专利名称：液体排出头的制造方法
技术领域：
本发明涉及排出液体的液体排出头的制造方法。更具体地，本发明涉及排出喷墨记录方法中使用的记录液微小液滴的喷墨记录头的制造方法。
背景技术：
液体排出头的已知实例为用于喷墨记录方法的喷墨记录头，所述喷墨记录头排出墨至记录介质以在其上进行记录。
随着最近对打印机的更高图像品质和更清晰图像的要求，已需要实现墨滴和排出口尺寸的进一步减小。因而，以高精度制造和控制微细结构如喷嘴形状变得极其重要。
此外，随着最近对打印机的进一步更高图像品质的要求，墨滴的着落(landing)精度变得重要。
在现有技术中，例如在美国专利6,390,606的说明书中描述了喷墨记录头的制造方法。根据常规方法，在基板上形成产生用于排出液体的能量的能量产生元件，在所述基板上形成粘着层以改进所述基板与稍后将形成的流路形成材料之间的密合性，在所述粘着层上形成由可溶解树脂制成的墨流路图案。随后，在墨流路图案上形成用作墨流路的流路形成材料层，通过光刻法在各能量产生元件上形成排出口，将可溶解树脂溶解，固化用作墨流路壁的流路形成材料。
然而，当使用基于美国专利6,390,606中描述的方法制造的喷墨记录头进行墨排出时，依赖于排出口的直径、排出口形成构件的材料和墨的种类，观察到不期望的结果，如墨滴着落在不同位置而不是期望的位置。
本发明人已观察排出口面并发现微粒状物质粘附在排出口附近。本发明人推测该粒状物质引起在墨排出期间产生的所谓墨雾的雾状墨滴粘附于其上并累积，以致由于粘附至排出口面的累积的墨而使排出墨滴的方向扭曲。
作为本发明人的研究结果，以下原因导致该粒状物质的粘附。也就是说，流路形成构件、设置于流路形成构件和基板之间的粘着层或粘合剂在任何制造步骤期间溶解，并导致在之后步骤中流向排出口附近。为了物理地去除该粒状物质，需要用于除去粒状物质的另外步骤和用于去除粒状物质的另外装置。
此外，如在最近喷墨记录头中所见的，从小排出口排出的几皮升(pL)的微小墨滴容易受粘附至排出口面的墨滴的影响。由于此原因，期望尽可能地防止任何物质粘附至排出口面和防止粘附物影响排出的墨滴。
发明内容
作出本发明以解决上述现有技术中的问题。
为了实现本发明，本发明提供液体排出头的制造方法，该液体排出头具有用于形成流路的流路形成构件，该流路与排出液的排出口连通，该方法包括以下步骤 在基板上制备包含具有由式(1)表示的结构和由式(2)表示的结构作为主链的化合物的层；
其中X、Y、A和B各自独立地表示饱和烃、不饱和烃以及取代的或未取代的芳族环中的任意一种，n为正整数， 在所述层上设置其中将树脂溶解于由式(3)或(4)表示的化合物的溶液，
其中R1至R4各自独立地表示具有1至5个碳原子的饱和烃，或被酯基、醚基、酮基和羟基中的任一种取代的烃基； 由树脂形成具有如流路形状的模具； 设置将成为流路形成构件的层以覆盖模具；和 去除模具以形成流路。
本发明的目的是提供喷墨记录头，所述喷墨记录头能够防止在排出口面上产生粘附物，抑制墨雾在排出口面上累积，并且即使当排出微小墨滴时，也能提供良好的排出性能而不出现沿其排出方向的任何扭曲。本发明的另一目的是提供用于所述喷墨记录头的容易的制造方法。
根据本发明，可以制造防止在排出口面上产生粘附物的液体排出头，而不使制造方法复杂。因此，可以提供液体排出头，其能够抑制墨物在排出口面上累积，并且即使当排出微小墨滴时，也能获得良好的排出性能而不出现沿其排出方向的任何扭曲，并且稳定地提供具有高打印质量的打印机。
参考附图，从以下示例性实施方案的详细描述，本发明的进一步特征和方面将变得显而易见。
图1为示出根据本发明的液体排出头实例的示意性透视图。
图2A和2B为示出根据本发明的液体排出头实例的示意性横截面图。
图3A、3B、3C、3D、3E、3F、3G和3H为示出用于根据本发明的液体排出头的制造方法实例的示意性横截面图。
具体实施例方式
现在根据附图详细地描述本发明的示例性实施方案。在以下描述中，在所有附图中，具有相同功能的构造有时由相同的附图标记表示，因此将省略其描述。
