专利名称：液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层的再生方法
技术领域：
本发明涉及液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层的再生方法。
背景技术：
现有技术中，例如，在使用液体定量排出装置分配的情况下，通过喷嘴涂布液体。其中，喷嘴通常由不锈钢等非腐蚀性金属制作而成。因此，作为抑制从液体排出头的喷嘴排出的液滴在喷嘴排出口前端滞留的方法，采用了在喷嘴上形成疏水膜的方法。但是，直接使用包含不锈钢等非腐蚀性金属的喷嘴、或喷嘴上形成的疏水膜剥离，则喷嘴排出口前端容易附着液体，分配时，由于最初滴下量变大，存在滴下量以及液滴形状不良的问题。这种现象，对含有荧光物质的LED封装和与接触面积相关的摄像机模块等分配时尤其成为问题。·作为除去这样的喷嘴排出口前端的滞留液体的方法，在液体定量排出装置上安装称为回吸袋的减压装置，采用将喷嘴前端的滞留液体回吸的方法。但是，即使使用回吸袋后，也并不能将喷嘴前端附着的液滴完全去除。结果是，在连续排出液滴的过程中，随着时间的推移，即使是疏水膜也附着污垢，液体中的粒子造成疏水膜物理性地剥离，喷嘴的排出口前端附着液体，产生滞留液滴，难以避免出现排出量以及液滴形状不均一的情况。此外，由于喷嘴内外壁表面的粗糙程度以及喷嘴前端的厚度的不同，都会对滞留液滴产生影响。另一方面，作为加工精度得到提高的喷嘴，使用金属之外的红宝石或陶瓷等非金属材料的例子很多，但喷嘴价格变得昂贵，因此，期待价格低廉并且能够进行均匀涂布的技术。因此,为了解决这一问题,例如,专利文献I 一 3公开了液体排出头,如图5所示，为了达到疏水膜的耐久性，公开了喷嘴100，其如下得到在喷嘴板101表面设置基底层102，在其表面形成了添加氟的镀膜或有机性疏水膜103。此外，作为其他的技术，公开了在喷嘴板表面涂有氣系疏水剂或娃丽系疏水剂。[专利文献I]日本公开专利公报[特开2004— 75739号公报(2004年3月11日公开)]
[专利文献2]日本公开专利公报[特开2003 - 327909号公报(2003年11月19日公开)]
[专利文献3]日本公开专利公报[特开2010 - 76422号公报(2010年4月8日公开)]。
发明内容
但是，上述现有的液体排出喷嘴，在连续排出液滴的过程中，虽然疏水膜难以附着污垢，但长期使用时，随着时间的推移，会发生污垢附着，或液体中的粒子造成疏水膜物理性地剥离，存在喷嘴的前端滞留液滴的问题。此外，液滴在疏水膜上发生固化时或疏水膜附着其他附着物时，这样的附着物等也是不容易除去的。结果是，会造成喷嘴前端滞留液滴。进而，排出液不是喷墨那样的低粘度的油墨，而是相比于油墨具有更闻粘度的树脂的情况下，在液体排出喷嘴中，当液体的浸润面积大时，不能容易地排出，存在容易发生堵塞的问题。本发明针对上述现有的问题，其目的是提供能够确保得到长寿命的液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，结果是能够防止堵塞，同时即使疏水层剥离或附着有附着物，疏水层也能够容易地再生。为了解决上述问题，本发明的液体排出喷嘴的特征在于，具备容纳排出液的储液容器以及与该储液容器下侧连通的排出部，上述排出部的排出口前端、排出部的内壁表面以及储液容器的内壁表面设置疏水层，同时上述疏水层包含氟系疏水层，作为上述氟系疏水层的基底层，使用氧化铝层和氧化硅层的叠层膜，叠层的上述氧化铝层、氧化硅层以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下，上述氟系疏水层的膜厚度为I 一 4纳米。