专利名称：Pvc涂层刀具的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种通过排屑进行机加工的刀具，该刀具包括由硬质合金、金属陶瓷、陶瓷、基于立方氮化硼的材料或高速钢构成的基底和硬质耐磨耐火涂层。该涂层由一层或多层耐火化合物构成，其中至少一层包括含有由非晶态和结晶相构成的混合物的致密层，尤其是(Ti，AL)(O，N)层。
背景技术：
US4474849披露了一种韧性和耐磨性优异的涂层硬质合金，它包括由硬质合金构成的基底和位于其上的至少一层，这些层中的至少一层由非晶态氧化铝构成。
US5330853披露了一种具有交替的第一和第二三元层的涂层表面，其中第一层TiAlNX其氮含量更高，并且明显比第二层TiAlNY薄。采用TiAl靶溅射来沉积这些层。
US5549975披露了由涂有(Ti，Me)N耐磨层的金属陶瓷本体构成的涂层刀具，其中Me至少是一种在700℃以上的温度下形成稳定氧化物的金属。该沉积工艺是蒸发和溅射的组合。
US5503912披露了一种由多层超薄层形成的涂层，这些超薄层包含由选自元素周期表中的IVa、Va和VIa系中的至少一种元素以及Al和B形成的至少一种氮化物或碳氮化物。整个化合物具有立方晶体X-射线衍射图案，但是其中一层在正常温度和正常压力下并且在均衡状态下具有立方晶体结构之外的晶体结构。该涂层实际上是TiN和AlN的层压体，并且每一层其厚度为0.2-50nm。
US5879823披露了一种涂层刀具，其最里面的层由IVB系金属-铝合金构成，并且其第二层是由通过物理气相沉积涂覆的氧化铝。
US6254984披露了一种多层涂层，它由多层第一层和多层第二层交替层叠构成的，第一层由元素周期表中的组4a、5a和6a的元素和AL的碳化物、氮化物和碳氮化物中的至少一种构成，而第二层由元素周期表中的组4a、5a和6a的元素和Al的氧化物、羰基化物、氮氧化物和碳氧氮化物中的至少一种构成。与第二层相邻的第一层在晶体取向中是连续的。在该说明书中还沉积有一层外部非晶态层以便提高抗氧化性。
US6071560披露了一种包含至少一层MeX的耐磨涂层，其中Me包含钛和铝，而X为氮或碳。在MeX层中，用X射线衍射法测量出的织构优选为(200)。
R.Luthier和F.Levy在J.Vac.Sci.Technol.，A9(1)(1991)102上报道了通过用由TiN-Al2O3构成的金属陶瓷靶中进行rf磁控管溅射已经形成TiAlON层。他们获得了一种由(Ti，Al)Nx和非晶(Ti，Al)O2构成的混合结构。由那些层所获得的XRD图案由源于结晶相的峰值与非晶态峰值构成。
K.Kawata、H.Sugimura和O.Takai在Thin Solid Films 390(2001)64上报道了已经采用等离子增强化学气相沉积(PAVAD)形成不同的Ti-Al-O-C-N层。
几个作者已经报道了在氧化作用之后的步骤期间或在高温下使用期间在(Ti，Al)N的顶部上会自然形成晶态或非晶态层，参见例如Münz等人，J.Vac.Sci.Technol.4(6)(1996)2717-2727。
发明概述本发明的一个目的在于改善从现有技术中已知的几个性能，例如抗氧化性、表面韧性、层韧性和耐磨性。
现在已经发现，设有由一层或几层构成的涂层的涂层刀具与现有技术涂层相比其耐磨性和韧性得到改善，其中一层或至少一层具有与非晶体结构结合的晶体结构。
附图的简要说明
图1显示出从本发明的层中得出的X射线衍射图案，其中A-SPVII拟合曲线[1，2]H-非晶态峰值的高度P-涂层的最高晶态峰值的高度B-背景水平面图2显示出从本发明的试样中得出的断裂横断面的SEM显微照片；图3显示出从具有不同氧含量的层中得到的θ-2θX射线衍射扫描曲线20°＜2θ＜90°。
优选实施方案的详细说明因此，本发明涉及一种由一涂层和一基底构成的刀具。该基底由硬质合金、金属陶瓷、高速钢或立方氮化硼构成。涂层由一层或几层构成，其中至少一层由与非晶态结构结合的晶体结构构成。所述层其厚度为0.3-20μm，优选为0.3-10μm。总涂层厚度为0.5-20μm。
参见图3，使用Cu Kα辐射(λ＝1.54)针对背景水平面B、非晶态峰值的高度H以及晶体结构的最高峰值的高度将该层的结构量化。采用SPVII曲线拟合算法[1，2]来提取非晶态峰值和晶态峰值的数据。
在20°＜2θ＜60°之间计算Chebychev背景辐射[1，2]B。
根据本发明，H＞3B，P＞5B并且0.75＜P/H＜3。
