锭块夹持装置和具有该装置的对锭块切片的线锯设备的制作方法

本申请根据35u.s.c.§119要求于2017年12月14日提交的韩国专利申请第10-2017-0171904号，其以参见的方式纳入本文。

本发明涉及半导体晶片制造设备，并且更具体地涉及用于对锭块进行切片的线锯设备。

背景技术：

半导体晶片是通过如下工序而生产为晶片的：用于将单晶硅锭薄切为晶片形状的切片工序、用于提升平整度同时抛光到所期望的厚度的精磨工序、用于移除晶片内被破坏的层的蚀刻工序、用于提升晶片表面上的镜面反射和平面度的抛光工序、用于移除晶片表面上的污染物的清洁工序等等步骤。

单晶硅锭总体地根据柴氏(czochralski)法生长和制造。这种方法是将腔室中的坩锅中的多晶硅熔化以及将为单晶的晶种浸没于熔化的硅中，并且然后逐渐向上牵引晶种并使其生长为具有所期望的直径的硅单晶锭的方法。

在如上所述地完成锭块生长之后，执行用于将锭块切片为单独的晶片的切片工序。

存在用于切片工序的各种方法，诸如通过将金刚石粒固定到薄板的外周缘部分来对锭块进行切片的外径锯(o.d.s)法、通过将金刚石粒固定到炸面圈形的薄板的内周缘部分来对锭块进行切片的内径锯(i.d.s)法以及线锯(w.s)法，在线锯法中，在锯丝以高速行进时将浆料溶液注射到锯丝上，并且通过有浆料粘附于其上的锯丝与锭块之间的摩擦来对锭块进行切片。

线锯(w.s)法是在切片工序的各方法中目前广泛使用的方法，因为锭块可同时被切片为若干晶片，使得单位时间的产量可提升。

使用线锯切割方法的线锯设备使以预定间隔缠绕在腔室内的主辊上的锯丝以高速往复运动，并且通过将锭块下降到正以高速往复运动的锯丝上、同时通过浆料注射喷嘴将浆料注射到锯丝上来切片成为晶片。

同时，线锯设备设有锭块夹持件，该锭块夹持件构造为在切片工序期间将锭块夹持在腔室内的上部区域中。

图1是示出线锯设备的锭块夹持件的一种形式的视图。

如图1所示，锭块夹持件20包括夹持体21以及可动的固定部件22和固定部件23，夹持体21具有保持件安装凹槽21a，并且固定到腔室的上部区域，可动的固定部件22和固定部件23构造为固定装配在保持件安装凹槽21a中的锭块ig的保持件h。

可动的固定部件22具有多个夹持弹簧和松开缸体(unclampcylinder)。在可动的固定部件22内形成用于夹持弹簧和松开缸体往复运动的内部空间。覆盖这种内部空间的覆盖件22a借助在可动的固定部件22的外侧中的紧固螺栓22b或类似物来联接。

当锭块ig的保持件h插入到锭块夹持件20的保持件安装凹槽21a中时，锭块夹持件20运行，以使得可动的固定部件22的夹持弹簧挤压锭块ig的保持件h的一侧表面，并且固定部件23更牢固地固定到锭块ig的保持件h的另一侧表面。

反之，为了将锭块ig的保持件h从锭块夹持件20分离，挤压锭块ig的保持件h的夹持弹簧沿相反方向运动并且松开夹持，同时使可动的固定部件22的松开缸体运行。

如上所述，锭块ig可经受切片工序操作，同时以锭块ig的保持件h被夹持到锭块夹持件20的状态而垂直朝向锯丝运动。为了在切片工序期间实现具有均匀厚度的晶片，锭块ig的保持件h应稳定且平衡地支承在锭块夹持件20上。