根据上述发明，具备容纳排出液的储液容器以及与该储液容器下侧连通的排出部，排出部的排出口前端、排出部的内壁表面以及储液容器的内壁表面设置疏水层。而且，疏水层包含氟系疏水层，作为氟系疏水层的基底层，使用氧化铝层和氧化硅层的叠层膜。·S卩，一般情况下，液体排出喷嘴中，排出部的排出口前端设置疏水层，而排出部的内壁表面不设置疏水层。其理由为，原本认为喷嘴滞留液滴的问题是由于排出口的出口、即排出口前端发生滞留液滴而造成的。此外，一般情况下排出部的内壁表面，液体的流速快，疏水层容易剥离。针对这一问题，本发明中，排出部的内壁表面以及储液容器的内壁表面都设置疏水层。这样由于排出液体例如不是喷墨那样的低粘度的油墨，而是相比于油墨具有更高粘度的树脂的情况下，排出部等的内壁表面的界面张力变大，可使树脂的浸润面积变小，排出部等的内壁表面与树脂之间的表面附着力和摩擦变小，树脂的流动性变好。因此，本发明中，排出部的内壁表面以及储液容器的内壁表面都设置疏水层，因此在液体排出喷嘴的内部，即使是粘性高的排出液，也具有流动性变好的优点。但是，在排出部的内壁表面，液体流速快时或液体中存在有粒子的情况下，疏水层容易发生物理性剥离的问题依然存在。因此，本发明中，在疏水层上设置包含氧化铝层和氧化硅层的叠层膜的基底层。其结果是，疏水层的附着强度增加，疏水层不容易剥离，因此耐久性高。此外，本发明中，叠层的上述氧化铝层、氧化硅层以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下，氟系疏水层的膜厚度为I 一 4纳米。而且，为了获得耐久性良好，现有的液体排出喷嘴的疏水层的膜厚度，例如通过浸涂(浸溃)处理涂布特氟龙(^ 7 口 >)(注册商标)时，其膜厚度为100微米左右。但是，例如，在排出部的内壁表面设置膜总厚度为100微米左右的疏水层时，排出部的内径会有大的变化，膜厚度的偏差增大也会影响喷嘴内径的形状。结果也引起排出量的变化。因此，本发明中，叠层的上述氧化铝层、氧化硅层以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下。其结果是，通过长时间使用，即使是疏水层，随着时间的推移附着污垢，或由于液体中的粒子，疏水层发生物理性剥离时，排出部的直径也不会发生很大的变化。而且，本发明中，氟系疏水层的膜厚度为I 一 4纳米。即，这样将膜厚度变薄，即使疏水层的一部分剥离时，或者液滴凝固在疏水层时，或者其他附着物附着于疏水层时，例如经过等离子体处理，容易将疏水层以及疏水层的附着物剥离，能够再次设置疏水层。其结果是，疏水层容易再生处理，由此可以延长液体排出喷嘴的寿命。因此，可以提供即使是粘性高的排出液，也具有流动性好，防止堵塞，同时即使疏水层剥离或附着有附着物，疏水层也可以容易地再生，从而延长寿命的液体排出喷嘴。为了解决上述问题，本发明中液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，其是上述的液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，其特征在于，通过等离子体、紫外线照射或碱洗涤中至少一种以上的方法除去附着于上述疏水层的附着物以及该疏水层，再次形成疏水层。即，在疏水层的一部分剥离时，或者液滴凝固在疏水层时，或者其他附着物附着于疏水层时，通过等离子体、紫外线照射或碱洗涤中至少一种以上的 方法，切断化学性的结合，由此使疏水层和疏水层附着物容易地分离，从而得到除去。而且，疏水层是膜厚度也为
