能调整角度的多轴承载装置的制作方法

本发明涉及一种承载装置，特别是涉及一种能调整角度的多轴承载装置。

背景技术：

随着高科技产业的发展，精度的要求也愈来愈高，工具机、各种产业机械、量测仪器的高精度化，加上超精密加工机、半导体制程装置、原子力显微镜等机具的精度已经达到微米或奈米等级。载具平台是影响上述机具精度最主要的因素。

目前现有的载具平台种类主要区分有串联式及并联式。其中，串联式载具平台是以X轴向安装一轴、再于Y轴向安装另一轴、又于X轴向再安装一轴…彼此叠置的方式组装，每一轴均由一马达进行直接驱动，因此除了体积庞大外，由于串联式载具平台是将X轴与Y轴以九十度做组装，在组装时，两轴无法百分百达到九十度，会产生X轴与Y轴间的干涉误差，而降低机具精度，也不适用于大型对象或扭力较大的场所。至于并联式载具平台是以多个驱动系统控制一个以上的轴向运动，包括平移运动与旋转运动，具有多轴同动的特性，但是由于目前的量测技术无法达到大范围多轴量测，以及并联式机构刚性较弱等因素，因此，并联式载具平台的精度不如串联式载具平台高。另外，还有一种是以三组平移旋转单元结合三组驱动系统与一自由单元所组成的载具平台，其主要是借由三组驱动系统间相互的配合，以达到X轴、Y轴与一旋转组件的三自由度运动，但是该旋转运动的中心会因为三组驱动系统造成不固定的现象。

参阅图1，为中国台湾公告第M319503号「四驱动对位对准平台」实用新型专利案，该四驱动对位对准平台包含有安装于一固定平台11的二组第一平移旋转单元12、二组第二平移旋转单元13，以及一固定于所述第一平移旋转单元12与所述第二平移旋转单元13上的量测平台14。所述第一平移旋转单元12对角设置于固定平台11上，且均包括一安装于固定平台11上的驱动单元121、一能受该驱动单元121 往X轴方向驱动位移的第一平移组件122、一能随该第一平移组件122位移或产生相对弹性位移的第二平移组件123，以及一能随该第二平移组件123位移及提供旋转作用的旋转单元124。而所述第二平移旋转单元13是对角设置于固定平台11上，并与所述第一平移旋转单元12的安装方向相差九十度，所述第二平移旋转单元13也都包括有一安装于固定平台11上的驱动单元131、一能受该驱动单元131往Y轴方向驱动位移的第一平移组件132、一能随该第一平移组件132位移或产生相对弹性位移的第二平移组件133，以及一能随该第二平移组件133位移及提供旋转作用的旋转单元134。

利用所述驱动单元121、131适当作动时，得以通过所述第一平移旋转单元12个别驱动、所述第二平移旋转单元13个别驱动，或所述第一平移旋转单元12与所述第二平移旋转单元13共同驱动该量测平台14往X轴或Y轴位移或往预定方向旋转。但只限于X、Y及Zθ等三轴向移动，对于未来3D市场需求已无法满足。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种能有效简化空间，且能提供高精度的多轴向移动，以扩大使用范围，进而提升应用附加价值的能调整角度的多轴承载装置。

