一种复合材料的晶圆划片机龙门床身的制作方法

本发明涉及划片机，特别涉及一种复合材料的晶圆划片机龙门床身。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。

2、在晶圆加工过程中，划片机不可或缺，而划片机中的龙门床身必不可少，目前的龙门床身在加工过程中，难以对工作台上的杂物进行清理，导致工作台上的杂物越积越多，影响加工效率，且杂物还会引发堵塞现象，其次，在整体运作过程中，导轨经过不断的摩擦，摩擦力会逐渐变大，一方面会产生较大的噪声，影响工作环境，另一方面对导轨本身也会造成一定的损伤，影响整体的使用寿命。

3、为此，我们提出了一种复合材料的晶圆划片机龙门床身。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种复合材料的晶圆划片机龙门床身，解决了背景技术中目前的龙门床身在加工过程中，难以对工作台上的杂物进行清理，导致工作台上的杂物越积越多，影响加工效率，且杂物还会引发堵塞现象，其次，在整体运作过程中，导轨经过不断的摩擦，摩擦力会逐渐变大，一方面会产生较大的噪声，影响工作环境，另一方面对导轨本身也会造成一定的损伤，影响整体的使用寿命的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种复合材料的晶圆划片机龙门床身，包括主基体，设置在主基体上端的底座，以及设置在主基体上表面的移动座，底座的上端设置有架体，架体的一侧设置有清除机构，主基体的上表面还设置有辅助机构和收集机构，架体的上端设置有回收机构；

3、清除机构包括设置在架体一侧的水平杆，设置在水平杆外表面上的套管，设置在套管外表面上的清理板，以及设置在水平杆两端的水平块，水平块的一侧设置有凸块，水平块的上表面设置有电磁盘和连接弹簧，凸块的下端设置有下接杆，水平块的外表面上设置有拉伸弹簧和导气管，拉伸弹簧和导气管的一端均与水平杆相连接。

4、进一步地，架体的一侧设置有竖槽和斜槽，竖槽与斜槽相连通，竖槽的内部设置有透槽，斜槽的内壁上设置有壁槽，水平块与竖槽活动连接，凸块与透槽活动连接，连接弹簧的一端与竖槽内壁相连接，斜槽的内壁上设置有推动杆，推动杆的一端设置有卡环，壁槽的内部活动设置有转接组件，底座的一侧设置有折型管，底座与架体相连通，架体的内部设置有气体压缩筒和气垫，气垫的上端设置有软接管，气体压缩筒的一端与下接杆相连接，气体压缩筒与气垫相连通，软接管与导气管一端相连通。

5、进一步地，清理板的外表面上设置有台块，台块的一侧设置有细管，台块的一侧开设有斜面，斜面的外表面上设置有吹扫口，细管的一端与吹扫口相连通，细管的另一端与套管相连通，套管与导气管相连通，主基体的上表面设置有主沉槽，主沉槽的内部设置有沿槽，收集机构与沿槽活动连接，移动座的上端设置有主导轨，移动座的上表面设置有内置槽，移动座的下底面上设置有底槽，内置槽的内壁上设置有短接口，内置槽的底部设置有顺通槽，移动座的内部设置有传动组件。

6、进一步地，转接组件包括设置在壁槽内部的转接块，设置在转接块一侧的立板，以及设置在立板上端的转接杆，转接杆的一端设置有转接环，转接环的孔径与水平杆直径相匹配。

7、进一步地，传动组件包括设置在移动座内部的主齿轮、联动齿和副齿轮，设置在主齿轮上端的一级杆，设置在一级杆上端的转板，以及设置在副齿轮上端的二级杆，二级杆的外表面上设置有表盘和桨叶，转板的外表面上设置有出料板，主齿轮、联动齿与副齿轮啮合连接，桨叶与短接口相对应，短接口与折型管相连通，折型管与气垫相连通。

8、进一步地，辅助机构包括设置在主沉槽内部的辅助箱体，设置在辅助箱体上表面的输出管，设置在输出管外表面上的收集环板，收集环板的下端设置有回流管，辅助箱体的一侧设置有外接管，输出管的上端与主导轨相接触。

9、进一步地，辅助箱体的内部设置有存储囊，辅助箱体的外表面上设置有挤压垫，外接管与存储囊相连通，挤压垫与存储囊相接触，收集机构包括设置在主沉槽内部的收集箱，设置在收集箱上表面的弹性管，以及设置在沿槽内部的支弹簧，支弹簧的一端与设置在收集箱下底面上的滑块相连接，弹性管的一端与顺通槽相连接。

10、进一步地，回收机构包括设置在架体上端的回收箱，设置在回收箱一侧的弯接管，设置在弯接管一端的气泵，以及设置在架体一侧的横槽，横槽的内部设置有横块，横块的一侧设置有电动推杆，横块的外表面上设置有倾斜板，倾斜板的一端设置有吸收组件。

11、进一步地，吸收组件包括设置在倾斜板一端的吸收管，设置在吸收管外表面上的罩管，设置在罩管上端的转动件，以及设置在吸收管一端的扩口管，吸收管的另一端设置有对接管，对接管的一端与弯接管相连接，转动件的一端与倾斜板相连接。

12、进一步地，回收箱的内部设置有顶板，顶板的上表面设置有顶槽，顶槽的下端设置有压力阀管，压力阀管的下端设置有雾化器，顶槽的内部设置有压板，压板的上端设置有伸缩支管a，回收箱的底部设置有伸缩支管b，伸缩支管b的上端设置有压力板，伸缩支管b与伸缩支管a相连通。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

