槽体支撑模组的制作方法

本实用新型涉及半导体湿式制程设备技术领域，尤其涉及一种槽体支撑模组。

背景技术：

半导体湿式制程使，槽体需要通过支撑模组进行支撑，目前湿式制程中槽体支撑部件教死板，以至槽体位置不宜调整，给安装、调试、生产等带来很大的不便。

技术实现要素：

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了一种槽体支撑模组，通过转动第二螺栓来调节支撑块和定位块之间的距离，对槽体进行上、下方向的位置调整，通过调节第二螺栓在条形孔状的第二螺栓孔内位置，对支撑块进行移动，对槽体进行左、右方向的位置调整，通过转动第一螺栓来调节定位块和焊接块之间的距离，对槽体进行前、后方向的位置调整，解决了现有槽体支撑模组过于死板，以至槽体的位置不宜调整，给安装、调试、生产等带来很大的不便的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

槽体支撑模组，包括定位块、焊接块、支撑块和顶盖，所述支撑块设置于定位块的上表面，所述顶盖设置于支撑块的上表面中部，所述焊接块与定位块之间通过第一螺栓固定连接，所述定位块和支撑块之间通过第二螺栓固定连接，所述支撑块和顶盖之间通过螺钉固定连接。

进一步的，所述定位块包括纵板和横板，所述横板固定连接于纵板的顶部，且所述横板与纵板相互垂直，所述纵板上开设有两个第一螺栓孔，所述第一螺栓孔贯穿纵板，所述横板上开设有两个第二安装孔。

进一步的，所述焊接块的上表面与横板的底面紧密接触，所述焊接块靠近纵板的一侧表面开设有两个第一安装孔，两个所述第一安装孔分别与两个第一螺栓孔相对应。

进一步的，所述第一螺栓的两端分别安装于第一螺栓孔和第一安装孔内，且第一螺栓与第一螺栓孔、第一安装孔相配合。

进一步的，所述支撑块上表面开设有一个下半圆槽，所述下半圆槽位于该上表面的一侧边缘中部，所述支撑块上表面还开设有两个第二螺栓孔和两个第一螺钉孔，两个所述第一螺钉孔位于两个第二螺栓孔之间，所述第二螺栓孔为条形孔，所述第二螺栓孔贯穿支撑块的上、下表面，两个所述第二螺栓孔分别与两个第二安装孔相对应。

进一步的，所述第二螺栓的上、下部分别安装于第二螺栓孔、第二安装孔内，且所述第二螺栓与第二螺栓孔、第二安装孔相配合。

进一步的，所述顶盖上开设有一个上半圆槽、两个第二螺钉孔，所述上半圆槽位于顶盖底面的一侧边缘中部，所述第二螺钉孔贯穿顶盖的上、下表面。

进一步的，所述螺钉的上、下部分别安装于第二螺钉孔、第一螺钉孔内，且所述螺钉与第二螺钉孔、第一螺钉孔相配合。

进一步的，所述上半圆槽的半径与下半圆槽的半径相等，所述上半圆槽与下半圆槽上、下对应并围合形成圆形槽口。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过转动第二螺栓，可以调节支撑块和定位块之间的距离，从而对槽体进行上、下方向的位置调整，通过调节第二螺栓在条形孔状的第二螺栓孔内位置，对支撑块进行移动，从而对槽体进行左、右方向的位置调整，通过转动第一螺栓，可以调节定位块和焊接块之间的距离，从而对槽体进行前、后方向的位置调整；本实用新型针对半导体湿式制程中槽体支撑方式的改进，这样不仅可以在一定范围内对槽体位置进行调整，提高其精确度，而且可以使槽体有效应对多方面的干扰，适应性强，并方便工作人员的后期工作；顶盖和支撑块之间通过螺钉固定，便于拆卸，从而方便槽体的安装。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型槽体支撑模组的结构示意图；