本发明能调整角度的多轴承载装置包含一个第一平台模块，该第一平台模块包括一个固定平台、至少一个设置于该固定平台上的第一移动单元、至少一个设置于该固定平台上且位于该第一移动单元旁侧的第二移动单元、二个设置于该固定平台上且沿Y轴方向间隔设置的第一活动单元、一个连设于该第一移动单元与该第二移动单元和所述第一活动单元的第一量测平台、一个设置于该固定平台上且与该第一移动单元相连接并能驱动该第一移动单元移动的第一驱动单元，以及一个设置于该固定平台上且与该第二移动单元相连接并能驱动该第二移动单元移动的第二驱动单元，所述第一活动单元分别与该第一量测平台的两相对侧相连接，借此该第一驱动单元与该第二驱动单元同时分别驱动该第一移动单元与该第二移动单元进行X轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元相向或反向位移且位移距离相同时，会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，当该第一移动单元与该第二 移动单元同向位移且位移距离相同时，则该第一量测平台呈现Yθ角度旋转，当该第一移动单元与该第二移动单元位移距离不同时，则会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，同时该第一量测平台还会受所述第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，该第一平台模块是包括二个沿Y轴向间隔设置的第一移动单元，以及二个沿Y轴向间隔设置且与所述第一移动单元相对应的第二移动单元，每一个第一移动单元包括一个定位于该固定平台上的第一底板、一个滑设于该第一底板上且能在该第一驱动单元的带动下相对该第一底板进行X轴向位移的第一平移块、一个第一倾斜滑块，以及一个枢设于该第一倾斜滑块上端且能相对该第一倾斜滑块枢转的第一旋摆块，各该第一平移块具有一个第一倾斜面，各该第一倾斜滑块滑设于各该第一平移块的各该第一倾斜面上且能相对各该第一平移块进行位移，另外，每一个第二移动单元包括一定位于该固定平台上的第二底板、一个滑设于该第二底板上且能受相对应的该第二驱动单元的带动而能相对该第二底板进行X轴向位移的第二平移块、一个第二倾斜滑块，以及一个枢设于该第二倾斜滑块上端且能相对该第二倾斜滑块枢转的第二旋摆块，各该第二平移块具有一个第二倾斜面，各该第二倾斜滑块滑设于各该第二平移块的各该第二倾斜面上且能相对各该第二平移块进行位移，所述第一移动单元的所述第一旋摆块与所述第二移动单元的所述第二旋摆块均顶抵于该第一量测平台底面，该第一量测平台呈现Yθ角度倾摆或旋转时，所述第一旋摆块与所述第二旋摆块均能同步枢转。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，该第一驱动单元包括一个具有一个能够伸缩作动的第一输出轴的第一驱动源与一个第一连接板，以及一个固设于该固定平台上的第一定位座，该第二驱动单元包括一个具有一个可伸缩作动的第二输出轴的第二驱动源与一个第二连接板，以及一固设于该固定平台上的第二定位座，该第一驱动单元的该第一输出轴与该第一连接板中段处相连设并连接该第一定位座，该第一连接板连接至少其中一个第一平移块，该第二驱动单元的该第二输出轴与该第二连接板中段处相连设并连接该第二定位座，该第二连接板连接至少其中一个第二平移块，借此该第一驱动源与该第 二驱动源分别驱动该第一输出轴与该第二输出轴伸缩作动时，能同步连动该第一连接板与该第二连接板，进而带动所述第一平移块与所述第二平移块分别相对所述第一底板与所述第二底板进行X轴向位移，所述第一平移块与所述第二平移块位移时会同时连动所述第一倾斜滑块与所述第二倾斜滑块分别顺着所述第一倾斜面、所述第二倾斜面倾斜向下位移或倾斜向上位移。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第一移动单元还包括数个第一线性移动组件，所述第一线性移动组件分别连设于所述第一平移块与所述第一底板间，以及所述第一平移块与所述第一倾斜滑块间，借此使得所述第一平移块能相对所述第一底板位移，以及所述第一倾斜滑块能相对所述第一平移块位移；另外，每一个第二移动单元还包括数个第二线性移动组件，所述第二线性移动组件分别连设于所述第二平移块与所述第二底板间，以及所述第二平移块与所述第二倾斜滑块间，借此使得所述第二平移块能相对所述第二底板位移，以及所述第二倾斜滑块能相对所述第二平移块位移。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第一活动单元包括一个固设于该固定平台上的第一立座、一个设置于该第一立座上沿Z轴方向延伸的第一线性导轨、一个滑设于该第一线性导轨上且能够升降位移的第一滑块，以及一个能够转动地设于该第一滑块上的第一转轴，所述第一活动单元的所述第一转轴分别与该第一量测平台的两相对应侧相连接，借此该第一量测平台进行Z轴向位移时，会同步连动各该第一滑块依循相对应的各该第一线性导轨位移，且该第一量测平台呈现Yθ角度倾摆或旋转时，也会同步连动所述第一转轴旋转。