I- 4纳米这样的薄层，因此可以容易地再涂布疏水层。因此，可以提供能够确保长寿命的液体排出喷嘴的疏水层再生方法，结果是能够防止堵塞，同时即使疏水层剥离或附着有附着物，疏水层都能够容易地再生。本发明的液体排出喷嘴，如上所述，具备容纳排出液的储液容器以及与该储液容器下侧连通的排出部，上述排出部的排出口前端、排出部的内壁表面以及储液容器的内壁表面设置疏水层，同时上述疏水层包含氟系疏水层，作为上述氟系疏水层的基底层，使用氧化铝层和氧化硅层的叠层膜，叠层的上述氧化铝层、氧化硅层以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下，上述氟系疏水层的膜厚度为I 一 4纳米。而且，本发明的液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，如上所述，其是上述记载的液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，该方法通过等离子体、紫外线照射或碱洗涤中至少一种以上的方法除去附着于上述疏水层的附着物以及该疏水层后，再次形成疏水层。因此，可以提供能够确保长寿命的液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层再生方法，结果是具有防止堵塞，同时即使疏水层剥离或附着有附着物，疏水层都能够容易地再生的效果。
图I (a)是显示本发明液体排出喷嘴一个实施方案的图，是显示具有圆锥形储液容器和排出管的液体排出喷嘴结构的截面图。图I (b)是显示上述排出管的排出口前端、排出管的内壁表面以及储液容器的内壁表面形成的疏水层的截面图。图2 (a)是显示上述液体排出喷嘴结构的正视图。图2 (b)是显示上述液体排出喷嘴结构的底视图。图3 Ca)是显示锥形方式的液体排出喷嘴的截面图。图3 (b)是显示锥形+直形方式的液体排出喷嘴的截面图。图3 (c)是显示锥形+阶梯形+直形方式的液体排出喷嘴的截面图。图4是显示液体材料和液体排出方式关系的图。图5是显示现有液体排出喷嘴结构的截面图。
具体实施方式
基于图I (a)-图4来说明本发明的一个实施方案。(液体排出喷嘴的结构)
基于图I (a)、图I (b)、图2 Ca)以及图2 (b)来说明本实施方案的液体排出喷嘴的结构。图I (a)是显示上述液体排出喷嘴中具有圆锥形储液容器和排出管的上述液体排出喷嘴结构的截面图，图I (b)是显示排出管的排出口前端、排出管的内壁表面以及储液容器的内壁表面形成的疏水层的截面图。此外，图2 (a)是显示上述液体排出喷嘴结构的正视图，图2 (b)是显示上述液体排出喷嘴结构的底视图。本实施方案的液体排出喷嘴I,例如,其用于涂布LED(Light Emitting Diode :发光二极管)的荧光物质的树脂，如图2 Ca)以及图2 (b)所示，具备容纳排出液的储液容器10以及与该储液容器10下侧连通的排出管20。上述储液容器10包括上侧形成的柱形储液容器11和下侧形成的圆锥形储液容器 12。上述柱形储液容器11与下侧的圆锥形储液容器12组合形成圆筒，作为排出部的排出管20也与圆锥形储液容器12组合形成圆筒。但是，不是一定为圆筒，整体是方筒也可。上述液体排出喷嘴I的高度Hl例如为18毫米，圆锥形储液容器12和排出管20组合的高度H2例如为6. 5毫米。此外，柱形储液容器11的外径D例如为6毫米，液体排出喷嘴I的柱形储液容器11的正面和背面形成为平坦面，此平坦面上例如记载液滴排出量。如图I (a)所示，上述储液容器10的圆锥形储液容器12与该圆锥形储液容器12的下侧设置的排出管20连通，同时排出管20具有比圆锥形储液容器12的内径更细的内径。