一种真空腔的制作方法

本实用新型涉及真空设备技术领域，具体来说，涉及一种真空腔。

背景技术：

对于真空腔的腔门而言，其开启方式分为手动方式和自动方式两种。目前手动方式的腔门开启方式在实际中应用的较多，这种开启方式基本上是由合页组件来实现手动关门的，对于大直径真空腔的腔门而言，由于其体积大，重量重，人工关门比较费劲，尤其最后关紧预压时，需要手动夹具操作，有时腔体直径大，人手操作够不到，需要借助梯子等工具，总之，关门动作费时、费力，且不安全。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现要素：

针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种真空腔，能实现腔门开启动作的自动化，能有效地降低现场工作人员的劳动强度，并保证安全。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种真空腔，包括腔体以及与所述腔体可拆卸连接的腔门，所述腔体上设置有能沿垂直所述腔体轴线的方向滑动的滑块，所述滑块上设置有能沿所述腔体轴线方向滑动的微位移块，所述微位移块与所述腔门固定连接。

进一步地，所述腔体上固定连接有机架，所述机架上设置有导轨，所述导轨沿垂直所述腔体轴线的方向延伸并与所述滑块滑动连接。

进一步地，所述机架固定连接行程气缸的缸筒，所述行程气缸的活塞杆在平行于所述腔体的轴线方向上与所述腔门滑动连接，所述行程气缸与所述导轨相平行。

进一步地，所述滑块上设置有导向柱，所述导向柱的轴线与所述腔体的轴线相平行，所述导向柱滑动连接有与其同轴设置的导套，所述导套固定连接所述微位移块。

进一步地，所述微位移块与所述滑块之间设置有弹簧。

进一步地，所述腔体上设置有与所述微位移块相对应的锁紧气缸。

本实用新型的有益效果：通过行程气缸和导轨，完成了腔门的平移动作，腔门可在导轨上自由运动，方便装配，实现自动、可靠平移，节省人工，安全可靠，有效地提高效率；通过锁紧气缸和微位移块，完成了腔门的轴向微位移动作，解决了腔体的密封问题，实现了真空腔的自动密封，极大的提高了生产效率，提高了整套设备的技术档次。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例所述的真空腔腔门开启时的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例所述的真空腔腔门闭合时的结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例所述的位移滑块组件的结构示意图；

图4是根据图3所示的位移滑块组件的A-A剖视图。

图中：

1、腔体；2、腔门；3、机架；4、行程气缸；5、锁紧气缸；6、位移滑块组件；7、滑块；8、导轨；9、导套；10、弹簧；11、微位移块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示，根据本实用新型实施例所述的一种真空腔，包括腔体1以及与所述腔体1可拆卸连接的腔门2，所述腔体1上设置有能沿垂直所述腔体1轴线的方向滑动的滑块7，所述滑块7上设置有能沿所述腔体1轴线方向滑动的微位移块11，所述微位移块11与所述腔门2固定连接。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述腔体1上固定连接有机架3，所述机架3上设置有导轨8，所述导轨8沿垂直所述腔体1轴线的方向延伸并与所述滑块7滑动连接。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述机架3固定连接行程气缸4的缸筒，所述行程气缸4的活塞杆在平行于所述腔体1的轴线方向上与所述腔门2滑动连接，所述行程气缸4与所述导轨8相平行。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述滑块7上设置有导向柱，所述导向柱的轴线与所述腔体1的轴线相平行，所述导向柱滑动连接有与其同轴设置的导套9，所述导套9固定连接所述微位移块11。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述微位移块11与所述滑块7之间设置有弹簧10。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述腔体1上设置有与所述微位移块11相对应的锁紧气缸5。

为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下通过具体使用方式对本实用新型的上述技术方案进行详细说明。

本实用新型所述的固定连接方式可采用螺栓连接、焊接等常规技术手段，滑动连接方式可采用滑轨、直线轴承等常规技术手段。

本实用新型所述的真空腔，腔门2可自动开启，从而方便整套系统实现全自动化，腔门2可沿腔体1轴线的方向以及垂直腔体1轴线的方向平移。这种自动开启方式可适用于承重大的大直径真空腔腔门2的开启及闭合密封。成本低、结构简单可靠。

本实用新型所述的真空腔包括腔体1、腔门2、机架3、行程气缸4、锁紧气缸5及位移滑块组件6等六部分组成，位移滑块组件6包括滑块7、导轨8、导套9、弹簧10、微位移块11。

腔门2、腔体1二者通过行程气缸4实现腔门2沿垂直腔体1轴线的方向平移，行程大于腔体1的直径；行程气缸4提供动力，行程气缸4的缸筒与机架3固定，形成固定端；而行程气缸4的活塞杆与腔门2连接，形成移动端，行程气缸4的活塞杆与腔门2滑动连接，滑动方向与腔体1轴线的方向平行，行程气缸4的伸缩带动腔门2移动，腔门2与机架3通过标准直线移动导轨8连接，通过导轨8来为腔门2进行导向，保证其直线移动。

腔门2、腔体1二者通过锁紧气缸5实现腔门2沿腔体1的轴线方向微位移，保证腔门2与腔体1的真空密封；锁紧气缸5固定在腔体1上，为保证受力均匀，在腔体1端面截面上均匀分布四个锁紧气缸5。为了实现这个动作，还有一个关键部件就是位移滑块组件6，位移滑块组件6与腔门2固定，每个锁紧气缸5对应一个位移滑块组件6。位移滑块组件6的作用是当腔门2闭合时，锁紧气缸5的活塞杆沿腔体1的轴线方向伸出，带动位移滑块组件6中的微位移块11沿导向柱移动且压紧弹簧10，而微位移块11与腔门2固定，因此实现腔门2沿腔体的轴线方向移动，保证真空腔密封，锁紧气缸5的行程很小约10毫米；当锁紧气缸5活塞杆缩回时，依赖位移滑块组件6中的弹簧10的反作用力推动微位移块11沿反方向平移，实现腔门2的开启。

具体使用时：当腔门2需闭合时，通过行程气缸4推动腔门2沿垂直腔体1轴线的方向正向平移，移动到位后，通过锁紧气缸5推动微位移块11，微位移块11带动腔门2沿腔体1轴线的方向正向平移，并压缩弹簧10，当腔门2需开启时，锁紧气缸5返回原位，微位移块11在弹簧10的反作用力下移动进而带动腔门2沿腔体1轴线的方向反向平移，行程气缸4返回原位，腔门2沿垂直腔体1轴线的方向反向平移。

综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，能实现腔门开启动作的自动化，能有效地降低现场工作人员的劳动强度，并保证安全，有效地降低了后期装配及维修的成本，提高了经济效益；有效地提高了工作效率，为实现整套系统智能化工作提供了可能，使得整套系统更上一台阶。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。