精度硅片带锯机,其中:进给轮采用竖直方向排列的方式。

本实用新型的优点在于:本装置采用竖直进给的方式,避免水平的外力干扰,提高硅片加工精度,降低企业生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意简图。

附图标记:底座1、导向柱2、主动带轮3、传动带4、电机5、活动横梁6、从动带轮7、主动锯轮8、带锯9、进给轮10、进给轮支架11、从动锯轮12。

具体实施方式

实施例1、一种竖直进给式高精度硅片带锯机,包括底座1、导向柱2、主动带轮3、传动带4、电机5、活动横梁6、从动带轮7、主动锯轮8、带锯9、进给轮10、进给轮支架11、从动锯轮12;其中:进给轮10与进给轮支架11活动连接,进给轮支架11与底座1固定连接,底座1与导向柱2固定连接,导向柱2与活动横梁6活动连接,活动横梁6与电机5固定连接,电机5与主动带轮3同轴连接,主动带轮3通过传动带4与从动带轮7连接,从动带轮7与主动锯轮8同轴连接,主动锯轮8通过带锯9与从动锯轮12连接。

实施例2、一种竖直进给式高精度硅片带锯机,其中:进给轮10采用竖直方向排列的方式,采用竖直进给的方式,避免水平的外力干扰,提高硅片加工精度,降低企业生产成本。其余同实施例1。

工作原理:

将硅料放置于进给轮10之间,进而由进给轮10带动硅料进给,同时,启动电机5,电机5带动主动带轮3旋转,主动带轮通过3传动带4带动从动带轮7旋转,从动带轮7带动主动锯轮8同轴旋转,主动锯轮8通过带锯9带动从动锯轮12旋转,并保持带锯9持续的高速转动,进而对硅料进行加工,由于进给轮10采用的是竖直方向的排列,因此,硅料在重力作用下直线向下进给,确保硅料不受其他摩擦力的影响,进而提高硅片的生产精度,动作结束。

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