本实施方案的液体排出喷嘴I中，如图I (b)所示，圆锥形储液容器12以及排出管20的内外壁表面2设置疏水层5。此外，本发明中，至少在排出管20的排出口前端20a、排出管的内壁表面20b以及储液容器10的内壁表面IOa设置疏水层5就足够了。具体来说，在圆锥形储液容器12以及排出口 20的内外壁表面2上形成的疏水层5，包含氟系疏水层，同时设置作为包含氟系疏水层的疏水层5的基底层的氧化铝(Al2O3)层3以及在该氧化铝(Al2O3)层3上叠层的作为基底层的氧化硅(SiO2)层4。此外，本实施方案的液体排出喷嘴I中，在圆锥形储液容器12以及排出管20的内外壁表面2上设置疏水层5。但是，在本发明中并不限定于此，可以至少在圆锥形储液容器12以及排出管20的内壁表面上形成疏水层5。本实施方案中，上述疏水层5的厚度为1-4纳米，疏水层5以及作为基底层的氧化铝(Al2O3)层3和氧化硅(SiO2)层4的三层总和例如为25纳米以下。优选为20纳米以下。理由为，疏水层5以及作为基底层的氧化铝(Al2O3)层3和氧化硅(SiO2)层4的三层的厚度超过25纳米的话，经过长时间使用后，由于排出管20的内径发生变化，会引起排出管20的形状的变化。具体来说，例如试制品的液体排出喷嘴I中各层的厚度例如氧化铝(Al2O3)层3为10. 5纳米，氧化硅(SiO2)层4为6. 5纳米，包含氟系疏水层的疏水层5为I. 2纳米。(液体排出喷嘴的疏水层的形成方法)
以下说明上述结构的液体排出喷嘴I的疏水层5的形成方法。即，本实施方案中，在内外壁表面2上叠层形成作为基底层的氧化铝(Al2O3)层3和氧化硅(SiO2)层4，其上形成氟系疏水层(自组装单分子)。这样，3层的膜总厚度为20纳米左右，不影响排出管20的内径形状。首先，使用有机分子的气相生长方法，在腔室内设置液体排出喷嘴1，使用氧等离子体清洗液体排出喷嘴I的内外壁表面2，使其活化。接着，加热反应气体至100°C使其气化，导入预先加热到55°C的腔室内，在该腔室内形成氧化铝(Al2O3)层3。随后，将该腔室内排气至3-8Pa，重复循环，由此形成10纳米左右的氧化铝(Al2O3)层3。然后，在同一腔室内，使用氧等离子体清洗氧化铝(Al2O3)层3的上面，使其活化。接着，加热反应气体至100°c使其气化，导入预先加热到55 °C的腔室内形成氧化硅(SiO2)层4。随后，将该腔室内排气至3-8Pa，重复循环，由此形成10纳米左右的氧化硅(SiO2)层4。然后，在氧化硅(SiO2)层4的整个上面，形成氟系疏水膜。这样，就形成了膜厚度为1-4纳米左右的单分子膜。(液体排出喷嘴的疏水层的再生方法)
一般情况下，液体排出喷嘴I的疏水层5的疏水性高，但是疏油性并不是万无一失的，在液体反复排出的过程中，会产生残渣，造成疏水性能恶化。这些例如使用丙酮等进行的有机试剂洗涤、使用异丙醇(IPA)等进行的超声波洗涤等也不能完全除去。因此，通过氧等离子体只除去残渣及内外壁表面2的最表层形成的氟系疏水层，使成为基底层的氧化硅(SiO2)层4露出，在洁净化后的状态下，再次形成氟系疏水层。这样，本实施方案的液体排出喷嘴I具备容纳排出液的储液容器10以及与该储液容器10下侧连通的排出管20，排出管20的排出口前端20a、排出管20的内壁表面20b以及储液容器10的内壁表面IOa设置疏水层5。并且，疏水层5包含氟系疏水层，作为氟系疏水层的基底层，使用氧化铝(Al2O3)层3和氧化硅(SiO2)层4的叠层膜。S卩，一般情况下，液体排出喷嘴中，排出管的排出口前端设置疏水层，而排出管的内壁表面不设置疏水层。