将液体排出头安装在打印机、复印机、具有通信系统的传真机、具有打印单元的设备如文字处理器和与各种处理设备组合的工业记录设备上。例如，将液体排出头用作喷墨记录头时，液体排出头能够在各种记录介质如纸、纱、纤维、布、皮革、金属、塑料、玻璃、木材或陶瓷上进行记录。作为此处使用的术语“记录”，不仅意味着在记录介质上打印具有意义的图像如字符或图形，也意味着在记录介质上打印没有意义的图像如图案。
可将根据本发明的液体排出头应用于能够同时在记录纸全部宽度上进行记录的整行记录头(full-line recording head)。液体排出头同样也可应用于具有以下构造的彩色记录头其中多个记录头单元彼此一体化的构造，和其中多个分离的记录头彼此组合的构造。
图1为示出根据本发明实施方案的液体排出头的示意图，示出切掉一部分构成构件的其内部。图2A和2B为示出根据本发明的液体排出头的实例的示意性横截面图，沿与图1中2A-2A线平行的方向取垂直于基板的横截面。
根据本实施方案的液体排出头包括Si基板1，在所述Si基板1上以预定间距(pitch)布置两行能量产生元件2，以产生用于排出液体的能量。在基板1中形成通过各向异性蚀刻Si而形成的供给口6，从而在两行能量产生元件2之间开口。在基板1上，通过流路形成构件4形成排出口5和流路7。将排出口5设置相对于各能量产生元件2的位置处。构造流路7以经过供给口6与各排出口5连通。应当注意，排出口的位置不限于上述相对能量产生元件2的位置。
当将液体排出头用作喷墨记录头时，布置其上形成排出口5的面，以面向记录介质的记录面。构造液体排出头以将通过能量产生元件2产生的能量施加至在经过供给口6的流路7内填充的墨，从而使墨滴从排出口5排出。使墨滴粘附于记录介质，由此进行记录。能量产生元件的非限制实例包括产生热能的电热转换器(所谓加热器)和产生机械能的压电元件。
在图2A所示的实例中，将流路形成构件4用作形成排出口5的构件。然而，如图2B所示，流路形成构件4可单独地由形成各流路7侧壁的构件4a和形成排出口5的排出口形成构件4b形成。
如图2A和2B所示，在流路形成构件4和基板1之间设置由聚醚酰胺组成并且在主链部分中具有多个由式(1)表示的结构(醚键)和由式(2)表示的结构(酰胺键)的层8。
在该式中，X、Y、A和B各自独立地表示饱和烃、不饱和烃以及取代或未取代芳族环中的任意一种。
醚键和酰胺键可交替地存在于主链中，如下式(12)所示规则地存在或无规则地存在。
相对于在基板1上形成的无机绝缘层如SiN或SO2及在流路形成构件4中包含的有机材料两者，层8需要具有优良的粘合力。此外，由于该构件很有可能与液体如墨接触，因此特别是在碱性条件下，层8需要维持相对于这些构件的优良密合性。聚醚酰胺提供满足这些需要的粘合性能，并有助于增强流路形成构件4和基板之间的接合(bonding)度。在以下描述中，有时将层8称为粘着层。
此外，层8优选具有对应于流路形成构件4的基板侧形状的形状。
例如，可将由通式(5)表示的树脂优选用作本发明的聚醚酰胺。由式(5)表示的聚醚酰胺树脂可由例如在日本专利申请特开S63-006112中描述的已知方法构成。
在该式中，R5至R8各自独立地表示氢原子、具有1至4个碳原子的烷基、具有1至4个碳原子的烷氧基和卤素原子中的任意一种；R9和R10各自独立地表示氢原子、具有1至4个碳原子的烷基和具有1至4个碳原子的卤代烷基中的任意一种；Ar1表示取代或未取代亚苯基、取代或未取代亚联苯基和取代或未取代亚萘基中的任意一种；n表示正整数。
具体地，可使用具有由式(6)和(13)表示的结构的化合物。
接下来，将参考图3A至3H描述根据本发明的液体排出头的制造方法。
首先，如图3A所示，制备具有能量产生元件2的基板1，所述能量产生元件2产生用于排出液体的能量。将硅基板用作基板1。为了增强能量产生元件2的耐久性，可设置多种功能层如保护层(未示出)。例如。可在基板1表面上形成SiN、SiC和Ta的膜。接着，如图3B所示，通过涂布方法如旋涂法、辊涂法或狭缝涂布法(slit-coating method)形成将成为粘着层的聚醚酰胺树脂层9。
接着，如图3C所示，通过干法蚀刻(dry etching)将聚醚酰胺树脂层9图案化为期望形状，由此形成用作粘着层的聚醚酰胺层8。