然而，如上所述，在夹持件20中会发生内部污染，因为由于可动的固定部件22的往复运动所引起的压差，诸如在切片工序期间所使用的浆料或被切片的锭块的硅粒之类的杂质通过覆盖件22a的间隙穿入到可动的固定部件22的内部空间中。这种锭块夹持件20的内部污染会引起减压或类似情况，使得相对于保持件h，对锭块ig的固定力会被减弱，或会引起夹持不平衡，使得切片而成的晶片的质量会变差。

此外，覆盖可动的固定部件22的覆盖件22a经受借助硅或类似物的精处理以提升锭块夹持件20中的密封力。当内部污染由减压或类似情形引起时，用肉眼可能无法轻易地检查内部污染的程度。

技术实现要素：

本发明涉及提供通过以平衡和稳定的方式支承锭块而能够避免晶片质量变差的锭块夹持件，由此该锭块夹持件避免由于诸如在切片工序期间所产生的在腔室中的锭块的颗粒或锯丝的金属粒的杂质而被污染，并且保持对锭块的固定力均匀，并且提供具有所述锭块夹持件的、用于对锭块切片的线锯设备。

根据本发明，提供了一种锭块夹持件，包括：夹持体，其构造为具有保持件安装凹槽和腔体；固定部件，其构造为支承和固定插入在保持件安装凹槽中的锭块保持件的一侧；可动的固定部件，其布置在腔体和保持件安装凹槽中，并且构造为压紧和固定锭块保持件的另一侧；覆盖件组件，其与夹持体相联接并且构造为覆盖腔体；以及空气供应部件，其与覆盖件组件联接并且构造为将空气供应到腔体中。

可动的固定部件可包括：压紧条，其穿过保持件安装凹槽而与夹持体相联接；多个夹持弹簧，其被安装为穿过腔体而固定于压紧条，并且沿着压紧条的纵向方向布置；多个松开缸体，其被布置为穿过腔体而与多个夹持弹簧相邻；以及支承条，其与多个夹持弹簧相联接并且置于腔体外侧。

腔体可以以长孔的形状沿着夹持体的侧表面布置。

覆盖件组件可包括：垫圈，用于使支承条露出的长孔形成在垫圈中，并且该垫圈与夹持体相联接；固定覆盖件，用于使支承条的一部分区域露出的长孔形成在固定覆盖件中，并且该固定覆盖件构造为覆盖腔体；以及空气供应覆盖件，其构造为通过各长孔将空气供应到腔体中，并且覆盖固定覆盖件。

覆盖件组件还可包括装配在固定覆盖件的长孔外侧的o形环。

夹持体还可包括沿着腔体的外周缘表面形成的多个螺栓孔。

垫圈和固定覆盖件还可包扩多个紧固孔，该多个紧固孔分别与要与其栓接的多个螺栓孔相对应。

固定覆盖件和空气供应覆盖件还可包括多个联接孔，螺栓分别插入这些联接孔，使得空气供应覆盖件与固定覆盖件可拆卸地联接。

联接孔可布置在外侧，而紧固孔可布置在内侧。

空气供应覆盖件还可包括空气入口，该空气入口构造为将空气从空气供应部件引入并且供应到腔体中的。

空气入口可包括：空气入口孔，其与空气供应部件联接；空气流动路径，其构造为与空气入口孔连通并且长度沿着(longalong)固定覆盖件的长孔的方向布置；以及多个注射孔，其在空气流动路径中形成并且构造为允许沿着空气流动路径流动的空气流经长孔并且被注射到腔体中。

支承条可包括多个通孔，多个夹持弹簧穿过该多个通孔而安装，并且空气流动路径可在与支承条的通孔相对应的位置处形成。

空气供应部件可包括空气泵；以及空气供应管道，其构造为具有与空气泵联接的一侧和与空气入口孔联接的另一侧。

空气供应管道可至少在一些部段中具有弹簧形状。

同时，根据本发明，设有锭块夹持件，包括：夹持本体，其构造为具有在内侧形成的保持件安装凹槽和以长孔形沿着其侧表面布置的腔体；固定部件，其构造为支承和固定插入在保持件安装凹槽中的锭块保持件的一侧；可动的固定部件，其布置在腔体和保持件安装凹槽中，并且构造为按压和固定锭块保持件的另一侧；固定覆盖件，该固定覆盖件与夹持本体联接，并且在该固定覆盖件中形成有用于部分地使腔体露出的长孔；空气供应覆盖件，其构造为将空气通过长孔供应到腔体中，并且覆盖固定覆盖件；以及空气供应部件，其与空气供应覆盖件联接并且构造为将空气供应到腔体中。

