真空室门板推进装置的传动组件的制作方法

本发明涉及真空室门板推进装置的传动组件。

背景技术

炉管lpcvd硅片放在石英舟上，通过传动装置将石英舟传送到真空室炉体内，然后抽真空进行后续工艺，由于初始精度及长期使用变形，导致门板在闭合时和炉口法兰会有较大缝隙，现有的门板推进装置和门板之间为固定连接，门板和炉口法兰有较大缝隙时，现有装置就无法完成在自动化条件下完成抽真空，影响后续的加工，现有手段是通过人工调整，严重影响了生产效率。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是提供一种真空室门板推进装置的传动组件，其能够在推进门板闭合时自动调整门板角度使其与路口法兰紧密贴合。

为解决上述技术问题本发明提供了真空室门板推进装置的传动组件，包括竖直布置的门板、驱动装置，所述的驱动装置上设有竖直布置的安装板，门板与安装板左右间隔布置且门板和安装板的法线方向均为左右走向，还包括第一圆筒、第二圆筒、销杆、球面轴承、第一螺母；

第一圆筒、第二圆筒、销杆、球面轴承、第一螺母共轴线且轴线方向为左右走向；

第一圆筒右侧敞口，第一圆筒内腔右侧周向设有环形的第一凹进，第一圆筒右侧还设有一个挡圈，挡圈与第一圆筒共轴线且挡圈内径小于第一凹进的直径；

第二圆筒左侧敞口，第二圆筒内径小于挡圈内径；

销杆由从左至右直径依次增大的第一圆柱、第二圆柱、第三圆柱同轴连接而成，第一圆柱周向外侧设有与第一螺母相匹配的外螺纹，第三圆柱的直径与第二圆筒内径相同，第三圆柱轴向长度大于第二圆筒轴向深度；

球面轴承包括共轴线的外圈、内圈，内圈轴向两端均超出外圈轴向两端一定距离，球面轴承的外圈的直径、轴向长度与第一凹进的直径、轴向长度对应相等，球面轴承内圈的内径、轴向长度与第二圆柱直径、轴向长度对应相等；

第一螺母、球面轴承左右布置，第一圆柱从右至左穿过球面轴承内圈与第一螺母旋接，球面轴承套接于第二圆柱的周向外侧，球面轴承内圈左侧与第一螺母右侧相抵靠，球面轴承内圈右侧与第三圆柱左侧相抵靠，球面轴承外圈设于第一凹进内，第一圆柱左侧与第一圆筒左侧之间留有一定距离；

第一圆筒左侧与门板连接，第二圆筒右侧与安装板连接，第三圆柱右部设于第二圆筒内腔中，第三圆柱右侧与第二圆筒内腔的右侧之间留有距离。

为简单说明问题起见，以下对本发明所述的真空室门板推进装置的传动组件均简称为本组件。

本组件的工作原理：驱动装置驱动安装板带动第二圆筒向左运动，第二圆筒内腔的右侧与第三圆柱左侧接触后通过第一圆筒推动门板向左运动与炉口法兰接触，然后驱动装置继续向左推动安装板，在球面轴承的作用下第一圆筒带动门板相对于销杆发生偏转，进而与炉口法兰紧密贴合。

本组件的优点：本组件在推进门板闭合时通过球面轴承自动调整门板角度使其与路口法兰紧密贴合，无需人工调整即可进行抽真空操作，有效提高了生产效率。

为达到本组件更好的使用效果，其优选方案如下：

作为优选的，所述的第一圆筒右侧周向均布有若干水平向左延伸的螺纹盲孔，挡圈在位置上对应每个螺纹盲孔处均设有一个与螺纹盲孔相匹配的沉头孔，挡圈通过与螺纹盲孔、沉头孔相匹配的沉头螺栓固定于第一圆筒右侧。

挡圈通过沉头螺栓与第一圆筒连接，便于对球面轴承以及销轴的拆卸和更换。

作为优选的，所述的第一圆筒左侧设有法兰板、第一圆筒通过法兰板与门板固定连接。

第一圆筒左侧通过法兰与门板连接，连接更加紧密而且组装和拆卸的过程方便易于后期维修。

作为优选的，所述的第一圆筒左部的周向外侧设有环形的第二凹进，第二环形凹进的右侧与第一圆筒右部通过环形的斜面过渡。

与门板连接的法兰上设有对应的螺栓、螺母，第二凹进起到让位的作用方便螺栓、螺母的安装和拆卸。

作为优选的，第一圆柱外侧还套接有与第一圆柱相匹配的弹簧垫圈，弹簧垫圈夹设于第一螺母右侧与球面轴承内圈左侧之间。

弹簧垫圈起到对第一螺母止退的作用。

作为优选的，所述的第二圆筒右侧设有一个与第二圆筒共轴线的螺杆，安装板位置上对应螺杆处设有一个与螺杆相匹配的通孔，安装板右侧位置上对应通孔处设有与螺杆相匹配的第二螺母，螺杆右部从左至右穿过通孔与第二螺母旋接，使得第二圆筒右侧与安装板左侧紧密贴靠，第二螺母左侧与安装板右侧紧密贴靠。

第二圆筒通过螺杆和第二螺母与安装板连接，方便拆卸更换。

作为优选的，所述的第三圆柱右侧设有一个水平向左延伸、与第三圆柱共轴线的盲孔，盲孔内设有一个左右走向的弹簧，弹簧直径与盲孔直径相匹配，弹簧左侧与盲孔的孔底相接触，弹簧的右侧超出第三圆柱与第二圆筒内腔的右侧相贴靠。