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，还包含一个第二平台模块，该第二平台模块包括二个位于该第一量测平台上且沿X轴向间隔设置的第三移动单元、二个位于该第一量测平台上且沿X轴向间隔设置的第四移动单元、二个位于该第一量测平台上且沿X轴向间隔设置并位于该第三移动单元与该第四移动单元间的第二活动单元、一个连设于所述第三移动单元与所述第四移动单元和所述第二活动单元的第二量测平台，以及一个设置于该第一量测平台上并能驱动所述第三移动单元和所述第四移动单元位移的第三驱动单元，所述第二活动单 元分别与该第二量测平台的两相对侧相连接，借此该第三驱动单元驱动所述第三移动单元与所述第四移动单元同时朝同向进行Y轴向位移时，连动该第二量测平台呈现Xθ角度旋转。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第三移动单元包括一个定位于该第一量测平台上的第三底板、一个滑设于该第三底板上且能在该第三驱动单元的带动下相对该第三底板进行Y轴向位移的第三平移块、一个第三倾斜滑块，以及一个枢设于该第三倾斜滑块上端且能相对该第三倾斜滑块枢转的第三旋摆块，各该第三平移块具有一第三倾斜面，各该第三倾斜滑块滑设于各该第三平移块的各该第三倾斜面上且能相对各该第三平移块进行位移，另外，每一个第四移动单元包括一个定位于该第一量测平台上的第四底板、一个滑设于该第四底板上且能受该第三驱动单元的带动而能相对该第四底板进行Y轴向位移的第四平移块、一个第四倾斜滑块，以及一个枢设于该第四倾斜滑块上端且能相对该第四倾斜滑块枢转的第四旋摆块，各该第四平移块具有一第四倾斜面，各该第四倾斜滑块滑设于各该第四平移块的各该第四倾斜面上且能相对各该第四平移块进行位移，所述第三移动单元的所述第三旋摆块与所述第四移动单元的所述第四旋摆块均顶抵于该第二量测平台底面，该第三驱动单元驱动所述第三移动单元的所述第三平移块与所述第四移动单元的所述第四平移块朝同向位移时，同时连动所述第三倾斜滑块顺着所述第三倾斜面倾斜向下位移或倾斜向上位移，以及所述第四倾斜滑块顺着所述第四倾斜面倾斜向上位移或倾斜向下位移，借此连动该第二量测平台呈现Xθ角度旋转。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，该第三驱动单元包括一个具有一个能够伸缩作动的第三输出轴的第三驱动源、一个第三连接板、二个连接杆，以及一个固设于该第一量测平台上的第三定位座，该第三驱动单元的该第三输出轴与该第三连接板中段处相连设并连接该第三定位座，每一个连接杆两端分别连接该第三移动单元的第三平移块与该第四移动单元的第四平移块，该第三连接板连接至少其中一个第四平移块及至少其中一个连接杆，借此该第三驱动源驱动该第三输出轴伸缩作动时，能同步连动该第三连接板带动该第四移动单元的所述第四平移块相对所述第四底板朝同向进行Y轴向位移，同时经 由所述连接杆连动该第三移动单元的所述第三平移块同步地朝同向进行Y轴向位移。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第三移动单元还包括数个第三线性移动组件，所述第三线性移动组件分别连设于所述第三平移块与所述第三底板间，以及所述第三平移块与所述第三倾斜滑块间，借此使得所述第三平移块能相对所述第三底板位移，以及所述第三倾斜滑块能相对所述第三平移块位移；另外，每一个第四移动单元还包括数个第四线性移动组件，所述第四线性移动组件分别连设于所述第四平移块与所述第四底板间，以及所述第四平移块与所述第四倾斜滑块间，借此使得所述第四平移块能相对所述第四底板位移，以及所述第四倾斜滑块能相对所述第四平移块位移。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第二活动单元包括一个固设于该第一量测平台上的第二立座，以及一个能够转动地设于该第二立座上端处的第二转轴，所述第二活动单元的所述第二转轴分别与该第二量测平台的两相对应侧相连接，借此该第二量测平台呈现Xθ角度旋转时，也会同步连动所述第二转轴旋转。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第一立座具有一个固设于该固定平台上的第一固定部，以及一个滑设于该第一固定部上的第一滑动部，另外，每一个第一活动单元还包括一第一制动器，及一个连设于该第一固定部与该第一滑动部间且沿X轴向延伸的第五线性移动组件，所述第一制动器是用于限制所述第五线性移动组件的作动，借此所述第一移动单元与所述第二移动单元同向等距移动且所述第一制动器锁制时，该第一量测平台能够产生旋转，而所述第一移动单元与所述第二移动单元等距而同向移动且所述第一制动器非锁制时，则该第一量测平台能够沿X轴方向移动。