其理由为，原本认为喷嘴滞留液滴的问题是由于排出口的出口、即排出口前端发生滞留液滴造成的。此外，一般情况下，排出管的内壁表面液体的流速快，疏水层容易剥离。针对这一问题，本实施方案中，排出管20的内壁表面20b以及储液容器10的内壁表面IOa都设置疏水层5。这样由于排出液体例如不是喷墨那样的低粘度的油墨，而是相比于油墨具有更高粘度的树脂的情况下，排出管20等的内壁表面20b的界面张力变大，可使树脂的浸润面积变小，排出管20等的内壁表面20b与树脂之间的表面附着力和摩擦变小，树脂的流动性变好。这样，本实施方案中，排出管20的内壁表面20b以及储液容器10的内壁表面IOa都设置疏水层5，因此在液体排出喷嘴I的内部，即使是粘性高的排出液，也具有流动性变好的优点。但是，在排出管20的内壁表面20b，液体流速快时或由于液体中的粒子，疏水层5容易发生物理性剥离的问题依然存在。因此，本实施方案中，疏水层5上设置包含氧化铝(Al2O3)层3和氧化硅(SiO2)层4的叠层膜的基底层。因此，疏水层5的附着强度增加，疏水层5不容易剥离，因此耐久性闻。
此外，本实施方案中，叠层的氧化铝(Al2O3)层3、氧化硅(SiO2)层4以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下，氟系疏水层的膜厚度为I 一 4纳米。但是形成膜厚度小于I纳米的氟系疏水层的单分子膜是困难的。另一方面，氟系疏水层膜厚度超过4纳米时，如专利文献3记载的那样，分子链缠绕而得到的层会变厚。但是，这样的话，造成氟系疏水层容易剥离，是不优选的。而且，为了耐久性良好，现有的液体排出喷嘴的疏水层的膜厚度，例如通过浸涂(浸溃)处理涂布特氟龙(注册商标)时，为100微米左右。但是，例如，在排出管的内壁表面设置膜总厚度为100微米左右的疏水层时，排出管的内径会有大的变化，膜厚度的偏差增大，会影响喷嘴内径的形状。结果引起排出量的变化。因此，本实施方案中，叠层的氧化铝(Al2O3)层3、氧化硅(SiO2)层4以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下。其结果是，通过长时间使用，即使是疏水层5，随着时间的推移附着污垢，或由于液体中的粒子，疏水层5发生物理性剥离时，排出管20的管径也不会发生大的变化。
·
而且，本实施方案中，氟系疏水层的膜厚度为I 一 4纳米。即，这样将膜厚度变薄，即使疏水层5的一部分剥离时，或者液滴凝固在疏水层5时，或者其他附着物附着于疏水层5时，例如经过等离子体处理，容易将疏水层5以及疏水层5的附着物剥离，能够再次设置疏水层5。其结果是，疏水层5容易再生处理，由此可以延长液体排出喷嘴I的寿命。因此，可以提供即使是粘性高的排出液，也具有流动性好，防止堵塞，同时即使疏水层5剥离或附着有附着物，疏水层5也可以容易地再生，从而能够确保长寿命的液体排出喷嘴I。而且，本实施方案的液体排出喷嘴I中，排出液为树脂材料。由此，由于树脂材料比油墨具有更高的粘性，通过将其作为本实施方案的液体排出喷嘴I的排出介质，能够更大地获得本实施方案的效果。此外，本实施方案中液体排出喷嘴I的疏水层5的再生方法，通过等离子体、紫外线照射或碱洗涤中至少一种以上的方法除去附着于该疏水层5的附着物和该疏水层5后，再次形成疏水层5。即，反复排出液体时，在疏水层5的一部分剥离时，或者液滴凝固在疏水层5时，或者其他附着物附着于疏水层5时，通过物理性机械加工、等离子体、紫外线照射或碱洗涤中至少一种以上的方法，切断化学性的结合，由此使疏水层5和疏水层5的附着物容易地剥离，从而得到除去。而且，疏水层5是膜厚度也为I 一 4纳米这样的薄膜，因此可以容易地再涂布疏水层5。