1.一种晶圆转运机器人夹爪振动抑制系统，其特征在于，包括振动控制器和设置于机器人夹爪上的集成阵列，集成阵列由间隔排列的多个振动传感器和多个电致动器组成；
2.如权利要求1所述的一种晶圆转运机器人夹爪振动抑制系统，其特征在于，所述振动传感器采用形变-电压/电流感应式传感器，所述电致动器是一类在输入电流或电压的作用下改变形状或刚度的电致动器，所述振动控制器采用计算处理芯片。
3.如权利要求1或2所述的一种晶圆转运机器人夹爪振动抑制系统，其特征在于，所述集成阵列为贴敷于机器人夹爪表面的由若干振动传感器和电致动器组成的贴片，或内嵌于机器人夹爪材料中间的夹层。
4.一种基于权利要求3所述振动抑制系统的晶圆转运机器人夹爪振动抑制方法，其特征在于，包括以下步骤：
5.如权利要求4所述的机器人夹爪振动抑制方法，其特征在于，步骤s1又具体包括以下步骤：
6.如权利要求5所述的机器人夹爪振动抑制方法，其特征在于，s104中获得的夹爪模型表示为：
7.如权利要求6所述的机器人夹爪振动抑制方法，其特征在于，步骤s3中，对于机器人夹爪上的每个点位，振动控制器实时获取该点位上的振动传感器数据，并将其作为输入源，通过以下方程计算预测空间n内下一时刻的控制信号输出值：
8.如权利要求7所述的机器人夹爪振动抑制方法，其特征在于，步骤s4中，所述目标函数表示为：
9.如权利要求4所述的机器人夹爪振动抑制方法，其特征在于，步骤s6中，若新模型与当前加载的夹爪模型存在模型误差，且模型误差连续k次超过误差阈值e，则将振动控制器中夹爪模型替换为新模型；所述模型误差d的计算公式为：d＝ynew-yold，其中ynew为新模型的系统输出，yold为当前加载的夹爪模型的系统输出。