本发明所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第二立座具有一固设于该第一量测平台上的第二固定部，以及一个滑设于该第二固定部上的第二滑动部，另外，每一个第二活动单元还包括一第二制动器，及一个连设于该第二固定部与该第二滑动部间且沿Y轴向延伸的第六线性移动组件，所述第二制动器是用于限制所述第六线性移动组件的作动，借此所述第三移动单元与所述第四移动单元同向移动且所述第 二制动器锁制时，该第二量测平台能够产生旋转，而所述第三移动单元与该第四移动单元同向移动且所述第二制动器非锁制时，则该第二量测平台能够沿Y轴方向移动。

本发明的有益的效果在于：能有效简化空间，且能提供高精度的多轴向移动，能供应用于半导体制造业、平面显示器、软性电路板、机械工业及精密量测等领域，不只使用范围扩大，还能提升应用附加价值。

附图说明

图1是一分解示意图，说明中国台湾公告第M319503号「四驱动对位对准平台」实用新型专利案。

图2是一示意图，说明本发明能调整角度的多轴承载装置的第一实施例。

图3是一立体示意图，说明该第一实施例的一第一平移块(第二平移块)。

图4是一立体示意图，说明该第一实施例的一第一活动单元。

图5是一侧视示意图，说明该第一实施例的该第一驱动单元与一第二驱动单元尚未开始作动，且使一第一量测平台呈水平状的态样，为使该第一活动单元能清楚显示，因此在本图中以假想线显示该第一量测平台。

图6是一侧视示意图，说明该第一实施例的该第一驱动单元的第一输出轴与该第二驱动单元的第二输出轴同时伸展一段相同距离，该第一量测平台呈水平下降的态样，为使该第一活动单元能清楚显示，因此在本图中以假想线显示该第一量测平台。

图7是一侧视示意图，说明该第一实施例的该第一量测平台形成左倾态样。

图8是一侧视示意图，说明该第一实施例的该第一量测平台形成右倾态样。

图9是一示意图，说明该第一实施例的该第一量测平台呈现Yθ角度旋转的态样。

图10是一示意图，说明本发明能调整角度的多轴承载装置的第二实施例。

图11是一立体示意图，说明该第二实施例的一第二活动单元。

图12是一立体组合示意图，说明该第二实施例的组合态样。

图13是一侧视示意图，说明该第二实施例的该第二量测平台形成右倾态样。

图14是一示意图，说明本发明能调整角度的多轴承载装置的第三实施例。

图15是一示意图，说明本发明能调整角度的多轴承载装置的第四实施例。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

参阅图2、3与4，本发明能调整角度的多轴承载装置的第一实施例，包含一第一平台模块2，该第一平台模块2包括一固定平台21、二第一移动单元22、二第二移动单元23、二第一活动单元24、一第一量测平台25、一设置于该固定平台21上且与所述第一移动单元22相连接的第一驱动单元26，以及一设置于该固定平台21上且与所述第二移动单元23相连接的第二驱动单元27。

每一第一移动单元22包括一定位于该固定平台21上的第一底板221、一滑设于该第一底板221上的第一平移块222、一第一倾斜滑块223、一枢设于该第一倾斜滑块223上端且能相对该第一倾斜滑块223枢转的第一旋摆块224，以及数个第一线性移动组件225。所述第一平移块222均呈梯形体状，且皆具有一第一倾斜面226，所述第一线性移动组件225分别连设于所述第一平移块222与所述第一底板221间，以及所述第一平移块222与所述第一倾斜滑块223间。借此所述第一平移块222能在外力作用下相对所述第一底板221位移，以及所述第一倾斜滑块223能相对所述第一平移块222位移。

