支承部8配置在主体部9的上侧。
[0042]手4、5、臂6、7、臂支承部8以及主体部9的上端侧配置在构成有机EL显示器的制造系统的真空室的内部。即，手4、5、臂6、7、臂支承部8以及主体部9的上端侧配置在真空区域VR中(真空中)，主体部9的除上端侧以外的部分配置在大气区域AR中(大气中)(参照图2)，机器人I在真空中搬运装载于手4、5的基板2。
[0043]手4、5具有连接于臂6、7的基部11以及装载基板2的两根叉架部12。叉架部12形成为直线状。并且，两根叉架部12以相互隔开规定的间隔的状态平行地配置。
[0044]主体部9具有:壳体13，其形成为中空状；以及中空状的旋转轴14，其固定在臂支承部8的下表面。旋转轴14形成为以上下方向作为轴向的细长的圆筒状。旋转轴14的上端固定在臂支承部8的下表面，臂支承部8能够以上下方向作为旋转的轴向而进行旋转。旋转轴14的上端侧部分比壳体13的上端面向上侧突出，旋转轴14的除上端侧部分以外的部分容纳于壳体13的内部。
[0045]在壳体13的内部配置有用于使臂支承部8相对于壳体13旋转的马达(省略图示)。在该马达，例如经由带轮、传动带以及减速机而连接有旋转轴14的下端侧。并且，在壳体13的内部，配置有使旋转轴14等升降的升降机构(省略图示)。壳体13的上端侧部分配置在真空区域VR中，壳体13的除上端侧部分以外的部分配置在大气区域AR中。壳体13的内部成为大气压，在旋转轴14的外周侧配置有用于防止空气向真空区域VR流出的磁性流体密封件以及波纹管(省略图示)。
[0046]臂支承部8形成为中空状，具有支承部主体15以及三个盖部件16。盖部件16由铝合金形成。并且，盖部件16形成为圆板状。支承部主体15由铝合金形成。并且，支承部主体15具有:上表面部15a，其构成支承部主体15的上表面;下表面部15b，其构成支承部主体15的下表面，且隔着规定的间隙与上表面部15a大致平行地相向配置；以及侧面部15c，其使上表面部15a的外周端与下表面部15b的外周端相连。上表面部15a以及下表面部15b形成为细长的大致椭圆形的平板状，在上下方向上相向。侧面部15c形成为自上下方向观察时的形状成为细长的大致椭圆形状的筒状。
[0047]在上表面部15a，以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的三个开口部15d、15e。三个开口部15d、15e中的一个开口部15d形成于上表面部15a的中心，其余两个开口部15e形成于形成为大致椭圆形的上表面部15a的长度方向上的两端侧。在下表面部15b，也以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的三个开口部15f、15g。三个开口部15f、15g中的一个开口部15f形成于下表面部15b的中心，其余两个开口部15g形成于形成为大致椭圆形的下表面部15b的长度方向上的两端侧。
[0048]在下表面部15b的下表面固定有旋转轴14的上端。旋转轴14以包围开口部15f的方式固定于下表面部15b的下表面，旋转轴14的内周侧与臂支承部8的内部相通。即，臂支承部8的内部与壳体13的内部相通，臂支承部8的内部成为大气压。如图2所示，开口部15d被盖部件16自上侧封闭，两个开口部15g被盖部件16自下侧封闭。在支承部主体15与盖部件16之间，配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0049]臂6由彼此能够相对旋转地连接的第一臂部20与第二臂部21这两个臂部构成。第一臂部20以及第二臂部21形成为中空状。即，整个臂6形成为中空状。第一臂部20的基端侧固定于臂支承部8。在第一臂部20的末端侧能够旋转地连接有第二臂部21的基端侧。在第二臂部21的末端侧能够旋转地连接有手4。本实施方式中的第二臂部21是末端侧臂部。
[0050]第一臂部20与第二臂部21的连接部成为关节部22，关节部22将第一臂部20与第二臂部21连接为能够旋转。臂6与手4的连接部(S卩，第二臂部21与手4的连接部)成为关节部23，关节部23将第二臂部21与手4连接为能够旋转。第二臂部21配置在比第一臂部20靠上侧的位置，手4配置在比第二臂部21靠上侧的位置。本实施方式中的关节部22是第一关节部，关节部23是第二关节部。
[0051]臂7具有彼此能够相对旋转地连接的第一臂部25与第二臂部26这两个臂部。第一臂部25以及第二臂部26形成为中空状。即，整个臂7形成为中空状。第一臂部25的基端侧固定于臂支承部8。在第一臂部25的末端侧能够旋转地连接有第二臂部26的基端侧。在第二臂部26的末端侧能够旋转地连接有手5。本实施方式中的第二臂部26是末端侧臂部。
[0052]第一臂部25与第二臂部26的连接部成为关节部27，关节部27将第一臂部25与第二臂部26连接为能够旋转。臂7与手5的连接部(S卩，第二臂部26与手5的连接部)成为关节部28，关节部28将第二臂部26与手5连接为能够旋转。第二臂部26配置在比第一臂部25靠上侧的位置。手5配置在比第二臂部26靠下侧且比第一臂部25靠上侧的位置。本实施方式中的关节部27是第一关节部，关节部28是第二关节部。
[0053](臂的结构、臂的内部结构以及关节部的结构)
[0054]图5是图3的E部的放大图。图6是图3的F部的放大图。图7是图6的K部的放大图。图8是图6的L部的放大图。图9(A)是图5所示的盖部件32的剖视图，图9(B)是自图9(A)的G-G方向示出盖部件32的图。图10是图4的H部的放大图。图11是图4的J部的放大图。图12是图11的M部的放大图。图13是图11的N部的放大图。