锭块夹持件还可包括垫圈，该垫圈联接在固定覆盖件与夹持体之间，并且该垫圈中形成有长孔。

锭块夹持件还可包括装配在固定覆盖件的长孔外侧的o形环。

空气供应覆盖件可包括：空气入口孔，其与空气供应部件联接；空气流动路径，其构造为与空气入口孔连通并且长度沿着固定覆盖件的长孔的方向布置；以及多个注射孔，在空气流动路径中形成并且构造为允许沿着空气流动路径流动的空气流经长孔并且被注射到腔体中。

空气供应部件可包括：空气泵；以及空气供应管道，其构造为具有与空气泵联接的一侧和与空气入口孔联接的另一侧。

同时，根据本发明的另一方面，提供了一种线锯设备，包括：腔室，锭块切片操作在该腔室中执行；上述锭块夹持件中的任何一个的锭块夹持件，其构造为将锭块支承在腔室内；浆料注射喷嘴，其构造为在锭块夹持件下方注射浆料；和主辊，其布置在浆料注射喷嘴下方，并且缠绕有多个用于对锭块进行切片的锯丝。

附图说明

图1是示出线锯设备的锭块夹持件的一种形式的视图。

图2是根据一个实施例的线锯设备的构造图。

图3是根据一个实施例的图2所示锭块夹持件的立体图。

图4是图3的分解立体图。

图5是图4的主要部件的放大图。

图6是图5的俯视图。

图7是图4的覆盖件组件的放大图。

图8示出了图7的覆盖件组件与夹持体相联接的状态。

图9是作为图3的正视图而示出了空气供应的视图。

图10是以平面图状态示出图9的空气供应过程的视图。

具体实施方式

下文中，将通过对附图和实施例的描述来更明显地显示出各实施例。在对实施例的描述中，当描述为每层(膜)、区域、型式或结构形成在基质、每层(膜)、区域、垫或型式“上方/上”或“下方/下”时，该描述包括“直接”地或“(通过插设其它层)间接”地在“上方/上”和“下方/下”。也将参照附图来描述每层的上方/上或下方/下的标准。

为了方便和精切的描述，图中的区域可能被放大、省略或示意地描述。此外，每个部件的尺寸不完全符合其实际尺寸。此外，在对附图的整个描述中，同样的附图标记代表同样的元件。在下文中，将参照附图描述实施例。

图2是根据一个实施例的线锯设备的构造图

如图2所示，一种形式的线锯设备1可包括：腔室100、锭块夹持件200、锯切单元300、浆料供应喷嘴400、锭块馈送单元500、热交换器600、浆料储箱700等等。

腔室100形成一空间，在该空间中，在锭块ig上执行切片、即切片操作。例如，腔室100可以是具有长方体形状的内部空间的室。门(未示出)安装在腔室100中，使得当引入锭块ig或取出切片而成的晶片时，腔室100可被打开，并且在切片操作期间腔室100可被关闭。腔室100可包括上腔室110和形成底部表面的下腔室120，锭块夹持件200等等安装在该上腔室上。

锭块夹持件200可将锭块ig支承在腔室100内。锭块夹持件200可夹持单晶生长锭块ig的上部部分，并且在下部区域被切片时支承锭块ig。由于锭块ig安装在锭块夹持件200上，锭块夹持件200可称作安装块。之后将详细描述锭块夹持件200的构造。