每一第二移动单元23包括一定位于该固定平台21上的第二底板231、一滑设于该第二底板231上的第二平移块232、一第二倾斜滑块233、一枢设于该第二倾斜滑块233上端且能相对该第二倾斜滑块233枢转的第二旋摆块234，以及数个第二线性移动组件235。所述第二平移块232均呈梯形体状，且皆具有一第二倾斜面236，所述第二线性移动组件235分别连设于所述第二平移块232与所述第二底板231 间，以及所述第二平移块232与所述第二倾斜滑块233间。借此所述第二平移块232能在外力作用下相对所述第二底板231位移，以及所述第二倾斜滑块233能相对所述第二平移块232位移。

参阅图2、4、5，每一第一活动单元24包括一固设于该固定平台21上的第一立座241、一设置于该第一立座241上的第一线性导轨242、一滑设于该第一线性导轨242上且在外力作用下并可升降位移的第一滑块243、一可转动地设于该第一滑块243上的第一转轴244，以及二分别立置于该第一立座241的两相对侧并用于对该第一立座241产生辅助支撑作用的挡板245。

该第一量测平台25连设于所述第一移动单元22与所述第二移动单元23和所述第一活动单元24，所述第一活动单元24分别与该第一量测平台25相对应侧相连接，其连接关系主要是以既可相对转动亦可沿着Z轴向上下相对移动地相连接，在本具体实施中，所述第一活动单元24的第一转轴244分别与该第一量测平台25相对应侧相连接，所述第一移动单元22的所述第一旋摆块224与所述第二移动单元23的所述第二旋摆块234均顶抵于该第一量测平台25底面，使得该第一量测平台25连设于所述第一移动单元22与所述第二移动单元23和所述第一活动单元24，且彼此产生连动关系。

该第一驱动单元26包括一第一驱动源261、一第一连接板262，以及一固设于该固定平台21上的第一定位座263。该第一驱动源261具有一可伸缩作动的第一输出轴264。该第一驱动单元26的第一输出轴264与该第一连接板262中段处相连设且穿出该第一连接板262并连接该第一定位座263，该第一连接板262两端分别连接所述第一移动单元22的所述第一平移块222。借此该第一驱动源261驱动该第一输出轴264伸缩作动时，会连动该第一连接板262于该第一定位座263与该第一驱动源261间平移，进而通过该第一连接板262带动所述第一平移块222相对所述第一底板221进行X轴向位移，所述第一平移块222位移时，会同时连动所述第一倾斜滑块223顺着所述第一倾斜面226倾斜向下位移或倾斜向上位移。

该第二驱动单元27包括一第二驱动源271、一第二连接板272，以及一固设于该固定平台21上的第二定位座273。该第二驱动源271 具有一可伸缩作动的第二输出轴274。该第二驱动单元27的第二输出轴274与该第二连接板272中段处相连设且穿出该第二连接板272并连接该第二定位座273，该第二连接板272两端分别连接所述第二移动单元23的所述第二平移块232。借此该第二驱动源271驱动该第二输出轴274伸缩作动时，会连动该第二连接板272于该第二定位座273与该第二驱动源271间平移，进而通过该第二连接板272带动所述第二平移块232相对所述第二底板231进行X轴向位移，所述第二平移块232位移时，会同时连动所述第二倾斜滑块233顺着所述第二倾斜面236倾斜向下位移或倾斜向上位移。

特别说明的是，该第一连接板262也可只以一端连接于其中一第一平移块222，以及该第二连接板272也可只以一端连接于其中一第二平移块232，如此，当后续该第一量测平台25变位时，另一第一平移块222及另一第二平移块232也会被连动。

参阅图2与5，在使用上，可将一对象(图未示)放置于该第一量测平台25上，当该第一驱动单元26与该第二驱动单元27尚未开始作动时，该第一量测平台25是呈水平状态。

参阅图2、5、6，当该第一驱动单元26的第一驱动源261与该第二驱动单元27的第二驱动源271分别驱动该第一输出轴264、该第二输出轴274同时伸展一段相同距离时，分别连动该第一连接板262与该第二连接板272各自同步带动所述第一平移块222与所述第二平移块232如图中箭号S1所示彼此反向而相对所述第一底板221、所述第二底板231进行X轴向位移，所述第一平移块222与所述第二平移块232位移时，会同时分别连动所述第一倾斜滑块223与所述第二倾斜滑块233如图中箭号S2所示各自顺着所述第一倾斜面226、所述第二倾斜面236倾斜向下位移。此时，该第一量测平台25及所述第一活动单元24的第一滑块243会同步随着所述第一倾斜滑块223如图6中箭号S3所示向下位移，也就是说进行Z轴向位移。

