果。
[0106]在上述的实施方式中，机器人I是在真空中搬运基板2的机器人，但应用本发明的机器人也可以是在大气中搬运基板2的机器人。在该情况下，无需磁性流体密封件39、43。并且，在该情况下，例如将减速机37、67的壳体60直接固定于第二臂部21、26的基端侧，将减速机38、68的壳体63直接固定于第二臂部21、26的末端侧。并且，将减速机37的输出轴59直接固定于第一臂部20的末端侧，将减速机67的输出轴59直接固定于间隔部件73，将减速机38、68的输出轴62直接固定于手4、5的基部11。
[0107]在该情况下，在进行机器人的检修时，能够将减速机37、38与第二臂部21—体地更换，且能够将减速机67、68、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75与第二臂部26—体地更换。即，在进行机器人I的检修时，通过更换配置在比第一臂部20、25靠臂6、7的末端侧的位置的第二臂部21、26，即使不更换固定于臂支承部8的第一臂部20、25，也能够更换减速机37、38、67、68、旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75。因此，能够低成本且容易地进行机器人的检修。
[0108]在上述的实施方式中，在减速机67的输入轴58的下端固定有旋转轴69，在旋转轴69的下端侧固定有带轮70。除此以外，例如也可以在减速机67的输入轴58的下端侧固定带轮70。并且，在上述的实施方式中，在减速机67的输出轴59隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41以及间隔部件73固定有第一臂部25的末端侧，但也可以在减速机67的输出轴59隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41固定第一臂部25的末端侧。即，在关节部27，也可以不配置旋转轴69、间隔部件73、轴承保持部件74以及轴承75。
[0109]在上述的实施方式中，机器人I通过一台马达35，使第二臂部21相对于第一臂部20旋转，且使手4相对于第二臂部21旋转。除此以外，例如也可以个别地设置使第二臂部21相对于第一臂部20旋转的马达、以及使手4相对于第二臂部21旋转的马达。同样地，在上述的实施方式中，通过一台马达65，使第二臂部26相对于第一臂部25旋转，且使手5相对于第二臂部26旋转，但也可以个别地设置使第二臂部26相对于第一臂部25旋转的马达、以及使手5相对于第二臂部26旋转的马达。
[0110]在上述的实施方式中，在盖部件32形成有散热片32a，但也可以在上表面部31a、34a的下表面形成散热片32a。并且，在上述的实施方式中，在盖部件32形成有散热片32a，但也可以不在盖部件32形成散热片32a。并且，在上述的实施方式中，由机器人I搬运的搬运对象物是有机EL显示器用的基板2，但由机器人I搬运的搬运对象物既可以是液晶显示器用的玻璃基板，也可以是半导体晶圆等。并且，在上述的实施方式中，机器人I是用于对搬运对象物进行搬运的机器人，但应用本发明的机器人也可以是用于其他用途的机器人。
[0111]符号说明
[0112]I机器人(工业用机器人)；
[0113]4、5 手；
[0114]6、7 臂；
[0115]8臂支承部；
[0116]9主体部；
[0117]20,25 第一臂部；
[0118]21,26第二臂部(末端侧臂部)；
[0119]22,27关节部(第一关节部)；
[0120]23,28关节部(第二关节部)；
[0121]32a 散热片；
[0122]37,67减速机(第一减速机)；
[0123]38,68减速机(第二减速机)；
[0124]39磁性流体密封件(第一磁性流体密封件)；
[0125]40壳体(第一密封壳体)；
[0126]41内周侧部件(第一内周侧部件)；
[0127]42轴承密封部(第一轴承密封部)；
[0128]43磁性流体密封件(第二磁性流体密封件)；
[0129]44壳体(第二密封壳体)；
[0130]45内周侧部件(第二内周侧部件)；
[0131]46轴承密封部(第二轴承密封部)；
[0132]58输入轴(第一输入轴)；
[0133]59输出轴(第一输出轴)；
[0134]60壳体(第一壳体)；
[0135]61输入轴(第二输入轴)；
[0136]62输出轴(第二输出轴)；
[0137]63壳体(第二壳体)。
【主权项】
1.一种工业用机器人，其特征在于，其具有:手;臂，其具有所述手能够旋转地连接于末端侧的末端侧臂部以及所述末端侧臂部的基端侧能够旋转地连接于末端侧的第一臂部;第一关节部，其将所述末端侧臂部与所述第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将所述手与所述末端侧臂部连接为能够旋转， 所述第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有:第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至所述第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将所述第一输入轴以及所述第一输出轴支承为能够旋转， 所述第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有:第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至所述第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将所述第二输入轴以及所述第二输出轴支承为能够旋转， 所述第一壳体以及所述第二壳体固定在所述末端侧臂部侧。