优选的是，所述层是具有与一种非晶态结构结合的晶体(Ti，Al)N-奥氏博尼特(NaCl)结构的(Ti，Al)(N，O)层。
在4°＜FWHM＜7°的情况下通过在20°＜2θ＜48°之间的宽峰值来识别该非晶态结构。该非晶态结构导致在30°＜2θ＜40°优选32°＜2θ＜38°处的布拉格反射，这与1.9-4.4之间的原子距离相对应，并且最大H对准在2.5的原子距离处。
在使用Cu-Kα辐射进行的θ-2θ扫描中通过来自(111)-、(200)-和(200)面的反射识别出(Ti，Al)N的晶体NaCl结构，这些晶面分别与位置2θ＝37.5°、43.5°和63.5°相对应。
根据本发明的层可以直接沉积在基底上或沉积在现有技术中已知的一层或多层中间层上。同样还可以将其它层沉积在所述层的顶部上。
(Ti，Al)(O，N)层在它是单层时其特征还在于，具有一光滑表面，该表面具有少量小尺寸液滴并且用触针方法在2.5mm的长度上测量出的表面粗糙度Ra＜0.2μm。
(TixAl1-x)(Oy，N1-y)层的成分为采用量化EDX测量方法在以10kV的ZAF校正和25mm的工作距离的情况下为0.20＜x＜0.70并且0.15＜y＜0.35，优选为0.25＜x＜0.55并且0.20＜y＜0.30。
在由N2、O2和Ar构成的反应氛围中通过金属TiAl靶的电弧蒸发来沉积该层，在沉积期间的条件为，RMe＝Ti％at(Ti％at+Al％at)比为0.2＜RMe＜0.70，所采用的蒸发器电流IEVAP设定为6×100A，并且比例R气体＝O2/(N2+O2)设定为0.05＜R＜0.15，并且总压力P设定为1.0＜P＜10Pa。所施加的偏压U偏压为30＜U偏压＜-600V。
正确的工艺参数取决于所采用的涂布设备的设计。本领域普通技术人员能够确定已经获得所需要的结构，并且根据当前说明书来改进沉积条件。
根据本发明的涂层刀具尤其用于对钢、硬化钢或不锈钢进行机加工，优选对不锈钢进行铣削。
采用其成分为6wt％Co和94wt％WC的镜面抛光硬质合金基底来进行分析。用于切削试验的嵌入件在同一批中进行涂覆。
在沉积之前，在碱溶液的超声波浴中、在去离子水中并且在酒精中清洗这些基底。将基底安装在转动支架上。在阴极和基底之间的最小间距大约为100mm。
在实际涂布过程之前通过红外加热器对这些基底加热20分钟。
在变化的气体混合物R气体＝O2/(N2+O2)下进行随后的(Ti，Al)(O，N)沉积，其中R气体＝0、0.026、0.079、0.18和0.24。将蒸发器电流设定为6×100A，基底偏压为-120V并且总压力为2.0Pa。在涂布过程中用两个红外高温计测量出的温度为520℃。
所得到的涂层厚度为4.0μm。
基底电流密度为1.2mA/cm2。
XRD分析表明，所有薄膜具有立方奥氏博尼特结构。对于在涂布过程中具有低含量氧的层而言，也发现来自非晶态结构的宽峰值。采用EDX测量方法，对于和层中所测量的为10％at和22％at的氧含量分别对应的比例φO2/(φN2+φO2)＝0.079和0.18来说，该非晶态结构最为显著。
对于用低氧含量沉积的层，φO2/(φN2+φO2)＝0和0.026，分别导致涂层中氧含量为2％at和10％at，断面截面的SEM研究显示了柱状结构。随着图2中氧含量提高，该结构消失。非晶态峰值的强度H/B列在下表中。
通过纳米压痕来测量硬度和杨氏模量。结果列在下表中。随着层中氧含量的提高，硬度和杨氏模量下降，因此通过在过程中加入氧可以改善韧性。
利用reve测试来测量附着力和韧性。采用金刚石触针，负载范围是10-100N。所有的层都显示出良好的附着力(＞60N)，具有高氧含量的层比具有低氧量的层脆性较少。Reve测试显示本发明的层与没有氧而生长的层相比其韧性大大增强。
采用表面粗糙度仪器，利用触针表面光度仪来测量表面粗糙度Ra。利用AFM(原子力显微镜)对未涂布的基底的表面粗糙度进行测量，其Ra＜5nm，这不会影响层粗糙度参数的测量结果。很明显，当氧含量增加时，表面粗糙度下降，如表1所示。当层有氧和没有氧相比较时，表面粗糙度的差异明显。
表1(Ti，Al)(O，N)层的氧含量和性能
实施例2将与实施例1所用的同样类型的嵌入件用柱状结构的(Ti，Al)N-层以及(Ti，Al)(O，N)构成的非晶态和结晶结构的混合层构成的双层进行涂布。
按照与实施例1同样的方式对嵌入件在涂布之前进行预处理。在N2气氛下，在2.0Pa压力下进行涂布，从六个阴极蒸发TiAl。基底偏压为-120V，蒸发电流设定在6×100A。沉积温度是520℃。该层的厚度是2.0μm。