同理，若欲使位于图6所示位置的该第一量测平台25及所述第一活动单元24的第一滑块243复位的话，则只需控制该第一驱动源261与该第二驱动源271分别驱动该第一输出轴264、该第二输出轴274同时收缩一段相同距离，此时可连动该第一连接板262与该第二 连接板272各自同步带动所述第一平移块222与所述第二平移块232如图中箭号S4所示相向地相对所述第一底板221与所述第二底板231进行X轴向位移，进而分别带动所述第一平移块222与所述第二平移块232复位，会同时连动所述第一倾斜滑块223与所述第二倾斜滑块233如图中箭号S5所示各自顺着所述第一倾斜面226、所述第二倾斜面236倾斜向上移动复位，此时，该第一量测平台25及所述第一活动单元24的第一滑块243会同步随着所述第一倾斜滑块223如图中箭号S6所示向上位移。

参阅图2与7，并配合回顾图5，当只控制该第一驱动单元26的第一驱动源261驱动该第一输出轴264伸展时，此时只有该第一连接板262受到该第一输出轴264的连动，而同步带动所述第一平移块222位移相对所述第一底板221进行X轴向位移，所述第一平移块222位移时，会同时连动所述第一倾斜滑块223顺着所述第一平移块222的第一倾斜面226倾斜向下位移，于此借由所述第一旋摆块224可枢转的设置，及所述第一转轴244可转动地连设于该第一滑块243与该第一量测平台25间，使得该第一量测平台25可呈现Yθ角度倾摆(如图7所示的左倾态样)。

参阅图2与8，当只控制该第二驱动单元27的第二驱动源271驱动该第二输出轴274伸展时，也能使该第一量测平台25可呈现Yθ角度倾摆。

参阅图2与9，当控制该第一驱动单元26的第一驱动源261驱动该第一输出轴264收缩，以及控制该第二驱动单元27的第二驱动源271驱动该第二输出轴274伸展时，此时该第一连接板262受到该第一输出轴264的连动而同步带动所述第一平移块222朝所述第二移动单元23方向进行X轴向位移，所述第一平移块222位移时，会同时连动所述第一倾斜滑块223顺着所述第一平移块222的第一倾斜面226倾斜向上位移；同时该第二连接板272受到该第二输出轴274的连动而同步带动所述第二平移块232朝远离所述第一移动单元22方向进行X轴向位移，所述第二平移块232位移时，会同时连动所述第二倾斜滑块233顺着所述第二倾斜面236倾斜向下位移，如此就可以使该第一量测平台25呈现Yθ角度旋转。

特别说明的是，本实施例的第一平台模块2也能够只包括一第一移动单元22及一第二移动单元23，此时该第一驱动单元26不需要包括第一连接板262及第一定位座263，只需要使该第一驱动单元26的第一驱动源261的第一输出轴264与该第一移动单元22的第一平移块222相连接。同样地，该第二驱动单元27不需要包括第二连接板272及第二定位座273，只需要使该第二驱动单元27的第二驱动源271的第二输出轴274与该第二移动单元23的第二平移块232相连接。借此利用该第一驱动单元26与该第二驱动单元27的作动，也能产生如同上述般的连动位移动作。

当该第一驱动单元26与该第二驱动单元27同时分别驱动该第一移动单元22、该第二移动单元23进行X轴向位移，当该第一移动单元22与该第二移动单元23相向或反向位移且位移距离相同时，会连动该第一量测平台25进行Z轴向位移；当该第一移动单元22与该第二移动单元23同向位移且位移距离相同时，则该第一量测平台25呈现Yθ角度旋转，当该第一移动单元22与该第二移动单元23位移距离不同时，则会连动该第一量测平台25进行Z轴向位移，同时该第一量测平台25还会受所述第一活动单元24的带动而呈现Yθ角度倾摆。