锯切单元300可将锭块ig切片为多个薄板状晶片，并且包括使用线锯切割方法的各种构造。例如，锯切单元300可包括心轴310、主辊320和锯丝330。

心轴310可与主辊320的轴联接，并且在围绕轴转动时使主辊320转动。例如，心轴310可通过诸如电动机(未示出)的驱动单元而以高速转动。

主辊320可形成为至少一个，例如是三个，即如实施例所示的多个。主辊320可引导将在下面描述的锯丝330的运动，从而主辊320可被称作锯丝引导辊。

锯丝330可缠绕在主辊320上，并且由于主辊320可随着心轴310的转动而转动，锯丝330可以高速在主辊320上行进，同时从一侧上的绕线管800运动到另一侧上的绕线管(未示出)。此外，锯切单元300还可包括构造为改变锯丝330的运动路径的滑轮。

锯丝330可以预定间隔在主辊320的外周缘表面上缠绕多圈，并且因此切片而成的晶片的数量和厚度可由所缠绕的锯丝330的间隔来确定。

浆料供应喷嘴400可被置于主辊320上方，以对锯丝330提供浆料溶液。从浆料供应喷嘴400注射的浆料溶液可被吸收到锯丝330上，并且对锭块ig的切片操作可由其上吸收有浆料溶液的锯丝330来执行。由于浆料中含有研磨颗粒，当锭块ig朝向锯丝330运动并被压紧到锯丝330时，粘附在锯丝330上的研磨颗粒可对锭块ig进行切片。

锭块馈送单元500可使锭块夹持件200在主辊320下方运动，使得锭块ig可由锯丝330来切片，并且在锭块ig被切片为晶体之后，锭块夹持件200可运动到腔室100的上部部分。

热交换器600可起到的作用是冷却由锯切单元300所产生的热量，并且可实时控制运动到浆料供应喷嘴400的浆料的温度。因而，温度由热交换器600控制的浆料可注射到锯丝330上，并且因此锭块ig的温度可实时地被维持为恒定在目标温度。

浆料储箱700可储存浆料，并且可使浆料运动通过浆料传输管线710，从而通过浆料供应喷嘴400注射浆料。浆料储箱700可包括构造为对容纳在其中的浆料溶液进行混合的混合部件和构造为将转动力传递到混合部件的混合器驱动部件。

锭块ig的颗粒或从锯丝330分离的金属颗粒可在切片工序期间包括在浆料溶液中，而包括这些杂质的浆料会渗入腔室100的内壁中和锭块夹持件200之内，并且会在散布到腔室100中时污染其内部空间。如上所述，渗入锭块夹持件200中的包括杂质的浆料会削弱对锭块夹持件200的固定力，并且因此切片过程可能受到不利影响。

为此，将详细描述根据实施例的锭块夹持件200的构造，其能够阻挡对污染锭块夹持件200的内部空间的浆料杂质的引入，并且以平衡和稳定的方式保持对锭块夹持件200的固定力。

图3是根据一实施例的图2所示锭块夹持件的立体图，图4是图3的分解立体图，图5是图4的主要部件的放大图，而图6是图5的俯视图。

如图3和图4所示，锭块夹持件200可包括夹持体210、固定部件230、可动的固定部件220、覆盖件组件240和空气供应部件290。

夹持体210可具有保持件安装凹槽211和腔体213，并且可安装在腔室100内侧的上部部分上。夹持体210可具有块状，并且可具有与锭块ig对应的长度。下孔215形成在夹持体210的下部部分中，使得其一部分可以制造成开口形状，并且下孔215可对于外侧封闭和阻塞。

保持件安装凹槽211可形成在夹持体210的内侧处，即可穿过夹持体210而形成，从而从夹持体210的中心区域的内侧延伸到下侧。例如，保持件安装凹槽211可具有与图4所示的锭块保持件h的形状对应的形状。锭块保持件h可形成为具有在左侧表面d1和右侧表面d2上的倾斜表面，从而促进夹持。