而且，上述各种疏水层5等的除去方法中，等离子体处理有氧等离子体处理或氩等离子体处理。而且，紫外线照射包括臭氧处理。这样，除去疏水层5等时，可以应用物理性机械加工方法、化学性除去方法。而且，上述各种疏水层5等的除去方法中，优选氩等离子和氧等离子体，最优选氧等离子。理由为形成疏水层5等时，在真空室内形成膜。因此，氩等离子体和氧等离子体处理也可以在同一真空室内进行，因此，被膜形成对象的液体排出喷嘴I在中途不需要暴露于大气。这样，不会附着大气中的悬浮物，因此能够在清洁的状态下形成膜。此外，与氩等离子体相比，氧等离子体更常规，成本低廉。这样，在液体反复排出导致的膜劣化所伴随膜的再生，通过氧等离子体等处理，只除去表面的氟系疏水层，露出基底层的氧化硅(SiO2)层4，洁净化后的状态下，可以再次形成氟系疏水层。因此，可以提供能够确保长寿命的液体排出喷嘴I的疏水层5的再生方法，结果是能够防止堵塞，同时即使疏水层5剥离或附着有附着物，疏水层5也可以容易地再生。此外，本发明不限于上述的实施方案，在本发明范围内可有各种变化。例如，上述实施方案中，液体排出喷嘴I的下侧排出管20为筒状，但并不限定于此。即，本发明的液体排出喷嘴I可应用图3 (a)、图3 (b)以及图3 (c)所示的各类型的液体排出喷嘴。S卩，图3 Ca)所示的液体排出喷嘴I为锥形方式。这种类型的液体排出喷嘴I的排出部为锥形，此排出部中，流速增加，不受内部直配管阻力的影响，保持流速。此类型液体排出喷嘴I的阻力小，排出液本身不稳定而对流速有不良影响，定量性容易变差。·其次，图3(b)所示的液体排出喷嘴I为锥形+直形方式。这种类型的液体排出喷嘴I的排出部为直形，由于上侧的锥形而流速增加，内径由于直形的排出部的配管阻力，使速度降低，以某个恒定的速度使流速稳定。此类型液体排出喷嘴I的阻力大，但定量性高。其次，如本实施方案说明，图3 (C)所示的液体排出喷嘴I为锥形+阶梯形+直形方式。这种类型的液体排出喷嘴1，由于上侧的锥形部分而流速增加，但由于阶梯的影响而引起滞留，使流速降低。并且，流速下降时，加上内径为直形的排出部的配管阻力，更使流速降低。此类型液体排出喷嘴I使整体的流动性变得迟缓，促进排出液的固化。并且，上述说明了本实施方案的液体排出喷嘴I用于涂布LED (Light EmittingDiode :发光二极管)荧光物质的树脂。但本发明的液体排出喷嘴1，不限定于此，可适用于更广范围的液体材料。S卩，基于图4说明本实施方案的液体排出喷嘴I所能适用的液体材料。图4是显示液体材料和液体排出方式关系的图。如图4所示，液体排出装置除存在低涂布直径的喷墨之外，还存在用于中一高涂布直径的脉冲方式(包括阀门型)、螺旋泵方式(螺杆)、活塞泵方式(柱塞)以及喷射方式。上述脉冲方式(包括阀门型)通过调整压力和时间来进行排出；螺旋泵方式(螺杆)是通过旋转螺杆来排出液体。而活塞泵方式(柱塞)是通过机械地调整柱塞的冲程量(测量容积)，不会改变液体的粘度。此外，喷射方式是从与工件分离的位置非接触地由喷嘴将液体高速度送出，液体经喷射后射出。因此，本实施方案的液体排出喷嘴I能够用于这些中一高涂布直径的脉冲方式(包括阀门型)、螺旋泵方式(螺杆)、活塞泵方式(柱塞)以及喷射方式。即，本实施方案的液体排出喷嘴I中，排出管20的内壁表面20b等设置疏水层5，能够减小液体的流动阻力。因此，特别地，在液体流速快的喷射方式中，通过使用粘性高的液体，能够减轻负荷。另一方面，脉冲方式(包括阀门型)、螺旋泵方式(螺杆)和活塞泵方式(柱塞)中，当希望即使是低粘度液体，也降低液体的流动阻力时，能够使用。如上所述，本发明的液体排出喷嘴中，上述排出液体可以为树脂材料。由于树脂材料比油墨具有更高粘性，作为本发明的液体排出喷嘴的排出介质，可以更好地获得本发明的效果。
