开口部31d以及第二臂部26的开口部34d被盖部件32自上侧封闭。盖部件32以形成有散热片32a的面朝向下侧的方式固定。即，在盖部件32的下表面形成有散热片32a，在臂7的内部的上表面形成有散热用的散热片32a。
[0085 ](冷却机构的结构、温度传感器的结构以及罩盖部件的结构)
[0086]如上所述，机器人I搬运高温的基板2。因此，臂6、7的温度因来自基板2的辐射热、或来自设置机器人I的真空室的壁面的辐射热等而上升。本实施方式中的机器人I具有用于将温度上升的臂6、7的内部冷却的冷却机构。并且，机器人I具有:温度传感器80，其用于测定第一臂部20、25以及第二臂部21、26的内部温度；以及罩盖部件81?85，其用于抑制辐射热向臂6、7以及臂支承部8传递。
[0087]本实施方式中的机器人I具有如下部件作为用于将臂6、7的内部冷却的冷却机构:空气配管87，其用于将马达35冷却并向第一臂部20的内部供给冷却用空气;空气配管88，其用于向第二臂部21的内部供给冷却用空气；空气配管89，其用于将马达65冷却且向第一臂部25的内部供给冷却用空气;空气配管90，其用于向第二臂部26的内部供给冷却用空气；以及多个风扇(送风机)91，其配置在臂6、7的内部。
[0088]空气配管87?90例如是由铝合金或铜合金等金属形成的金属管。空气配管87?90的基端连接于配置在主体部9的壳体13的内部的电磁阀(省略图示)。在本实施方式中，连接空气配管87?90各自的基端的四个电磁阀配置在壳体13的内部，能够对空气配管87?90中的每一空气配管进行冷却用空气的供给量的调整。四个电磁阀经由规定的配管连接于配置在壳体13的内部或外部的压缩空气的供给装置(省略图示)。
[0089]空气配管87、88以通过旋转轴14的内周侧以及开口部15f的方式，自壳体13的内部向臂6引绕。空气配管87的末端侧被卷绕至马达35的外周面。成为冷却用空气的供给口的空气配管87的末端配置在第一臂部20的基端侧的内部，自空气配管87向第一臂部20的基端侧的内部供给冷却用空气。空气配管88以通过开口部15e、31g以及形成于减速机37的轴中心的贯通孔的方式，在第一臂部20以及第二臂部21的内部引绕。成为冷却用空气的供给口的空气配管88的末端配置在第二臂部21的末端侧的内部，自空气配管88向第二臂部21的末端侧的内部供给冷却用空气。
[0090]空气配管89、90以通过旋转轴14的内周侧以及开口部15f的方式，自壳体13的内部向臂7引绕。空气配管89的末端侧被卷绕至马达65的外周面。成为冷却用空气的供给口的空气配管89的末端配置在第一臂部25的基端侧的内部，自空气配管89向第一臂部25的基端侧的内部供给冷却用空气。空气配管90以通过开口部15e、31g、旋转轴69的内周侧以及形成于减速机67的轴中心的贯通孔的方式，在第一臂部25以及第二臂部26的内部引绕。成为冷却用空气的供给口的空气配管90的末端配置在第二臂部26的末端侧的内部，自空气配管90向第二臂部26的末端侧的内部供给冷却用空气。
[0091]温度传感器80配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部。在第一臂部20的内部，温度传感器80配置在马达35的附近以及关节部22的附近。在第二臂部21的内部，温度传感器80配置在关节部23的附近。在第一臂部25的内部，温度传感器80配置在马达65的附近以及关节部27的附近。在第二臂部26的内部，温度传感器80配置在关节部28的附近。
[0092]如上所述，在本实施方式中，能够对空气配管87?90中的每一空气配管进行冷却用空气的供给量的调整，从而能够将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却。并且，在本实施方式中，根据温度传感器80所得的检测结果，将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却。即，在本实施方式中，根据温度传感器80所得的检测结果，通过调整分别自空气配管87?90供给的冷却用空气的供给量，将第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部个别地冷却。
[0093]风扇91配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的内部。并且，风扇91以朝向上侧输送冷却用空气的方式配置。本实施方式中的风扇91配置在盖部件32的下侧，朝向形成于盖部件32的多个散热片32a输送冷却用空气。并且，风扇91例如根据温度传感器80所得的检测结果旋转或停止。
[0094]罩盖部件81?85由导热率比支承部主体15、臂部主体31、34以及盖部件16、32、33低的材料形成。并且，罩盖部件81?85由辐射热的反射率较高的材料形成。例如，罩盖部件81?85由较薄的不锈钢板形成。罩盖部件81覆盖第一臂部20的除与臂支承部8重叠的部分以外的部分的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件82覆盖第二臂部21的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件83覆盖第一臂部25的除与臂支承部8重叠的部分以外的部分的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件84覆盖第二臂部26的大致整个上表面、下表面以及侧面。罩盖部件85覆盖第一臂部20、25的与臂支承部8重叠的部分、以及臂支承部8的大致整个上表面、下表面以及侧面。
[0095](本实施方式的主要效果)
