一种拆除工具的制作方法

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种拆除工具。

背景技术：

随着半导体制造工艺的发展，等离子体处理工艺被广泛应用于半导体元器件的制程中，上述制程，如沉积、刻蚀工艺等一般是在等离子体处理装置内进行。一般来说，等离子体处理装置包括腔室，用于将工艺气体从供气源提供至腔室内的气体喷淋头，以及固定、支撑基片的静电吸盘(Electrostatic chuck，简称ESC)。静电吸盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称，其所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。

在现有技术中，静电吸盘在进行拆装时，需要人用腰部和手部力量使静电吸盘与底座脱离接触，在现有的机台设计中，没有合理的发力点，仅靠人的腰部和手部力量，容易产生肌肉拉伤，并且在拿出静电吸盘的过程中容易用力不均匀而导致静电吸盘背部的零件损坏。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种拆除工具。

具体技术方案如下：

一种拆除工具，用于拆除安装在底座上的静电吸盘，其中包括：

一环体；

所述环体的内壁下部至少设置一个导向槽，所述导向槽于所述环体的内壁的下缘设置一开口，所述导向槽用以于所述环体旋转时引导嵌入所述导向槽中的物体向上运动；

所述环体的上部分设置着力点，用以供使用者旋转所述环体时施力。

优选的，所述静电吸盘包括：

一盘体，水平的固定于所述底座上；

一垫环，所述垫环套设于所述盘体的外缘；

一对金属杆，一对所述金属杆水平且相互平行的连接于所述盘体的上表面的两侧，每个所述金属杆的至少一端与所述导向槽相配合使用。

优选的，金属杆两端分别设置有滑轮。

优选的，所述导向槽至少设置一对，一对所述导向槽的引导方向相同，且一对所述导向槽开口分别对应每个所述金属杆的一端。

优选的，所述导向槽设置两对，两对所述导向槽的引导方向相同，且两对所述导向槽开口分别对应一对所述金属杆的两端。

优选的，所述导向槽的中轴线为螺纹的一部分。

优选的，所述着力点包括一沟槽，设置于所述环体的上部。

优选的，所述着力点包括一把手，设置于所述环体的外表面。

优选的，所述着力点设置有一对，一对所述着力点沿所述环体外表面周向均布。

优选的，所述环体的材料为金属。

本实用新型的技术方案有益效果在于：利用环体移除静电吸盘，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的实施例的环体的整体结构示意图；

图2为本实用新型的实施例的安装于底座上的静电吸盘的整体结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

本实用新型提供一种拆除工具，用于拆除安装在底座上的静电吸盘1，其中包括：

一环体2；

环体2的内壁下部至少设置一个导向槽20，导向槽20于环体2的内壁的下缘设置一开口21，导向槽20用以于环体2旋转时引导嵌入导向槽20中的物体向上运动；

环体2的上部分设置着力点22，用以供使用者旋转环体2时施力。

通过上述拆除工具的技术方案，如图1所示，环体2用以拆除安装在底座上的静电吸盘1，环体2上设置有导向槽20与着力点22，在进行拆除安装在底座上的静电吸盘1的过程中，环体2在旋转时，将静电吸盘1的固定件沿开口21嵌入导向槽20中，使用者将通过双手抓住着力点22以逆时针方向旋转环体2均匀施力，以使得安装在底座上的静电吸盘1向上移动，即拆除静电吸盘1。

进一步地，通过设置合理的着力点22，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，并且这种环体2结构简单，成本较低，适合于批量生产。

进一步地，环体2的材料为金属，选用硬度大的金属，在进行拆除安装在底座上的静电吸盘1的过程中不易变形，很耐摩擦，并且能够受力均匀，但并不局限于某种金属，可以优先选择成本较低且硬度大的金属作为环体2的材料，能够降低生产成本。