接下来，如图3D所示，在聚醚酰胺层8和基板1上形成可溶解树脂层3a。将层3a用于形成具有液体流路形状的图案。此时使用的可溶解树脂需要为通过任何已知方法能够形成流路图案并能够溶解和去除的树脂。可使用多种材料如树脂，其中，特别优选正性感光性树脂(positive photosensitive resin)，这是因为其能够容易地形成流路图案并能够通过紫外光照射容易地溶解和去除。可使用各种正性感光性树脂，其中，由于其对各种制造方法的高耐久性，优选使用光分解型高分子材料。光分解型高分子材料的实例包括具有羰基的化合物如聚(甲基异丙烯基酮)、聚(甲基丙烯酸甲酯)或聚(甲基戊二酰亚胺)。这些化合物显示如下特性在吸收光时，用光照射的部分通过使用它们的羰基光降解而降解。此外，可使用没有羰基的聚羟基苯乙烯类聚合物。此外，在涂布该聚合物后，可将该聚合物分子间交联以用作正性感光性树脂。将这些化合物溶解于溶剂中，并通过涂布方法如旋涂法、辊涂法或狭缝涂布法涂布，由此形成可溶解树脂层3a。
本发明人已进行各种研究并发现在通过常规方法制造的喷墨记录头中观察到的在排出口面上的粘合物中包含粘着层材料。推测将产生与粘着层有关的排出口面上的粘合物，这是因为在形成可溶解树脂层的步骤中溶解粘着层，并在稍后的步骤中使其流向排出口附近。因此，优选使用能够抑制溶解由聚醚酰胺组成的粘着层的溶剂。另一方面，由于光分解型高分子材料通常为高分子材料(polymeric material)，因此限制了用于溶解该材料的溶剂的选择。此外，因为液体排出头的流路需要具有约3至100μm的厚度，所以需要高浓度树脂溶液。为此原因，经常以溶解于作为光分解型高分子材料的良好溶剂的极性溶剂中的状态使用可溶解树脂。然而，用作粘着层的聚醚酰胺也溶解于该高极性溶剂中。因此，期望具有如下溶剂其不溶解用作粘着层的聚醚酰胺，良好地溶解用作可溶解树脂的光分解型高分子材料而不劣化生产性。本发明人已进行锐意研究并发现当使用具有羰基并由以下通式(3)或(4)表示的非环状化合物(acyclic compound)作为溶剂形成可溶剂树脂层时，可以减少在排出口面上的粘附物。
在该式中，R1至R4各自独立地表示具有1至5个碳原子的饱和烃，或具有酯基、醚基、酮基和羟基中的任意一种的单取代烃基。
高极性溶剂可有效地用于容易地溶解以作为用于形成流路模具的光分解型高分子材料为代表的树脂材料。然而，过高极性的溶剂可不利地溶解用作粘着层的聚醚酰胺。相反，配置由用于本发明的非环状化合物组成的溶剂，以具有如下平衡性能其溶解以作为用于形成流路模具的光分解型高分子材料为代表的树脂材料，但是具有极低的溶解聚醚酰胺的能力。
上述溶剂具有如此低的溶解聚醚酰胺的能力，因此推测其能够减少粘附物。
根据本发明的具有羰基的非环状化合物的实例包括具有一个羰基的非环状化合物如丙酮、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯或乙二醇单甲醚乙酸酯。此外，可使用PGMEA(丙二醇单甲醚乙酸酯)。此外，特别优选具有至少两个羰基的非环状化合物如丙二酸二甲酯、丙二酸二乙酯、乙酰丙酮、乙酰乙酸甲酯或乙酰乙酸乙酯，因为其具有良好的溶解光分解型高分子材料的能力。当其能够溶解光分解型高分子材料的溶液时，可以形成具有低粘度的涂布液。因此，可以稳定地生产喷墨记录头，而在基板上形成的涂膜的基板表面中的膜厚度分布中没有任何不规则性。此外，为了增强正性感光性树脂的涂布性，可添加各种添加剂，或可混合上述具有羰基的非环状化合物。在不背离本发明主旨的情况下，可使用其它材料。
用于正性感光性树脂的大多数光分解型高分子材料具有羰基，如聚(甲基异丙烯基酮)、聚(甲基丙烯酸甲酯)或聚(甲基戊二酰亚胺)。这是因为羰基吸收光并实现Norrish型I分解。由式(3)和(4)表示的化合物具有羰基，因此能够特别良好地溶解具有羰基的光分解型高分子材料。因此，特别优选使用用于形成流路模具树脂的具有羰基的光分解型高分子材料。