参阅图10、11与12，本发明能调整角度的多轴承载装置的第二实施例，本实施例与第一实施例大致相同，不同的地方在于其还包含一第二平台模块3。该第二平台模块3包括二位于该第一量测平台25上且沿X轴向间隔设置的第三移动单元31、二位于该第一量测平台25上且沿X轴向间隔设置的第四移动单元32、二位于该第一量测平台25上且沿X轴向间隔设置并位于该第三移动单元31与该第四移动单元32间的第二活动单元33、一连设于所述第三移动单元31与所述第四移动单元32和所述第二活动单元33的第二量测平台34，以及一设置于该第一量测平台25上并能驱动所述第三移动单元31和所述第四移动单元32位移的第三驱动单元35。

每一第三移动单元31包括一定位于该第一量测平台25上的第三底板311、一滑设于该第三底板311上且能在该第三驱动单元35的带动下相对该第三底板311进行X轴向位移的第三平移块312、一第三倾斜滑块313、一枢设于该第三倾斜滑块313上端且能相对该第三倾 斜滑块313枢转的第三旋摆块314，以及数个第三线性移动组件315，各该第三平移块312具有一第三倾斜面316，各该第三倾斜滑块313滑设于各该第三平移块312的各该第三倾斜面316上且能相对各该第三平移块312进行位移。所述第三线性移动组件315分别连设于所述第三平移块312与所述第三底板311间，以及所述第三平移块312与所述第三倾斜滑块313间，借此使得所述第三平移块312能相对所述第三底板311位移，以及所述第三倾斜滑块313能相对所述第三平移块312位移。

每一第四移动单元32包括一定位于该第一量测平台25上的第四底板321、一滑设于该第四底板321上且能受该第三驱动单元35的带动而能相对该第四底板321进行Y轴向位移的第四平移块322、一第四倾斜滑块323、一枢设于该第四倾斜滑块323上端且能相对该第四倾斜滑块323枢转的第四旋摆块324，以及数个第四线性移动组件(因视图角度关系未予显示)，各该第四平移块322具有一第四倾斜面325，各该第四倾斜滑块323滑设于各该第四平移块322的各该第四倾斜面325上且能相对各该第四平移块322进行位移。所述第四线性移动组件分别连设于所述第四平移块322与所述第四底板321间，以及所述第四平移块322与所述第四倾斜滑块323间，借此使得所述第四平移块322能相对所述第四底板321位移，以及所述第四倾斜滑块323能相对所述第四平移块322位移。

所述第三移动单元31的所述第三旋摆块314与所述第四移动单元32的所述第四旋摆块324均顶抵于该第二量测平台34底面，而所述第二活动单元33分别与该第二量测平台34的两相对侧相连接。

每一第二活动单元33包括一固设于该第一量测平台25上的第二立座331，以及一可转动地设于该第二立座331上端处的第二转轴332，所述第二活动单元33的所述第二转轴332分别与该第二量测平台34的两相对应侧相连接。

该第三驱动单元35包括一具有一可伸缩作动的第三输出轴351的第三驱动源352、一第三连接板353、二连接杆354，以及一固设于该第一量测平台25上的第三定位座355，该第三驱动单元35的该第三输出轴351与该第三连接板353中段处相连设且穿出该第三连接板 353并连接该第三定位座355，每一连接杆354两端分别连接该第三移动单元31的第三平移块312与该第四移动单元32的第四平移块322，该第三连接板353位于所述第四移动单元32的所述第四平移块322间且与所述连接杆354相连接。特别说明的是，该第三连接板353也可只以一端连接于其中一个第四平移块322，如此，当后续该第二量测平台34变位时，另一第四平移块322及所述第三平移块312也会被连动。

参阅图10、12与13，当该第三驱动源352驱动该第三输出轴351伸展作动时，同步连动该第三连接板353带动所述第四平移块322相对所述第四底板321朝右进行Y轴向位移，且经由所述连接杆354连动该第三移动单元31的所述第三平移块312同步地朝右进行Y轴向位移，借此可同时连动所述第三倾斜滑块313顺着所述第三倾斜面316倾斜向上位移，以及所述第四倾斜滑块323顺着所述第四倾斜面325倾斜向下位移。同理，若是该第三驱动源352驱动该第三输出轴351收缩作动时，带动所述第四平移块322朝左进行Y轴向位移，及同时连动所述第三倾斜滑块313顺着所述第三倾斜面316倾斜向下位移，以及所述第四倾斜滑块323顺着所述第四倾斜面325倾斜向上位移。借此就可以连动该第二量测平台34呈现Xθ角度旋转。