腔体213可以成长孔形状地沿着夹持体210的侧表面布置。例如，腔体213可形成有如下空间，该空间中安装有下文将描述的可动的固定部件220，并且该可动的固定部件可形成在夹持体210的左侧表面上。

固定部件230可固定插入到保持件安装凹槽211中的锭块保持件h的一侧d2，同时支承该侧。例如，固定部件230可包括具有预定弹性的垫子，并且可安装在保持件安装凹槽211的一侧(图中的右侧)上，并且因此锭块保持件h可受支承，从而不会被损坏。

可动的固定部件220可布置在夹持体210的腔体213和保持件安装凹槽211中，从而压紧并且固定锭块保持件h的另一侧d1。例如，可动的固定部件220可如图5所示包括压紧条221、夹持弹簧222、松开缸体223和支撑条225。

压紧条221可具有三角条的形状、即棱柱形状，并且可以可动地安装在保持件安装凹槽211内。为此，压紧条221可通过保持件安装凹槽211与夹持体210联接。压紧条221可压紧由固定部件230支承的锭块保持件h的另一侧表面d1，并且因此锭块保持件h可牢固地固定到保持件安装凹槽211。

夹持弹簧222形成为多个，并且可布置为沿着压紧条221的纵向方向以预定的间隔隔开。在本实施例中示出四个夹持弹簧222，但该数量可变化。例如，夹持弹簧222可包括多个锥形盘簧且支承轴穿过该锥形盘簧的内侧。

多个夹持弹簧222可插入而穿过腔体213，并且夹持弹簧222的一侧(例如支承轴的一侧)可固定到定位在保持件安装凹槽211中的压紧条221。即，夹持弹簧222可安装为穿过腔体213而固定于压紧条221。

夹持弹簧222可以如下方式运行，其使得插入在保持件安装凹槽211中的锭块保持件h被压紧，同时夹持弹簧222借助其本身的弹性压着压紧条221。

松开缸体223可以形成为多个，并且可被布置为穿过腔体213而与多个夹持弹簧222相邻。松开缸体223可供应有来自液压泵(未示出)的液压油，并且在腔体213内执行直线运动。松开缸体223可对上述夹持弹簧222进行运行，以将压力施加到压紧条221或释放压力。即，当松开缸体223由液压压力所运行时，夹持弹簧222可释放施加到压紧条221的压力，并且当液压压力移除时，夹持弹簧222可对压紧条221加压。根据本实施例，示出有三个松开缸体223，但松开缸体223的数量可改变。

支承条225可与多个夹持弹簧222联接，并且可布置在腔体213外侧。支承条225可包括多个通孔225c，多个夹持弹簧222安装在该多个通孔上。例如，与四个夹持弹簧222相对应的四个通孔225c可形成在支承条225上。夹持弹簧222的插入到通孔225c中的支承轴可通过螺母(未示出)固定到支承条225。

此外，如图6所示，具有通孔的固定壳体224还可布置在夹持弹簧222与支承条225之间，夹持弹簧222的支承轴可插入而穿过该通孔。固定壳体224可具有与夹持弹簧222的数量相对应的数量。固定壳体224可引导夹持弹簧222在腔体213内的位置，并且还起到的作用是，松开缸体223稳定地支承在松开缸体223之间的腔体213内侧。

具有上述构造的可动的固定部件220可如下运行。

例如，当锭块保持件h插入到夹持体210的保持件安装凹槽211中时，固定部件230可以如下方式运行，其使得可动的固定部件220的夹持弹簧222可将压力施加到压紧条221，从而压紧锭块保持件h的一侧表面d1，并且固定部件230固定于锭块保持件h的另一侧表面d2，同时与其紧密接触。

相反地，为了将锭块保持件h从保持件安装凹槽211分离，压靠着锭块保持件h的夹持弹簧222和压紧条221可沿相反方向运动，从而释放压力，同时可动的固定部件220的松开缸体223通过液压压力来运行。