接下来，如图3E所示，通过光刻法图案化可溶解树脂层3a，因而形成期望的流路图案3。此时，可形成流路图案3，以覆盖部分由聚醚酰胺组成的层8，或可形成流路图案3，以使流路图案3与层8彼此分离。
接下来，如图3F所示，在流路图案3上设置将成为流路形成构件4的涂布层10，以覆盖流路图案3。通过涂布方法如通常的旋涂法、辊涂法或狭缝涂布法，形成用于形成具有20μm层厚度的流路形成构件4的材料。在此情况下，当形成将成为流路形成构件4的涂布层10时，应确保流路图案3不变形。也就是说，当通过旋涂或辊涂法在流路图案3上层压涂布层10时，选择不溶解可溶解流路图案3的溶剂是必要的。此外，用于形成流路形成构件4的材料优选为感光性材料，以通过光刻能够容易并高精度地形成稍后描述的排出口5。用于涂布层10的材料需要具有作为结构材料的高机械强度、对基体的高密合性、高耐液性和用于形成排出口5的微细图案的高分辨率。作为满足这些特性的材料，可优选使用阳离子聚合型环氧树脂组合物。
用于本发明的环氧树脂的实例包括双酚A与表氯醇的具有约900以上分子量的反应产物、溴代酚A与表氯醇的反应产物、线型酚醛或邻甲酚醛与表氯醇的反应产物、和在日本专利申请特开H02-140219中描述的具有氧代环己烷(oxycyclohexane)骨架的多官能环氧树脂。然而，可使用的环氧树脂并不限于那些化合物。
可使用的环氧化合物具有的环氧当量优选2000以下，更优选1000以下。这是因为，如果环氧当量超过2000，有可能在固化反应期间交联密度降低，并且在密合性和耐墨性方面可能发生问题。
可将通过光照射产生酸的化合物用作用于固化环氧树脂的阳离子聚合光引发剂。例如，优选使用商购产品如由ADEKA Co.，Ltd.生产的SP-150、SP-170或SP-172。
如果需要，可将添加剂等适当添加至该组合物中。例如，为了降低环氧树脂的弹性模量，可添加挠性(flexibility)赋予剂，或者可添加硅烷偶联剂以进一步获得对基体的密合性。
接下来，在涂布层10上经过掩模(mask)(未示出)曝光图案，接着显影，从而在相对能量产生元件的位置处形成排出口5，由此实现图3G的状态。使用适当的溶剂将图案曝光的流路形成构件4显影，以形成排出口5。
接下来，如图3H所示，在基板中形成液体供给口6，以与流路7连通，并去除图案3，由此获得流路7和流路形成构件4。
此外，如果需要，通过施加热处理，可进一步固化流路形成构件4。此后，将基板与用于供给液体的构件(未示出)接合，进行用于驱动能量产生元件的电接合(未示出)，由此完成液体排出头。
以下基于实施例更详细地描述本发明。
(实施例1) 液体排出头的生产 首先，设置用作能量产生元件2的电热转换器(由TaSiN制成的加热器)，以及在液体流路部位处具有SiN和Ta的层压膜(未示出)的硅基板1(图3A)。
将具有分子量Mw25000并由式(6)表示的聚醚酰胺树脂旋涂于基板1上，并在100℃下干燥120秒。
然后，在250℃下将基板1烘烤1小时，由此形成未图案化的聚醚酰胺树脂层9(图2B)。此时，层厚度为3μm。使用抗蚀剂(resist)(商品名OFPR800，由Tokyo Ohka Kogyo Co.，Ltd.生产)通过氧等离子体在聚醚酰胺层9上进行干法蚀刻，由此形成用作图案化粘着层的由聚醚酰胺组成的层8。
接下来，使用具有一个羰基的非环状化合物的乳酸乙酯(由下式(7)表示)作为溶解用作正性感光性树脂的聚(甲基异丙烯基酮)的溶剂，并调节该溶液以使树脂浓度变为17wt％。
接下来，将上述聚(甲基异丙烯基酮)溶液旋涂于粘着层上，并在120℃下烘烤6分钟，由此形成膜。此时，层厚度为8μm。
然后，对所得层使用UX3000(由Ushio Inc.生产)在8J/cm2下将图案曝光，接着使用MIBK显影，然后通过IPA(异丙醇)冲洗，由此形成如图3E所示的图案。
接下来，将表1中所示树脂组合物溶解于适当溶剂中的溶液旋涂于基板上，并在90℃下烘烤3分钟，由此形成涂膜(图3F)。其后，将由可水解硅烷缩合形成的硅烷溶剂性涂布于涂布层上，由此形成防水层。
表1用于形成流路形成构件的树脂组合物 接下来，使用i-线曝光装置(由Canon Inc.生产)进行曝光，随之在90℃下加热处理4分钟，并使用MIBK显影，由此形成排出口5(孔径尺寸10μm)(图3G)。