[0096]如以上所做的说明，在本实施方式中，减速机37的壳体60隔着磁性流体密封件39的壳体40固定于第二臂部21的基端侧，构成减速机37的输入轴58、输出轴59以及轴承等部件与构成磁性流体密封件39的内周侧部件41以及轴承密封部42等部件保持于第二臂部21。并且，在本实施方式中，减速机38的壳体63隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部21的末端侧，构成减速机38的输入轴61、输出轴62以及轴承等部件与构成磁性流体密封件43的内周侧部件45以及轴承密封部46等部件保持于第二臂部21。因此，在本实施方式中，若将固定内周侧部件41与第一臂部20的螺钉、以及固定内周侧部件45与手4的基部11的螺钉卸下，且将传动带50卸下，则能够将减速机37、38以及磁性流体密封件39、43与第二臂部21一体地卸下。
[0097]同样在本实施方式中，减速机67的壳体60隔着磁性流体密封件39的壳体40固定于第二臂部26的基端侧，构成减速机67的输入轴58、输出轴59以及轴承等部件与构成磁性流体密封件39的内周侧部件41以及轴承密封部42等部件保持于第二臂部26。并且，旋转轴69固定于减速机67的输入轴58的下端，且保持轴承保持部件74以及轴承75的间隔部件73固定于内周侧部件41，旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75保持于第二臂部26。并且，在本实施方式中，减速机68的壳体63隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部26的末端侧，构成减速机68的输入轴61、输出轴62以及轴承等部件与构成磁性流体密封件43的内周侧部件45以及轴承密封部46等部件保持于第二臂部26。因此，在本实施方式中，若将固定间隔部件73与第一臂部25的螺钉、以及固定内周侧部件45与手5的基部11的螺钉卸下，且将传动带71卸下，则能够将减速机67、68、磁性流体密封件39、43、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26—体地卸下。
[0098]因此，在本实施方式中，在进行机器人I的检修时，能够将减速机37、38以及磁性流体密封件39、43与第二臂部21—体地更换，且能够将减速机67、68、磁性流体密封件39、43、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26—体地更换。即，在本实施方式中，在进行机器人I的检修时，通过更换配置在比第一臂部20、25靠臂6、7的末端侧的位置的第二臂部21、26，即使不更换固定于臂支承部8的第一臂部20、25，也能够更换减速机37、38、67、68、磁性流体密封件39、43、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75。其结果是，在本实施方式中，能够低成本且容易地进行机器人I的检修。
[0099]在本实施方式中，在臂6、7的内部配置有朝向上侧输送空气的风扇91。因此，在本实施方式中，在搬运高温的基板2时，能够将臂6、7的上表面侧部分冷却而抑制臂6、7的上表面侧部分的温度上升，从而能够使臂6、7的上表面侧部分的温度接近于臂6、7的下表面侧部分的温度。因此，在本实施方式中，能够使臂6、7的上表面侧部分的热变形量接近于下表面侧部分的热变形量，而能够抑制末端侧下降的臂6、7的热变形。其结果是，在本实施方式中，即使在搬运高温的基板2的情況下，也能够通过手4、5恰当地搬运基板2。
[0100]并且，在本实施方式中，在臂6、7的内部的上表面形成有散热用的散热片32a，风扇91朝向散热片32a输送冷却用空气。因此，在本实施方式中，能够有效地将臂6、7的上表面侧部分冷却，从而能够有效地抑制臂6、7的上表面侧部分的温度上升。
[0101](其他实施方式)
[0102]上述的实施方式是本发明的优选的实施方式的一例，但并不限于此，能够在不变更本发明的主旨的范围内实施各种变化。
[0103]在上述的实施方式中，分体地形成的第一臂部20、25的基端侧固定于臂支承部8。除此以外，例如第一臂部20、第一臂部25以及臂支承部8也能够一体地形成。并且，也可以如图14所示，将第一臂部20的基端侧以及第一臂部25的基端侧分别能够旋转地连接于主体部9。在该情况下，在第一臂部20的内部配置马达35，在第一臂部25的内部配置马达65。并且，在上述的实施方式中，机器人I具有两条臂6、7，但机器人I也可以如图15所示，仅具有一条臂6。在该情況下，将第一臂部20的基端侧能够旋转地连接于主体部9。另外，在图14、图15中，对与上述的实施方式的结构共通的结构标注相同的符号。
[0104]在上述的实施方式中，臂6、7由第一臂部20、25与第二臂部21、26这两个臂部构成，但臂6、7也可以由三个以上的臂部构成。例如，臂6、7也可以由第一臂部20、25、第二臂部21、26以及第三臂部这三个臂部构成。在该情況下，将第三臂部的基端侧能够旋转地连接于第二臂部21、26的末端侧，将手4、5能够旋转地连接于第三臂部的末端侧。并且，在该情況下，将第二臂部21、26与第三臂部连接为能够旋转的关节部与关节部23、28同样地具有减速机38,68,减速机38、68的壳体63隔着磁性流体密封件43的壳体44固定于第二臂部21、26。
[0105]在该情況下，能够将减速机37、38以及磁性流体密封件39、43与第二臂部21—体地更换，且能够将减速机67、68、磁性流体密封件39、43、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26—体地更换，因此能够获得与上述的实施方式相同的效