[0055]第一臂部20具有臂部主体31、三个盖部件32以及一个盖部件33。臂部主体31由铝合金形成。并且，臂部主体31具有:上表面部31a，其构成臂部主体31的上表面；下表面部31b，其构成臂部主体31的下表面，且隔着规定的间隙与上表面部31a大致平行地相向配置；以及侧面部31c，其使上表面部31a的外周端与下表面部31b的外周端相连。上表面部31a以及下表面部31b形成为细长的大致椭圆形的平板状，在上下方向上相向。上表面部31a构成第一臂部20的上表面的一部分，下表面部31b构成第一臂部20的下表面的一部分。侧面部31c形成为自上下方向观察时的形状成为细长的大致椭圆形状的筒状。
[0056]在上表面部31a，以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的四个开口部31d、31e。四个开口部31d、31e在形成为大致椭圆形的上表面部31a的长度方向上以规定的间隔形成。在本实施方式中，在上表面部31a的最末端侧形成开口部31e，其余三个开口部31d在比开口部31e靠上表面部31a的基端侧的位置形成。在下表面部31b，也以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的两个开口部31f、31g。开口部31f形成于下表面部31b的末端侧，开口部31g形成于下表面部31b的基端侧。
[0057]第二臂部21具有臂部主体34、两个盖部件32以及两个盖部件33。臂部主体34由铝合金形成。并且，臂部主体34具有:上表面部34a，其构成臂部主体34的上表面；下表面部34b，其构成臂部主体34的下表面，且隔着规定的间隙与上表面部34a大致平行地相向配置；以及侧面部34c，其使上表面部34a的外周端与下表面部34b的外周端相连。上表面部34a以及下表面部34b形成为细长的大致椭圆形的平板状，在上下方向上相向。上表面部34a构成第二臂部21的上表面的一部分，下表面部34b构成第二臂部21的下表面的一部分。侧面部34c形成为自上下方向观察时的形状成为细长的大致椭圆形状的筒状。
[0058]在上表面部34a，以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的四个开口部34d、34e、34f。四个开口部34d?34f在形成为大致椭圆形的上表面部34a的长度方向上以规定的间隔形成。在本实施方式中，在上表面部34a的最末端侧形成开口部34e，在上表面部34a的最基端侧形成开口部34f，其余两个开口部34d形成于开口部34e与开口部34f之间。在下表面部34b，也以在上下方向上贯通的方式形成有圆形状的两个开口部34g、34h。开口部34g形成于下表面部34b的末端侧，开口部34h形成于下表面部34b的基端侧。
[0059]如上所述，第一臂部20的基端侧固定于臂支承部8。具体地说，第一臂部20的基端侧以臂部主体31的下表面部31b的下表面紧贴于支承部主体15的上表面部15a的上表面的状态固定于臂支承部8。并且，第一臂部20的基端侧以如下的方式固定于臂支承部8:在自上下方向观察时，上表面部15a的开口部15e的中心与下表面部31b的开口部31g的中心大致一致。因此，第一臂部20的内部与臂支承部8的内部相通，从而第一臂部20的内部成为大气压。另外，在支承部主体15与臂部主体31之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0060]在第一臂部20的基端侧的内部以及臂支承部8的内部配置有马达35，该马达35使第二臂部21相对于第一臂部20旋转且使手4相对于第二臂部21旋转。马达35的上下方向上的中心部分配置于开口部15e以及开口部31g，马达35的上端侧配置在第一臂部20的基端侧的内部，马达35的下端侧配置在臂支承部8的内部。马达35的输出轴向上侧突出，在该输出轴固定有带轮36。
[0061]关节部22具有使马达35的旋转减速并将其传递至第二臂部21的减速机37。减速机37是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。因此，第二臂部21的内部与第一臂部20的内部相通，从而第二臂部21的内部成为大气压。即，在本实施方式中，臂6的内部成为大气压。减速机37具有被输入马达35的动力的输入轴58、使输入至输入轴58的动力减速并将其输出的输出轴59、以及经由轴承将输入轴58以及输出轴59支承为能够旋转的壳体60。本实施方式中的减速机37是第一减速机，输入轴58是第一输入轴，输出轴59是第一输出轴，壳体60是第一壳体。
[0062]关节部23具有使马达35的旋转减速并将其传递至手4的减速机38。减速机38是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。该减速机38具有被输入马达35的动力的输入轴61、使输入至输入轴61的动力减速并将其输出的输出轴62、以及经由轴承将输入轴61以及输出轴62支承为能够旋转的壳体63。本实施方式中的减速机38是第二减速机，输入轴61是第二输入轴，输出轴62是第二输出轴，壳体63是第二壳体。
[0063]并且，关节部22具有防止空气自第一臂部20与第二臂部21的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件39。磁性流体密封件39具有构成其外周侧部分的大致圆筒状的壳体40、以及能够旋转地保持于壳体40的内周侧的大致圆筒状的内周侧部件41。在径向上的壳体40与内周侧部件41之间配置有