接下来，将基板Si各向异性蚀刻以形成供给口6。其后，去除设置在供给口上的保护层和流路图案，并在200℃下将基板加热1小时，以完全固化其为喷嘴形成材料的环氧树脂，由此形成液体排出头(图3H)。
(实施例2) 将作为具有一个羰基的非环状化合物的3-甲氧基丙酸甲酯(MMP)(由下式(8)表示)用作溶解正性感光性树脂的溶剂，并将树脂浓度控制为17wt％。
除了使用该树脂溶液之外，通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。
(实施例3) 将作为具有两个羰基的非环状化合物的乙酰丙酮(由下式(9)表示)用作溶解正性感光性树脂的溶剂，并将树脂浓度控制为20wt％。
用于使正性感光性树脂曝光的曝光量为20J/cm2。这是因为正性感光性材料的感光度从实施例1的感光度下降。除了上述之外，通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。正性感光性材料的感光度的下降归因于残留在正性感光性树脂膜中并吸收光的乙酰丙酮。
(实施例4) 将作为具有两个羰基的非环状化合物的乙酰乙酸甲酯(由下式(10)表示)用作溶解正性感光性树脂的溶剂，并将树脂浓度控制为20wt％。
除了使用该树脂溶液之外，通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。
(实施例5) 将作为具有两个羰基的非环状化合物的乙酰乙酸乙酯(由下式(11)表示)用作溶解正性感光性树脂的溶剂，并将树脂浓度控制为20wt％。
除了使用该树脂溶液之外，通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。
(实施例6) 将作为具有一个羰基的非环状化合物的PGMEA(丙二醇单甲醚乙酸酯)(由下式(14)表示)用作溶解正性感光性树脂的溶剂，并将树脂浓度控制为17wt％。
除了使用该树脂溶液之外，通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。
(比较例1) 除了将作为不具有任何羰基的非环状化合物的乙醇用作溶解正性感光性树脂的溶剂之外，试图通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。然而，正性感光性树脂不溶解于该溶剂中，并且不能够被涂布。
(比较例2) 除了将作为不具有任何羰基的非环状化合物的异丙醇(IPA)用作溶解正性感光性树脂的溶剂之外，试图通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。然而，正性感光性树脂不溶解于该溶剂中，并且不能够被涂布。
(比较例3) 将作为具有一个羰基的非环状化合物的环己酮用作溶解正性感光性树脂的溶剂，并将树脂浓度控制为20wt％。除了使用该树脂溶液之外，通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。
(比较例4) 将作为具有一个羰基的环状化合物的γ-环内酯用作溶解正性感光性树脂的溶剂，并将树脂浓度控制为20wt％。除了使用该树脂溶液之外，通过与实施例1相同的方法生产液体排出头。
(评价) 使用扫描电子显微镜观察通过实施例和比较例生产的液体排出头，并检验在排出口面上的粘附物。观察到在实施例1至6的液体排出头中，在排出口附近的每1μm2单位面积上，基本上没有粘附物，具体地为零至一个粘附物，并且粘附物的尺寸小至0.05μm以下。另一方面，在比较例3和4的液体排出头中，观察到在排出口附近的每1μm2单位面积上，有许多粘附物，具体地为2至30个粘附物，并且粘附物的尺寸大到0.05μm至0.2μm。这归于以下事实在粘着层上形成可溶解树脂层3a，而没有溶解该粘着层。