由于腔体213可仍然存在于执行上述运行的可动的固定部件220之内，会从外侧引入异物，并且因此会存在引起污染的机会。

为此，覆盖腔体213的覆盖件组件240可与夹持体210相联接。

图7是图4的覆盖件组件的放大视图，图8示出图7的覆盖件组件与夹持体相联接的状态，图9是作为图3的正视图而示出空气供应的视图，而图10是以平面视图状态示出图9的空气供应过程的视图。

如图7所示，包括垫圈250、固定覆盖件260和空气供应覆盖件270的覆盖件组件240可安装在夹持体210上。为此，如图8所示，多个螺栓孔211a可形成在夹持体210的形成有腔体213的侧表面中。即，多个螺栓孔211a可沿着腔体213的外周表面设置。例如，示出了八个螺栓孔211a，但螺栓孔211a的数量可变化。

垫圈250形成有用于使可动的固定部件220的支承条225露出的长孔251，并且可与夹持体210联接。垫圈250可密封夹持体210与固定覆盖件260之间的空间，由此挡住异物所经过而从外侧引入的间隙。

垫圈250可形成有与多个螺栓孔211a相对应的多个紧固孔253，从而与夹持体210的多个螺栓孔211a栓接。

固定覆盖件260可形成有用于使支承条225的内部区域露出的长孔261，并且可覆盖腔体213，同时与垫圈250相联接。如图8所示，支承条225构造为阻塞腔体213的外侧，但腔体213的空间的一部分仍敞开。

因而，固定覆盖件260的长孔261可使支承条225的通孔225c露出，并且可与支承条225紧密接触。固定覆盖件260的长孔261的尺寸可小于垫圈250的长孔251的尺寸。

因而，固定覆盖件260可包括用于使支承条225的部分区域露出的长孔261，但可覆盖腔体213，因为固定覆盖件260具有可以与支承条225的外侧紧密接触的尺寸。

在异物被引入到腔体213中时，在空气供应覆盖件270被从固定覆盖件260移除之后，操作者可视觉检查是否有异物经固定覆盖件260的长孔261而被引入到腔体213中，空气供应覆盖件270将在之后描述。

固定覆盖件260还可包括装配在长孔261外侧的o形环267。o形环267不仅可在与可动的固定部件220的支承条225相接触时提供弹性，而且可改进对腔体213的密封力。

固定覆盖件260可包括与多个螺栓孔211a对应的多个紧固孔263，该多个紧固孔263将与垫圈250的多个紧固孔253和夹持体210的多个螺栓孔211a栓接(未示出)。空气供应覆盖件270可与安装在夹持体210上的固定覆盖件260可拆卸地联接。为此，固定覆盖件260可还形成有多个联接孔265和275，螺栓插入到这些联接孔中。在此，联接孔265和275可布置在外侧，而紧固孔253和263可布置在内侧。

空气供应覆盖件270可覆盖固定覆盖件260的露出的长孔261，以提高对外侧的密封力，并且可经上述垫圈250和固定覆盖件260的长孔251和261将空气供应到腔体213中。空气供应覆盖件270可称作空气吹扫覆盖板。

例如，空气供应覆盖件270的尺寸可小于固定覆盖件260的尺寸。

空气供应覆盖件270可形成有多个联接孔275，螺栓(未示出)插入到这些联接孔275中，使得空气供应覆盖件270可与固定覆盖件260可拆卸地联接。

如图9和图10所示，空气供应覆盖件270还可包括空气入口280，该空气入口构造为引入从空气供应部件290供应的空气，并且将该空气供应到腔体213中，空气供应部件290将在之后描述。

例如，空气入口280可包括空气入口孔281、空气流动路径282和空气注射孔283，从而以突出于空气供应覆盖件270外侧的形状形成。

空气入口孔281可形成与空气供应部件290相联接的路径，通过该路径引入空气。例如，空气入口孔281可通过在突出于空气供应覆盖件270外侧的垂直构件的上部部分上加工出具有预定尺寸的孔来形成。

