真空设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种真空设备，包括真空腔体和门盖，所述真空腔体设有开口，所述门盖设于开口处，还包括设于所述开口处的可拆卸式密封件，所述密封件与真空腔体可拆卸式连接，所述密封件与门盖相对的一面设有光滑的密封面，所述门盖上设有与所述密封面对应设置的密封部。上述真空设备，当对真空腔体内部进行维护时，若不小心划伤密封件的密封面，则可将密封件从真空腔体上拆卸下来进行维修，同时也可以换上备用的密封件。这样，该真空设备仍然可以继续使用，对工艺的影响非常小。
【专利说明】真空设备
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及真空设备。
【背景技术】
[0002]在现代制造技术中，很多工艺都需要制造真空环境。真空设备就是用来维持一个相对密封的环境以提供一定真空度。传统的真空设备一般包括真空腔体，其上设有开口。在开口处设有可开合的门盖，门盖面对开口的一侧设有密封圈，对应所述密封圈的真空腔体上，环绕该开口的位置是经精密机械加工后的密封面，当门盖盖合在开口上时，密封圈贴合在密封面上，以形成良好的密封。
[0003]由于工艺或是设备需要，经常会打开门盖对真空腔体内部进行清洁、更换部件、维护保养等动作。当门盖打开后，真空腔体开口处的密封面就会外露，由于人为因素，该密封面可能会被划伤或损坏，此时整个真空设备就不能维持良好的真空环境。真空腔体需要被拆卸下来送修，真空设备就不能继续使用，对工艺进程影响较大。
实用新型内容
[0004]基于此，有必要提供一种在密封面划伤需要送修时，可以避免真空腔体被拆卸的真空设备。
[0005]一种真空设备，包括真空腔体和门盖，所述真空腔体设有开口，所述门盖设于开口处，还包括设于所述开口处的可拆卸式密封件，所述密封件与真空腔体可拆卸式连接，所述密封件与门盖相对的一面设有光滑的密封面，所述门盖上设有与所述密封面对应设置的密封部。
[0006]在其中一个实施例中，所述真空腔体包括腔室部和自腔室部设有开口的一侧面向外延伸的开口部，所述开口部与腔室部连通，且开口部的开口尺寸小于腔室部的侧面尺寸，所述密封件套接在所述开口部外侧并与腔室部外侧密封连接。
[0007]在其中一个实施例中，所述腔室部上、环绕开口部的位置设有螺纹沉孔；相应地，所述密封件上的也设有螺纹沉孔，所述密封件和腔室部通过螺钉固定连接。
[0008]在其中一个实施例中，所述开口部为矩形。
[0009]在其中一个实施例中，所述密封件内侧壁环设向内凸起的抵挡部，所述开口部的开口外缘与所述抵挡部抵接以密封。
[0010]在其中一个实施例中，所述密封件为刚性结构，所述开口部为弹性结构。
[0011 ] 在其中一个实施例中，所述门盖与真空腔体转动连接。
[0012]在其中一个实施例中，所述门盖与密封件转动连接。
[0013]在其中一个实施例中，所述密封部为密封圈。
[0014]上述真空设备，当对真空腔体内部进行维护时，若不小心划伤密封件的密封面，则可将密封件从真空腔体上拆卸下来进行维修，同时也可以换上备用的密封件。这样，该真空设备仍然可以继续使用，对工艺的影响非常小。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为一实施例的真空设备结构示意图；
[0016]图2为图1中的真空腔体的放大图；
[0017]图3为图1中的密封件的放大图。
【具体实施方式】
[0018]以下结合附图和实施例进行进一步说明。
[0019]如图1所示，为一实施例的真空设备结构示意图。该真空设备10包括真空腔体100、门盖200和密封件300。真空腔体100设有开口 102，开口 102处设有可拆卸式密封件300，即密封件300与真空腔体100可拆卸式连接。密封件300与门盖200相对的一面设有光滑的密封面302。门盖200与密封件300相对的一面设有密封部，与密封面302对应设置。本实施例中该密封部为密封圈202。在其他实施例中，该密封部还可以是密封垫等其他可以辅助密封、加强密封效果的部件。当门盖盖在密封件300上时，密封圈202与密封面302紧密贴合形成密封。
[0020]当对真空腔体100内部进行维护时，若不小心划伤密封件200的密封面302，则可将密封件从真空腔体100上拆卸下来进行维修，同时也可以换上备用的密封件200。这样，该真空设备10仍然可以继续使用，对工艺的影响非常小。