此外，将正性感光性树脂溶液无任何步骤地旋涂于硅晶片(6英寸)上，并观察在该晶片中涂膜的膜厚度分布。在实施例1和6中，在几个位置处观察到大的在硅晶片中心和外周之间的厚度差。相反，在实施例2至5与比较例3和4中，未观察到大的在硅晶片中心和外周之间的厚度差。在实施例1和6中观察到的在晶片中大的厚度分布归因于可溶解树脂溶液的高粘度。
此外，在温度30℃和湿度80％的环境下，将实施例的液体排出头浸渍于颜料墨中一个月，然后安装在记录设备上并进行打印测试。墨滴着落在期望的着落位置处。也就是说，可以说获得了良好的打印结果。另一方面，在与实施例相同的条件下，使用比较例的液体排出头进行打印测试。然而，一些测试以差的打印结果告终。这推测可归因于以下事实由于在排出口面中观察到的粘附物，导致墨滴沿它们的排出方向扭曲。
评价结果总结于表2中。用于该表的评价标准如下。
(粘附物) A在排出口附近的每1μm2单位面积上，基本没有粘附物，并且粘附物的尺寸为0.05μm以下。
B在排出口附近的每1μm2单位面积上，有几至几十个粘附物，并且粘附物的尺寸为大于0.05μm。
(感光度) A形成流路图案需要的曝光量为10J/cm2以下。
B形成流路图案需要的曝光量超过10J/cm2。
(膜厚度分布) A在晶片的中心与外周之间的厚度差为小于3μm。
B在晶片的中心与外周之间的厚度差为3μm以上。
(扭曲) A未发现可归于扭曲的排出方向导致的失真图像。
B发现可归于扭曲的排出方向导致的失真图像。
表2
尽管参考示例性实施方案描述本发明，但应理解本发明不限于公开的示例性实施方案。以下的权利要求书的范围符合最宽的解释，以致包括所有的修改及等同结构和功能。
权利要求
1.一种液体排出头的制造方法，所述液体排出头具有用于形成流路的流路形成构件，所述流路与排出液的排出口连通，所述方法包括以下步骤
在基板上制备包含具有由式(1)表示的结构和由式(2)表示的结构作为主链的化合物的层；
其中X、Y、A和B各自独立地表示饱和烃、不饱和烃以及取代或未取代芳族环中的任意一种，n为正整数，
在所述层上设置其中将树脂溶解于由式(3)或(4)表示的化合物的溶液，
其中R1至R4各自独立地表示具有1至5个碳原子的饱和烃，或被酯基、醚基、酮基和羟基中的任一种取代的烃基；
由所述树脂形成具有如所述流路形状的模具；
设置将成为所述流路形成构件的层以覆盖所述模具；和
去除所述模具以形成所述流路。
2.根据权利要求1所述的液体排出头的制造方法，其中形成图案，以覆盖一部分包含具有所述结构的化合物层。
3.根据权利要求1所述的液体排出头的制造方法，其中所述具有由式(1)表示的结构的化合物具有由式(5)表示的结构
其中R5至R8各自独立地表示氢原子、具有1至4个碳原子的烷基、具有1至4个碳原子的烷氧基和卤原子中的任意一种；R9和R10各自独立地表示氢原子、具有1至4个碳原子的烷基和具有1至4个碳原子的卤代烷基中的任意一种；Ar1表示取代或未取代亚苯基、取代或未取代亚联苯基和取代或未取代亚萘基中的任意一种；n表示正整数。
4.根据权利要求1所述的液体排出头的制造方法，其中所述树脂为聚(甲基异丙烯基酮)。
5.根据权利要求1所述的液体排出头的制造方法，其中所述化合物为以下中的任意一种丙酮、乙酰丙酮、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙酰乙酸甲酯和乙酰乙酸乙酯。
6.根据权利要求1所述的液体排出头的制造方法，其中所述化合物为乙酰乙酸甲酯和乙酰乙酸乙酯中的任意一种。
全文摘要
本发明涉及液体排出头的制造方法。一种液体排出头的制造方法，所述液体排出头具有用于形成流路的流路形成构件，所述流路与排出液的排出口连通，所述方法包括以下步骤在基板上制备包含具有由式(1)表示的结构的化合物的层；在所述层上设置其中将树脂溶解于由式(3)或(4)表示的化合物的溶液； 由所述树脂形成具有如所述流路形状的模具；设置将成为所述流路形成构件的层以覆盖所述模具；和去除所述模具以形成所述流路。
文档编号B41J2/16GK101746141SQ200910258110
公开日2010年6月23日 申请日期2009年12月10日 优先权日2008年12月12日
发明者池田真澄, 桧野悦子 申请人:佳能株式会社