14、1.本发明提出的一种复合材料的晶圆划片机龙门床身，架体的一侧设置有水平杆，水平杆的外表面上设置有套管，套管的外表面上设置有清理板，水平杆的两端设置有水平块，水平块的一侧设置有凸块，水平块的上表面设置有电磁盘和连接弹簧，凸块的下端设置有下接杆，水平块的外表面上设置有拉伸弹簧和导气管，拉伸弹簧和导气管的一端均与水平杆相连接，其中架体的一侧设置有竖槽和斜槽，竖槽与斜槽相连通，竖槽的内部设置有透槽，斜槽的内壁上设置有壁槽，水平块与竖槽活动连接，凸块与透槽活动连接，连接弹簧的一端与竖槽内壁相连接，斜槽的内壁上设置有推动杆，推动杆的一端设置有卡环，壁槽的内部活动设置有转接组件，底座的一侧设置有折型管，底座与架体相连通，架体的内部设置有气体压缩筒和气垫，气垫的上端设置有软接管，气体压缩筒的一端与下接杆相连接，气体压缩筒与气垫相连通，软接管与导气管一端相连通，且清理板的外表面上设置有台块，台块的一侧设置有细管，台块的一侧开设有斜面，斜面的外表面上设置有吹扫口，细管的一端与吹扫口相连通，细管的另一端与套管相连通，套管与导气管相连通，其次，壁槽的内部设置有转接块，转接块的一侧设置有立板，立板的上端设置有转接杆，转接杆的一端设置有转接环，转接环的孔径与水平杆直径相匹配，当主导轨上的工作台进行移动时，断开电磁盘的磁性，使套管向下移动，同时下接杆对气体压缩筒进行挤压，使得气垫中的局部气体进入到套管中，同时在水平杆移动过程中，会与转接环相卡接，转接环重力增加，使得转接块沿着壁槽移动，使清理板一直降低到能够与工作台相接触，利用移动中的工作台，能够将工作台上的废屑清理干净，同时吹扫口吹出的气流能够起到促进清理的作用，使得工作台上的废屑掉落至内置槽内，完成废屑的自清理，提高工作效率以及废屑的清理质量。

15、2.本发明提出的一种复合材料的晶圆划片机龙门床身，主基体的上表面设置有主沉槽，主沉槽的内部设置有沿槽，收集机构与沿槽活动连接，移动座的上端设置有主导轨，移动座的上表面设置有内置槽，移动座的下底面上设置有底槽，内置槽的内壁上设置有短接口，内置槽的底部设置有顺通槽，移动座的内部设置有传动组件，移动座的内部设置有主齿轮、联动齿和副齿轮，主齿轮的上端设置有一级杆，一级杆的上端设置有转板，副齿轮的上端设置有二级杆，二级杆的外表面上设置有表盘和桨叶，转板的外表面上设置有出料板，主齿轮、联动齿与副齿轮啮合连接，桨叶与短接口相对应，短接口与折型管相连通，折型管与气垫相连通，其次，主沉槽的内部设置有辅助箱体，辅助箱体的上表面设置有输出管，输出管的外表面上设置有收集环板，收集环板的下端设置有回流管，辅助箱体的一侧设置有外接管，输出管的上端与主导轨相接触，且辅助箱体的内部设置有存储囊，辅助箱体的外表面上设置有挤压垫，外接管与存储囊相连通，挤压垫与存储囊相接触，其中主沉槽的内部设置有收集箱，收集箱的上表面设置有弹性管，沿槽的内部设置有支弹簧，支弹簧的一端与设置在收集箱下底面上的滑块相连接，弹性管的一端与顺通槽相连接，从顺通槽下来的废屑会进入到收集箱中，随着废屑不断的增多，收集箱质量也会随之增加，使得收集箱沿着沿槽移动，直到收集箱与挤压垫发生撞击，间接性使得存储囊体积变小，且提前在存储囊中装入润滑油，突然的挤压力使得存储囊中的润滑油挤出至主导轨上，提高主导轨与工作台之间的润滑度，减少主导轨的磨损，提高整体的使用寿命。

16、3.本发明提出的一种复合材料的晶圆划片机龙门床身，架体的上端设置有回收箱，回收箱的一侧设置有弯接管，弯接管的一端设置有气泵，架体的一侧设置有横槽，横槽的内部设置有横块，横块的一侧设置有电动推杆，横块的外表面上设置有倾斜板，倾斜板的一端设置有吸收组件，其中倾斜板的一端设置有吸收管，吸收管的外表面上设置有罩管，罩管的上端设置有转动件，吸收管的一端设置有扩口管，吸收管的另一端设置有对接管，对接管的一端与弯接管相连接，转动件的一端与倾斜板相连接，其次回收箱的内部设置有顶板，顶板的上表面设置有顶槽，顶槽的下端设置有压力阀管，压力阀管的下端设置有雾化器，顶槽的内部设置有压板，压板的上端设置有伸缩支管a，回收箱的底部设置有伸缩支管b，伸缩支管b的上端设置有压力板，伸缩支管b与伸缩支管a相连通，在加工过程中，会产生较多的粉尘，利用气泵的吸入气流，能够将粉尘吸收至回收箱中，且吸进来的粉尘会落在压力板上，压力板逐渐变重，伸缩支管b压缩，其内部气体进入到伸缩支管a中，且在顶槽中装入水，随着伸缩支管a的挤压，压力阀管打开，水会被雾化器进行雾化，对刚进来的粉尘进行抑尘，防止粉尘四处飘散，提高工作环境。