图2是本实用新型中定位块的结构示意图；

图3是本实用新型中焊接块的结构示意图；

图4是本实用新型中支撑块的结构示意图；

图5是本实用新型中顶盖的结构示意图。

图中：1、定位块；11、纵板；111、第一螺栓孔；12、横板；121、第二安装孔；2、焊接块；21、第一安装孔；3、支撑块；31、下半圆槽；32、第二螺栓孔；33、第一螺钉孔；4、顶盖；41、上半圆槽；42、第二螺钉孔；5、第一螺栓；6、第二螺栓；7、螺钉。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-5所示，槽体支撑模组，包括定位块1、焊接块2、支撑块3和顶盖4，所述支撑块3设置于定位块1的上表面，所述顶盖4设置于支撑块3的上表面中部，所述焊接块2与定位块1之间通过第一螺栓5固定连接，所述定位块1和支撑块3之间通过第二螺栓6固定连接，所述支撑块3和顶盖4之间通过螺钉7固定连接。

所述定位块1包括纵板11和横板12，所述横板12固定连接于纵板11的顶部，且所述横板12与纵板11相互垂直，所述纵板11上开设有两个第一螺栓孔111，所述第一螺栓孔111贯穿纵板11，所述横板12上开设有两个第二安装孔121。

所述焊接块2的上表面与横板12的底面紧密接触，所述焊接块2靠近纵板11的一侧表面开设有两个第一安装孔21，两个所述第一安装孔21分别与两个第一螺栓孔111相对应。

所述第一螺栓5的两端分别安装于第一螺栓孔111和第一安装孔21内，且第一螺栓5与第一螺栓孔111、第一安装孔21相配合。

所述支撑块3上表面开设有一个下半圆槽31，所述下半圆槽31位于该上表面的一侧边缘中部，所述支撑块3上表面还开设有两个第二螺栓孔32和两个第一螺钉孔33，两个所述第一螺钉孔33位于两个第二螺栓孔32之间，所述第二螺栓孔32为条形孔，所述第二螺栓孔32贯穿支撑块3的上、下表面，两个所述第二螺栓孔32分别与两个第二安装孔121相对应。

所述第二螺栓6的上、下部分别安装于第二螺栓孔32、第二安装孔121内，且所述第二螺栓6与第二螺栓孔32、第二安装孔121相配合。

所述顶盖4上开设有一个上半圆槽41、两个第二螺钉孔42，所述上半圆槽41位于顶盖4底面的一侧边缘中部，所述第二螺钉孔42贯穿顶盖4的上、下表面。

所述螺钉7的上、下部分别安装于第二螺钉孔42、第一螺钉孔33内，且所述螺钉7与第二螺钉孔42、第一螺钉孔33相配合。

所述上半圆槽41的半径与下半圆槽31的半径相等，所述上半圆槽41与下半圆槽31上、下对应并围合形成圆形槽口。

本实用新型的工作原理：

该支撑模组在使用时，将槽体的连接部件插入下半圆槽31中，盖上顶盖4，通过螺钉7将顶盖4和支撑块3连接，从而对槽体的连接部件进行固定，支撑模组为槽体提供支撑，通过转动第二螺栓6，可以调节支撑块3和定位块1之间的距离，从而对槽体进行上、下方向的位置调整，通过调节第二螺栓6在条形孔状的第二螺栓孔32内位置，对支撑块3进行移动，从而对槽体进行左、右方向的位置调整，通过转动第一螺栓5，可以调节定位块1和焊接块2之间的距离，从而对槽体进行前、后方向的位置调整。

本实用新型针对半导体湿式制程中槽体支撑方式的改进，这样不仅可以在一定范围内对槽体位置进行调整，提高其精确度，而且可以使槽体有效应对多方面的干扰，适应性强，并方便工作人员的后期工作；顶盖4和支撑块3之间通过螺钉7固定，便于拆卸，从而方便槽体的安装。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。