弹簧在门板推进的过程中起到缓冲的作用，减小第二圆筒与第三圆柱接触时的冲击力。

附图说明

图1是本组件的结构示意图。

具体实施方式

参见图1，真空室门板1推进装置的传动组件，包括竖直布置的门板1、驱动装置，所述的驱动装置上设有竖直布置的安装板2，门板1与安装板2左右间隔布置且门板1和安装板2的法线方向均为左右走向，其特征在于：还包括第一圆筒3、第二圆筒4、销杆5、球面轴承6、第一螺母54。

第一圆筒3、第二圆筒4、销杆5、球面轴承6、第一螺母54共轴线且轴线方向为左右走向。

第一圆筒3右侧敞口，第一圆筒3左侧设有法兰7板、第一圆筒3内腔右侧周向设有环形的第一凹进31，第一圆筒3右侧还设有一个挡圈33，挡圈33与第一圆筒3共轴线且挡圈33的外径与第一圆筒3外径相同，挡圈33内径小于第一凹进31的直径，所述的第一圆筒3右侧周向均布有六个水平向左延伸的螺纹盲孔34，挡圈33在位置上对应每个螺纹盲孔34处均设有一个与螺纹盲孔34相匹配的沉头孔35，挡圈33通过与螺纹盲孔34、沉头孔35相匹配的沉头螺栓36固定于第一圆筒3右侧。所述的第一圆筒3左部的周向外侧设有环形的第二凹进32，第二环形凹进的右侧与第一圆筒3右部通过环形的斜面过渡。

第二圆筒4左侧敞口，第二圆筒4内径小于挡圈33内径；所述的第二圆筒4右侧设有一个与第二圆筒4共轴线的螺杆41，安装板2位置上对应螺杆41处设有一个与螺杆41相匹配的通孔21，安装板2右侧位置上对应通孔21处设有与螺杆41相匹配的第二螺母42。

销杆5由从左至右直径依次增大的第一圆柱51、第二圆柱52、第三圆柱53同轴连接而成，第一圆柱51周向外侧设有与第一螺母54相匹配的外螺纹，第三圆柱53的直径与第二圆筒4内径相同，第三圆柱53轴向长度大于第二圆筒4轴向深度。

球面轴承6包括共轴线的外圈62、内圈61，内圈61轴向两端均超出外圈62轴向两端一定距离，球面轴承6的外圈62的直径、轴向长度与第一凹进31的直径、轴向长度对应相等，球面轴承6内圈61的内径、轴向长度与第二圆柱52直径、轴向长度对应相等。

第一螺母54、球面轴承6左右布置，第一圆柱51从右至左穿过球面轴承6的内圈61与第一螺母54旋接，第一圆柱51外侧还套接有与第一圆柱51相匹配的弹簧垫圈55，弹簧垫圈55夹设于第一螺母54右侧与球面轴承6的内圈61左侧之间。球面轴承6套接于第二圆柱52的周向外侧，球面轴承6的内圈61左侧与第一螺母54右侧相抵靠，球面轴承6的内圈61右侧与第三圆柱53左侧相抵靠，球面轴承6的外圈62设于第一凹进31内，第一圆柱51左侧与第一圆筒3左侧之间留有一定距离。

第一圆筒3左侧通过法兰7板与门板1固定连接。螺杆41右部从左至右穿过通孔21与第二螺母42旋接，使得第二圆筒4右侧与安装板2左侧紧密贴靠，第二螺母42左侧与安装板2右侧紧密贴靠。第三圆柱53右部设于第二圆筒4内腔中，所述的第三圆柱53右侧设有一个水平向左延伸、与第三圆柱53共轴线的盲孔531，盲孔531内设有一个左右走向的弹簧532，弹簧532直径与盲孔531直径相匹配，弹簧532左侧与盲孔531的孔底相接触，弹簧532的右侧超出第三圆柱53与第二圆筒4内腔的右侧相贴靠。第三圆柱53右侧与第二圆筒4内腔的右侧之间留有距离。

本组件的工作原理：驱动装置驱动安装板2带动第二圆筒4向左运动，第二圆筒4内腔的右侧与第三圆柱53左侧接触后通过第一圆筒3推动门板1向左运动与炉口法兰7接触，然后驱动装置继续向左推动安装板2，在球面轴承6的作用下第一圆筒3带动门板1相对于销杆5发生偏转，进而与炉口法兰7紧密贴合。

本组件的优点：本组件在推进门板1闭合时通过球面轴承6自动调整门板1角度使其与路口法兰7紧密贴合，无需人工调整即可进行抽真空操作，有效提高了生产效率。

挡圈33通过沉头螺栓36与第一圆筒3连接，便于对球面轴承6以及销轴的拆卸和更换。

第一圆筒3左侧通过法兰7与门板1连接，连接更加紧密而且组装和拆卸的过程方便易于后期维修。

与门板1连接的法兰7上设有对应的螺栓71、螺母72，第二凹进32起到让位的作用方便螺栓71、螺母71的安装和拆卸。

弹簧垫圈55起到对第一螺母54止退的作用。

第二圆筒4通过螺杆41和第二螺母42与安装板2连接，方便拆卸更换。

弹簧在门板1推进的过程中起到缓冲的作用，减小第二圆筒4与第三圆柱53接触时的冲击力。