空气流动路径282可与空气入口孔281连通，并且可长度沿着固定覆盖件260的长孔251和261的方向布置。

在空气流动路径282中形成有多个空气注射孔283，使得沿着空气流动路径282流动的空气可经过上述的长孔251和261，并且可注射到腔体213中。

例如，空气流动路径282可形成在与支承条225的通孔225c相对应的位置处。因而，空气注射孔283可经由支承条225的通孔225c将空气注射到腔体213中。

空气供应部件290可与覆盖件组件240联接，以将空气供应到腔体213中，并且因此空气供应部件290可将腔体213的内侧维持在正压(+压力)。例如，空气供应部件290可包括空气泵295和空气供应管道291。

空气泵295可供应具有预定压力的空气，并且可安装在线锯设备中的腔室100的一侧上。空气泵295中可附加地设有构造为调节空气压力的手动阀，并且因此可提供合适的空气压力。

从空气泵295供应的空气可经空气入口孔281而被引入，而空气供应管道291的一端与空气泵295相联接，并且其另一端与空气入口孔281联接。

在此，空气供应管道291可至少在一些部段中具有弹簧形状。如众所周知的，弹簧指的是具有拉伸或压缩弹性的螺旋形铁丝。

由于空气供应管道291具有弹簧形状，尽管在锭块被切片为晶片的同时锭块保持件h在切片工序期间垂直运动，但空气供应管道291仍可顺畅地供应空气而不影响工序，而空气供应管道291的长度是灵活变化的。

如上所述，根据本发明的锭块夹持件和具有所述锭块夹持件的用于对锭块进行切片的线锯设备，通过经空气供应部件将空气供应到锭块夹持件中而在腔体内维持正压(+压力)，并且因此可避免诸如在切片工序期间在腔体中产生的锭块颗粒或锯丝的金属颗粒的杂质渗入锭块夹持件的内部空间中。因而，可避免锭块夹持件被污染，并且均匀地保持对锭块的固定力，由此提升切片而成的晶片的质量。

此外，由于空气供应部件将适当的空气供应到腔体中并且将腔体保持在正压(+压力)，异物不会被引入到腔体中，并且因此覆盖腔体的覆盖件组件可以用诸如螺栓之类的相对简单的紧固方式安装并且拆卸地联接于夹持体可，而不具有诸如硅树脂包装之类的麻烦的工序。

此外，由于在空气供应覆盖件从固定覆盖件拆下之后，可以通过露出的长孔以视觉来检查腔体内的污染的状态，即便异物被引入到腔体中，也可简单并且快捷地清除该异物。

根据本发明的锭块夹持件和具有所述锭块夹持件的用于对锭块进行切片的线锯设备，可在锭块夹持件中维持正压(+压力)，由此避免诸如在切片工序期间在腔室中所产生的锭块的颗粒或锯丝的金属颗粒的杂质渗入到锭块夹持件的内部空间中。因而，能够避免锭块夹持件被污染并保持对锭块的固定力均匀，并且因此可提升切片而成的晶片的质量。

在实施例中描述的特征、结构、效果等等包括在本发明的至少一个实施例中，并且不一定限于仅一个实施例。此外，在各实施例中所示的特征、结构、效果等等可由该实施例所属领域的技术人员与其它实施例相组合或改型。因而，应理解的是，这种组合和改型包括在本发明的范围中。

附图标记描述

1:线锯设备100:腔室

110:上腔室120:下腔室

200:锭块夹持件210:夹持体

211:保持件安装凹槽211a:螺栓孔

213:腔体215:下孔

220:可动的固定部件221:压紧条

222:夹持弹簧223:松开缸体

224:固定壳体225:支承条

240:覆盖件组件250:垫圈

251:长孔253:紧固孔

260:固定覆盖件261:长孔

263:紧固孔265:联接孔

267:o形环270:空气供应覆盖件

273:螺栓孔275:联接孔

280:空气入口281:空气入口孔

282:空气流动路径283:空气注射孔

290:空气供应部件291:空气供应管道

295:空气泵