一种复制光栅分离装置的制作方法

本实用新型涉及一种复制光栅分离装置，属于光栅制程辅助工具技术领域。

背景技术：

复制光栅生产工艺流程为：在玻璃母版光栅上镀一层金属膜,一般为金膜或铝膜，之后取一片与母版同样大小的玻璃晶片，再其上涂覆一层紫外胶，然后将镀金属后的母版光栅以金属面朝向紫外胶层，覆盖在紫外胶上，并控制两片晶片的边缘对齐，然后在紫外光下照射一定时间。紫外胶在紫外光的照射下发生化学反应，由液体逐渐变成固体，并且硬度逐渐增加。待紫外胶完全固化后，利用工装夹具将两片晶片进行分离，由于金或铝等金属膜层与紫外胶的结合力远大于金属膜层与玻璃晶片的结合力，经过分离后，金属膜层由母版转移到紫外胶上，并与晶片一起形成复制光栅。这种光栅的复制工艺简单，产品质量稳定。

常规的分离方法为夹持分离，即用夹持夹具将晶片与母版分别进行夹持，然后沿相反方向进行拉伸，随着拉力的增加，晶片与母版就会慢慢分开。但这种夹持分离的方法容易破坏晶片的边缘，且工装夹具复杂，效率底下。

技术实现要素：

为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种复制光栅分离装置，该装置能够自动分离晶片，代替传统操作，减少作业员的工作量，提高工作效率，且减少分离过程中晶片的损伤和污染。

本实用新型的技术方案如下：

一种复制光栅分离装置，包括水平设置的底座和从右至左依次设置在底座上的电动液压推杆、连接杆、定位板、分离机构与机械手；所述电动液压推杆水平设置；所述连接杆包括水平设置的杆体和设置于杆体一端的连接板，连接板与电动液压推杆的推杆固定连接；所述分离机构包括带有尖嘴的第一分离板、第二分离板以及带有滑轨的底板，底板水平设置在底座上，第一分离板设置于底板远离定位板的一侧，第二分离板通过滑轨与底板滑动连接，尖嘴为三角锥型，第一分离板的尖嘴和第二分离板的尖嘴相对设置；所述定位板上开设有通孔，杆体穿过通孔与第二分离板固定连接；所述机械手安装在靠近第一分离板的一侧用于吸取晶片。

其中，所述第一分离板和第二分离板内部靠近尖嘴部位开设有气腔，尖嘴上下两侧设置有穿入尖嘴与气腔连通的吸气管，第一分离板和第二分离板远离尖嘴的一侧还设置出气管和微型气泵，出气管与气腔连通，微型气泵与出气管连通。

其中，所述机械手包括第二底座、第一转动杆、第二转动杆、转动件和电动吸嘴，第二底座固定设置在底座靠近第一分离板的一端，第一转动杆一端通过转动件连接于第二底座上端与第二底座转动连接，第二转动杆的一端通过转动件连接于第一转动杆的另一端与第一转动杆转动连接，电动吸嘴固定连接于第二转动杆的另一端且朝下设置。

其中，所述转动件为双轴电控转动件。

其中，所述第二底座上还设置有控制器，电动液压推杆、转动件与电动吸嘴分别与控制器电连接接收其发出的控制信号。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型一种复制光栅分离装置，能够自动分离晶片，代替传统分离方法，减少作业员的工作量，提高工作效率。

2、本实用新型一种复制光栅分离装置，分离晶片时通过吸气管吸走分离过程中产生的细小颗粒，不会污染晶片。

3、本实用新型一种复制光栅分离装置，采用机械手来拿取晶片，可以使叠加在一起的晶片连接处准确对准尖嘴，不会损伤晶片。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型分离机构结构示意图。

图中附图标记表示为：

1-底座、2-电动液压推杆、21-推杆、3-连接杆、31-杆体、32-连接板、4-定位板、5-分离机构、51-尖嘴、52-第一分离板、53-第二分离板、54-底板、55-气腔、56-吸气管、57-出气管、58-微型气泵、6-机械手、61-第二底座、62-第一转动杆、63-第二转动杆、64-转动件、65-电动吸嘴、66-控制器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。

参见图1和图2，一种复制光栅分离装置，包括水平设置的底座1和从右至左依次设置在底座1上的电动液压推杆2、连接杆3、定位板4、分离机构5与机械手6；所述电动液压推杆2水平设置；所述连接杆3包括水平设置的杆体31和设置于杆体31一端的连接板32，连接板32与电动液压推杆2的推杆21固定连接；所述分离机构5包括带有尖嘴51的第一分离板52、第二分离板53以及带有滑轨的底板54，底板水平设置在底座1上，第一分离板52设置于底板54远离定位板4的一侧，第二分离板53通过滑轨与底板54滑动连接，尖嘴51为三角锥型，第一分离板52的尖嘴51和第二分离板53的尖嘴51相对设置；所述定位板4上开设有通孔，杆体31穿过通孔与第二分离板53固定连接，定位板4使连接杆3移动时不偏离位置；所述机械手6安装在靠近第一分离板52的一侧用于吸取晶片。

进一步的，所述第一分离板52和第二分离板53内部靠近尖嘴51部位开设有气腔55，尖嘴51上下两侧设置有穿入尖嘴51与气腔55连通的吸气管56，第一分离板52和第二分离板53远离尖嘴51的一侧还设置出气管57和微型气泵58，出气管57与气腔55连通，微型气泵58与出气管57连通。

进一步的，所述机械手6包括第二底座61、第一转动杆62、第二转动杆63、转动件64和电动吸嘴65，第二底座61固定设置在底座1靠近第一分离板52的一端，第一转动杆62一端通过转动件64连接于第二底座61上端与第二底座61转动连接，第二转动杆63的一端通过转动件64连接于第一转动杆62的另一端与第一转动杆62转动连接，电动吸嘴65固定连接于第二转动杆63的另一端且朝下设置。

进一步的，所述转动件64为双轴电控转动件。可以进行竖直转动和水平转动。

进一步的，所述第二底座61上还设置有控制器66，电动液压推杆2、转动件64与电动吸嘴65分别与控制器66电连接接收其发出的控制信号；控制器66上设置有进位、复位、停止等控制按钮。

本实用新型的工作流程如下：

启动控制器66，控制转动件64转动，使电动吸嘴65移动到放置叠加在一起的晶片的上方并将晶片吸住，再使电动吸嘴65移动到第一分离板52的尖嘴51和第二分离板53的尖嘴51之间，使叠加在一起的晶片的连接处与尖嘴51处于相同水平位置，控制器66发送电信号给电动液压推杆2使其启动，电动液压推杆2的推杆21带动连接杆3移动，使第二分离板53在底板54上向第一分离板52滑动，尖嘴51挤进两晶片连接处使晶片分离开来。

微型气泵58使得气腔55内的气压始终比尖嘴外侧51气压小，让尖嘴51上下两侧设置的吸气管56具有吸力，吸气管56把分离过程中产生的细小颗粒吸进气腔55并通过出气管57流至外部。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。