涂层的第二层与实施例1的1c相同。
涂层的总体厚度是4.0μm。
通过切线入射(gracing incidence)XRD扫描可以区分双层涂层和单层涂层。本领域的技术人员可以为这种分析设定参数。
此处该涂层称之为2a。
在钢(SS1672，AISI-1042，DIN-CK45)的车削操作中使用具有不同涂层的并且其组成为6％wtCo、0.5％wtTaC和93.5％wtWC的硬质合金刀具嵌入件。
涂层将实施例1和实施例2中描述的涂层，以及现有技术中已知的两种涂层，也就是TiN和(Ti，Al)N涂层进行比较。
切削数据嵌入件几何形状 SNUN120408切削速度 250m/分钟切削深度 1.5mm进刀 0.35mm结果(刀具寿命)
实施例4在不锈钢(SS2343，AISI-316，DIN-X5 CrNiMo 17 13 3)的方台肩铣削加工中，使用带有如实施例1和实施例2所述的不同涂层的并且其组成为13％wtCo和87％wtWC的硬质合金切削嵌入件。
切削数据嵌入件几何形状 XOMX090308TR-ME06
切削速度 260m/分钟切削深度 3.0mm进刀 0.23mm切削宽度 5mm刀具寿命标准是由制成的刀刃产生的切屑引起的切削刃的破坏。试验结果显示，具有实施例2所述的双层涂层的嵌入件与带有其它涂层的同样基底相比具有更长的刀具寿命。
以分钟计的结果(刀具寿命)
实施例5在钢(SS1672，AISI-1042，DIN-CK45)的无底钻孔加工中，使用带有如实施例1和实施例2所述的不同涂层的并且其组成为10％wtCo和90％wtWC的硬质合金钻头。
切削数据钻头类型 SD25-6，0-32-6R5切削速度 80m/分钟切削深度 24mm进刀 0.16mm以孔的数量计的结果(刀具寿命)
参考[1]Bruker AXS(2000)Topas V2.0General profile and structure analysis software forpowder diffraction data.(用于粉末衍射数据的通用轮廓和结构分析软件)-使用者手册，Bruker AXS，Karlsruhe，德国[2]Cheary，R.W.，Coelho，A.A.(1992)A fundamental parameters approach to x-ray line profile fitting(X射线线剖面装配的基本参数方法)-J.Appl.Cryst.，25，109-1权利要求
1.一种刀具嵌入件，由基底和含有至少一个具有X射线衍射图案的层的涂层构成，其特征在于所述图案具有窄峰值且高度为P的最高峰值的晶体结构以及宽峰值且高度为H的非晶态结构，其中H＞3B，P＞5B，0.75＜P/H＜3。
2.如权利要求1所述的刀具嵌入件，其特征在于所述晶体结构是立方体，优选是奥氏博尼特结构。
3.如权利要求1或2所述的刀具嵌入件，其特征在于所述层由(Ti，Al)(O，N)构成。
4.如权利要求3所述的刀具嵌入件，其特征在于所述(Ti，Al)(O，N)层的组成使得(TiXAl1-X)(OY，N1-Y)层为0.20＜X＜0.70，0.15＜Y＜0.35。
5.如前述任一权利要求所述的刀具嵌入件，其特征在于所述层是涂层的最外层。
6.如前述任一权利要求所述的刀具嵌入件，其特征在于所述基底是硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或立方氮化硼。
7.一种制造用于金属加工的带涂层的刀具的方法，其中至少一个层由(Ti，Al)(O，N)构成，其特征在于通过TiAl靶的电弧蒸发来沉积(Ti，Al)(O，N)，其沉积条件为，采用由N2、O2和Ar构成的反应氛围，将该氛围的总压力P设定为1.0＜P＜10Pa，并且比例R＝O2/(N2+O2)设定为0.05＜R＜0.15。
全文摘要
本发明涉及一种刀具，由基底和含有至少一个具有X射线衍射图案的层的涂层构成。所述图案具有晶体结构和非晶态结构。所述层优选由(Ti，Al)(O，N)构成。该刀具特别适合于加工钢、硬化钢或不锈钢。优选是不锈钢的铣削。
文档编号B32B15/04GK1481971SQ03147678
公开日2004年3月17日 申请日期2003年7月16日 优先权日2002年7月16日
发明者雅各布·舍伦, 拉尔斯·弗里斯克, 弗里斯克, 雅各布 舍伦 申请人:山高刀具公司