此外，本发明不限于上述的实施方案，在权利要求所示的范围内具有各种变化，适当组合本实施方案中分别公开的技术手段得到的实施方案均包括在本发明的技术范围内。产业实用性
本发明的液体排出喷嘴是用于涂布LED (Light Emitting Diode :发光二极管)荧光物质的树脂的液体排出喷嘴，以及能够用于液体排出喷嘴的疏水层的再生方法。S卩，能够适用于粘性高的树脂等排出液体或表面张力大的排出液体。而且，当希望即使是低粘度的液体，也降低液体的流动阻力时，能够使用。符号说明
1液体排出喷嘴
2内外壁表面
3氧化招层(Al2O3)层
4氧化硅(SiO2)层
5疏水层
10储液容器
IOa 储液容器的内壁表面
11柱形储液容器
12圆锥形储液容器 20 排出管(排出部)
20a 排出口前端
20b 排出管的内壁表面。
权利要求
1.液体排出喷嘴，其特征在于，具备容纳排出液的储液容器以及与该储液容器下侧连通的排出部， 上述排出部的排出口前端、排出部的内壁表面以及储液容器的内壁表面设置疏水层， 上述疏水层包含氟系疏水层， 作为上述氟系疏水层的基底层，使用氧化铝层和氧化硅层的叠层膜， 叠层的上述氧化铝层、氧化硅层以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下，上述氟系疏水层的膜厚度为I 一 4纳米。
2.根据权利要求I所述的液体排出喷嘴，其特征在于，上述排出液体为树脂材料。
3.液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，其是权利要求I所述的液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，其特征在于，通过等离子体、紫外线照射或碱洗涤中至少一种以上的方法除去附着于上述疏水层的附着物以及该疏水层后，再次形成疏水层。
4.液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，其是权利要求2所述的液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，其特征在于，通过等离子体、紫外线照射或碱洗涤中至少一种以上的方法除去附着于上述疏水层的附着物以及该疏水层后，再次形成疏水层。
全文摘要
本发明涉及液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层的再生方法。本发明的液体排出喷嘴具备容纳排出液的储液容器(10)以及与储液容器(10)下侧连通的排出管(20)。排出管(20)的排出口前端(20a)、排出管(20)的内壁表面(20b)以及储液容器(10)的内壁表面(10a)设置疏水层(5)。疏水层(5)包含氟系疏水层。作为氟系疏水层的基底层，使用氧化铝层和氧化硅层的叠层膜。叠层的氧化铝层、氧化硅层以及氟系疏水层的膜总厚度为25纳米以下，氟系疏水层的膜厚度为1－4纳米。由此，可以提供能够确保寿命长的液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层的再生方法，结果是能够防止堵塞，同时即使疏水层剥离或附着有附着物，疏水层都能够容易地再生。
文档编号B41J2/14GK102909955SQ2012102680
公开日2013年2月6日 申请日期2012年7月31日 优先权日2011年8月1日
发明者仲桥孝博, 花户宏之 申请人:夏普株式会社