本较佳实施例借由组合运用第一平台模块2及第二平台模块3，而可同步达成Z轴向、Yθ角度的倾摆或旋转，以及Xθ角度旋转等多轴向的运动需求，且由于第一平台模块2与第二平台模块3为可拆组式的，因此本发明可依据实际机台的需求，设置所需运动模式的平台模块，运用灵活度高，符合不同等级的需求市场；再者，第一平台模块2与第二平台模块3分别执行不相同的运动模式，因此对应平台模块的运动模式单纯，驱动时运算方式单纯且误差也小，更有利于提升整体做动时的精度。

参阅图2与14，本发明能调整角度的多轴承载装置的第三实施例，本实施例与第一实施例大致相同，不同的地方是在于每一第一立座241具有一固设于该固定平台21上的第一固定部246，以及一滑设于该第一固定部246上的第一滑动部247。另外，每一第一活动单元24还包括一第一制动器248，及一连设于该第一固定部246与该第一 滑动部247间且沿X轴向延伸的第五线性移动组件(因视图角度关系，未予显示)，所述第一制动器248是分别设置于所述第一立座241的所述第一固定部246与所述第一滑动部247间而用于限制所述第五线性移动组件的作动。借此所述第一移动单元22与所述第二移动单元23同向等距移动且所述第一制动器248锁制时，该第一量测平台25可产生Yθ角度旋转，而所述第一移动单元22与所述第二移动单元23同向等距移动且所述第一制动器248非锁制时，则该第一量测平台25不但能产生Yθ角度旋转还可进一步沿X轴方向移动。

参阅图15，本发明能调整角度的多轴承载装置的第四实施例，本实施例与第二实施例大致相同，不同的地方是在于每一第一立座241具有一固设于该固定平台21上的第一固定部246，以及一滑设于该第一固定部246上的第一滑动部247。另外，每一第一活动单元24还包括二第一制动器248，及二连设于该第一固定部246与该第一滑动部247间且沿X轴向延伸的第五线性移动组件(因视图角度关系，未予显示)，所述第一制动器248是分别设置于所述第一立座241的所述第一固定部246与所述第一滑动部247间而用于限制该第五线性移动组件的作动。此外，每一第二立座331具有一固设于该第一量测平台25上的第二固定部334，以及一滑设于该第二固定部334上的第二滑动部335。另外，每一第二活动单元33还包括一第二制动器336(因视图角度关系，图中只显示1个)、一连设于该第二固定部334与该第二滑动部335间且沿Y轴向延伸的第六线性移动组件(因视图角度关系，未予显示)。所述第二制动器336是分别设置于所述第二立座331的所述第二固定部334与所述第二滑动部335间而用于限制该第六线性移动组件的作动。借此该第三移动单元31与该第四移动单元32同向移动且所述第二制动器336锁制时，该第二量测平台34可产生旋转，而该第三移动单元31与该第四移动单元32同向移动且该第二制动器336非锁制时，则该第二量测平台34可沿Y轴方向移动。也就是说在本实施例中可达到五轴向的变位。

综上所述，本发明能调整角度的多轴承载装置借由上述构造设计，能有效简化空间，且能提供高精度的多轴向移动，可供应用于半导体制造业、平面显示器、软性电路板、机械工业及精密量测等领域， 不只使用范围扩大，还能提升应用附加价值。此外，因本发明大多采用线性移动机构，所以结构单纯，且控制容易，相较于现有的马达是直接驱动机构进行移动或转动，而本发明的驱动力则分散在各个机构，因此能够采用小驱动力的马达，或运用于高荷重的平台，仍可达到高承载强度。而且由于本发明能采用小驱动力的马达，因此在使用上无需再搭配减速机构，更可达到高精度的多轴向移动。所以确实能达成本发明的目的。