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于， 所述第一减速机以及所述第二减速机是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于， 所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中， 所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压， 所述第一关节部具有防止空气自所述末端侧臂部与所述第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件， 所述第二关节部具有防止空气自所述手与所述末端侧臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件， 所述第一磁性流体密封件具有:第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第一壳体;第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第一密封壳体的内周侧且固定所述第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第一密封壳体与所述第一内周侧部件之间， 所述第二磁性流体密封件具有:第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定所述第二壳体;第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于所述第二密封壳体的内周侧且固定所述第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的所述第二密封壳体与所述第二内周侧部件之间， 所述第一壳体隔着所述第一密封壳体固定于所述末端侧臂部， 所述第二壳体隔着所述第二密封壳体固定于所述末端侧臂部。4.根据权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于， 所述工业用机器人具有两个所述手、两个所述末端侧臂部、两个所述第一臂部、固定两个所述第一臂部的基端侧的臂支承部以及以所述臂支承部能够以上下方向作为旋转的轴向进行旋转的方式连接所述臂支承部的主体部。5.根据权利要求4所述的工业用机器人，其特征在于， 所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中， 所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压， 在所述末端侧臂部以及所述第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。6.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于， 所述工业用机器人具有两个所述手、两个所述末端侧臂部、两个所述第一臂部、固定两个所述第一臂部的基端侧的臂支承部以及以所述臂支承部能够以上下方向作为旋转的轴向进行旋转的方式连接所述臂支承部的主体部。7.根据权利要求6所述的工业用机器人，其特征在于， 所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中， 所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压， 在所述末端侧臂部以及所述第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。8.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于， 所述手、所述末端侧臂部以及所述第一臂部配置在真空中， 所述末端侧臂部以及所述第一臂部形成为中空状，且所述末端侧臂部的内部以及所述第一臂部的内部成为大气压， 在所述末端侧臂部以及所述第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。9.一种工业用机器人，其特征在于，其具有:手；臂，其具有第一臂部、第二臂部以及第三臂部，且所述手能够旋转地连接于末端侧;第一关节部，其将所述第二臂部与所述第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将所述第三臂部与所述第二臂部连接为能够旋转， 所述第三臂部的基端侧能够旋转地连接于所述第二臂部的末端侧， 所述第二臂部的基端侧能够旋转地连接于所述第一臂部的末端侧， 所述第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有:第一输入轴，其被输入动力；第一输出轴，其将输入至所述第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将所述第一输入轴以及所述第一输出轴支承为能够旋转， 所述第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有:第二输入轴，其被输入动力；第二输出轴，其将输入至所述第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将所述第二输入轴以及所述第二输出轴支承为能够旋转， 所述第一壳体以及所述第二壳体固定在所述第二臂部侧。
【专利摘要】本发明提供一种工业用机器人，其在关节部配置有减速机，能够低成本且容易地进行检修。该工业用机器人具有将手(4)能够旋转地连接的末端侧臂部(21)以及将末端侧臂部(21)能够旋转地连接的第一臂部(20)。将末端侧臂部(21)与第一臂部(20)连接的第一关节部(22)具有减速机(37)，该减速机(37)具有输入轴、将输入至该输入轴的动力减速并将其输出的输出轴以及将输入轴以及输出轴支承为能够旋转的壳体，将手(4)与末端侧臂部(21)连接的第二关节部(23)具有减速机(38)，该减速机(38)具有输入轴、将输入至该输入轴的动力减速并将其输出的输出轴以及将输入轴以及输出轴支承为能够旋转的壳体。减速机(37)的壳体以及减速机(38)的壳体固定在末端侧臂部(21)侧。
【IPC分类】B25J9/06, B25J17/00, B65G49/06, B25J19/00, H01L21/677
【公开号】CN105555487
【申请号】CN201480050147
【发明人】矢泽隆之, 增泽佳久
【申请人】日本电产三协株式会社
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2014年9月12日
【公告号】WO2015037702A1