[0021]图2是图1中的真空腔体的放大图。参考图2，真空腔体100包括腔室部110和开口部120。其中开口部120自腔室部110设有开口的一侧面向外延伸形成。开口部120与腔室部110连通，且开口部120的开口尺寸小于其所在的腔室部110的侧面尺寸。本实施例中，真空腔体100为立方体结构，开口部120相应的为矩形框结构。也即开口为矩形开口。由于开口部120的开口尺寸小于其所在的腔室部110的侧面尺寸，腔室部110的侧面外部留有环绕开口部120外侧的区域112。在该区域112中设有螺纹沉孔114。
[0022]图3是图1中的密封件的放大图。参考图3，密封件300包括框形主体310和设置在框形主体310 —侧的密封面302。本实施例中，密封面302是凸出于框形主体310 —侧O-ring结构。环绕该密封面302的框形主体310上也设有螺纹沉孔312，其与真空腔体100上的螺纹沉孔114对应设置。这样，密封件300可以套接在真空腔体100的开口部120外侧，并与腔室部110外侧通过螺钉固定连接。
[0023]密封件300内侧壁还环设向内凸起的抵挡部(图未示)，开口部120的开口外缘与抵挡部抵接以实现密封。本实施例中，密封件300为刚性结构，开口部120为弹性结构。密封件300的刚性可以保证一定的强度，在组装过程中不会变形。开口部120的弹性则可以实现一定程度的抵接压力和弹性，保证良好的密封性。
[0024]门盖200可以与真空腔体100或密封件300转动连接。当开合门盖200时，门盖200围绕设于真空腔体100 —侧的转轴或者设于密封件300 —侧的转轴转动。
[0025]可以理解，上述开口部120的形状不限于矩形，还可以是圆形等合适的形状。
[0026]可以理解，密封件300与真空腔体100的连接方式不限于螺钉连接，还可以是扣合、粘合等方式。
[0027]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种真空设备，包括真空腔体和门盖，所述真空腔体设有开口，所述门盖设于开口处，其特征在于，还包括设于所述开口处的可拆卸式密封件，所述密封件与真空腔体可拆卸式连接，所述密封件与门盖相对的一面设有光滑的密封面，所述门盖上设有与所述密封面对应设置的密封部。
2.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述真空腔体包括腔室部和自腔室部设有开口的一侧面向外延伸的开口部，所述开口部与腔室部连通，且开口部的开口尺寸小于腔室部的侧面尺寸，所述密封件套接在所述开口部外侧并与腔室部外侧密封连接。
3.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述腔室部上、环绕开口部的位置设有螺纹沉孔；相应地，所述密封件上的也设有螺纹沉孔，所述密封件和腔室部通过螺钉固定连接。
4.根据权利要求3所述的真空设备，其特征在于，所述开口部为矩形。
5.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述密封件内侧壁环设向内凸起的抵挡部，所述开口部的开口外缘与所述抵挡部抵接以密封。
6.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述密封件为刚性结构，所述开口部为弹性结构。
7.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述门盖与真空腔体转动连接。
8.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述门盖与密封件转动连接。
9.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述密封部为密封圈。
【文档编号】E06B7/16GK204186263SQ201420646186
【公开日】2015年3月4日 申请日期:2014年10月30日 优先权日:2014年10月30日
【发明者】陈祥麟 申请人:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司, 昆山国显光电有限公司