在一种较优的实施例中，静电吸盘1包括：

一盘体10，水平的固定于底座上；

一垫环11，垫环11套设于盘体10的外缘；

一对金属杆12，一对金属杆12水平且相互平行的连接于盘体10的上表面的两侧，每个金属杆12的至少一端与导向槽20相配合使用。

具体地，结合图1、2所示，在进行拆除安装在底座上的静电吸盘1的过程中，首先将垫环11套设于静电吸盘1的外缘，垫环11选用塑料材料，起到缓冲的作用，耐磨损，成本较低，然后在盘体10的上表面的两侧对称固定一对金属杆12，其中一对金属杆12水平且相互平行设置，金属杆12用以辅助环体2拆除安装在底座上的静电吸盘1，接着将环体2套设于垫环11的上表面，环体2在旋转时，将静电吸盘1的金属杆12的至少一端沿开口21嵌入导向槽20中，使用者将通过双手抓住着力点22以逆时针方向旋转环体2均匀施力，以使得安装在底座上的静电吸盘1向上移动，即拆除静电吸盘1。

进一步地，通过设置合理的着力点22，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，并且这种环体2结构简单，成本较低，适合于批量生产。

在一种较优的实施例中，金属杆12两端分别设置有滑轮120。

具体地，结合图1、2所示，在进行拆除安装在底座上的静电吸盘1的过程中，首先将垫环11套设于静电吸盘1的外缘，然后在盘体10的上表面的两侧对称固定一对金属杆12，金属杆12用以辅助环体2拆除安装在底座上的静电吸盘1，将环体2套设于垫环11的上表面，环体2在旋转时，将静电吸盘1的金属杆12两端的滑轮120沿开口21嵌入导向槽20中，然后使用者将通过双手抓住着力点22以逆时针方向旋转环体2均匀施力，以使得安装在底座上的静电吸盘1向上移动，即拆除静电吸盘1。

这样设置的优势在于：一方面是这种操作方式简单，便于工人操作，并且成本较低，另一方面是滑轮120沿开口21嵌套于导向槽20中，能够稳定而均匀地辅助环体2拆除安装在底座上的静电吸盘1，并且能够使用者能够找到合理的着力点22，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，降低了生产成本。

在一种较优的实施例中，导向槽20至少设置一对，一对导向槽20的引导方向相同，且一对导向槽20开口分别对应每个金属杆12的一端。

具体地，结合图1、2所示，导向槽20至少设置一对，且一对导向槽20相对设置，并且一对导向槽20的引导方向相同，且一对导向槽20开口分别对应每个金属杆12的一端，这样设置的优势在于稳定而均匀受力，进而避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，降低了生产成本。

进一步地，导向槽20设置两对，两对导向槽20的引导方向相同，且两对导向槽20开口分别对应一对金属杆12的两端，这样设置的优势在于稳定而均匀受力，进而避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，降低了生产成本。

在一种较优的实施例中，导向槽20的中轴线为螺纹的一部分。

具体地，在进行拆除安装在底座上的静电吸盘1的过程中，环体2要套设于垫环11的上表面，且导向槽20位于环体2的周向，将导向槽20的中轴线设置为螺纹的一部分，这种设计的优势在于找到了人体合理的发力点，一方面节省了人力，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，另一方面能够使得人体发力均匀，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，降低了生产成本。

在一种较优的实施例中，着力点22包括一沟槽，设置于环体2的上部；

所述着力点包括一把手，设置于所述环体的外表面。

具体地，如图1所示，通过抓住着力点22，将环体2安装于垫环11的上表面，将静电吸盘1的金属杆12的至少一端沿开口21嵌入导向槽20中，使用者将通过双手抓住着力点22以逆时针方向旋转环体2均匀施力，以使得安装在底座上的静电吸盘1向上移动，即拆除静电吸盘1，设置着力点22的优势在于克服了现有技术中没有合理的发力点，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏。

进一步地，着力点22可以沟槽和把手，并且着力点22设置有一对，一对着力点22沿环体2外表面周向均布，使得施力均匀稳定，这种结构简单，成本较低，适合于推广大批量生产。

本实用新型的技术方案有益效果在于：利用环体2移除静电吸盘1，避免人工拆卸而造成肌肉拉伤，避免静电吸盘1背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏，降低了生产成本。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。