一种烘烤装置的制作方法

本发明涉及显示面板的制备设备技术领域，特别涉及一种烘烤装置。

背景技术：

在显示技术领域，液晶显示器(liquidcrystaldisplay，lcd)与有机发光二极管(organiclightemittingdiode，oled)显示器等平板显示器已经逐步取代crt显示器，广泛的应用于液晶电视、手机、个人数字助理、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。

目前oled的发展趋势向着喷墨打印的方向进行，但是在喷墨打印的过程中，分别有打印、干燥、烘烤，而打印的膜层最少有三层，包括空穴注入层、传输层及发光层。每一次打印后均需干燥、烘烤，烘烤工艺是与最终溶剂是否完全烘干有主要的关系，如果烘烤温度的均匀性不足，会导致部分区域的溶剂无法烘干或者烘干的时间不一致，最终导致mura的产生。

而目前烘烤所需的均匀性要求较高，且玻璃边缘部分的烘烤温度相对较低，导致会有mura现象(显示器亮度不均匀造成各种痕迹的现象)产生的可能。

因此，确有必要来开发一种新型的烘烤装置，以克服现有技术的缺陷。

技术实现要素：

本发明的一个目的是提供一种烘烤装置，其能够解决现有技术中因烘烤温度的不均导致其所处理的显示面板边缘产生mura的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种烘烤装置，其包括箱体，所述箱体内定义有烘烤腔，所述烘烤腔内设置有承载热台以及控温模块。其中所述控温模块在所述承载热台旁设有一加热位置，当所述承载热台承载待处理的基板并对其进行加热处理时，所述控温模块通过其自身的加热功能在所述加热位置进行加热，从而提升其周围空间的温度。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述加热位置的中心点与其最近的所述承载热台上设置的待处理基板的点的距离范围为10-90mm。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述控温模块在所述烘烤腔内还具有初始位置，所述控温模块能够在所述初始位置和所述加热位置之间转换移动。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述加热位置包括第一加热位置和第二加热位置，所述控温模块能够在所述初始位置和所述第一加热位置或第二加热位置之间转换移动。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述初始位置的中心点与其最近的所述承载热台上设置的待处理基板的点的距离范围为100-300mm。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述控温模块设置在一伸缩结构上，并通过所述伸缩结构的伸缩在所述初始位置和所述加热位置间进行位置转换，其中所述伸缩结构连接在所述箱体上。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述控温模块设置在一气缸结构上，并通过所述气缸结构的活塞移动在所述初始位置和所述加热位置间进行位置转换，其中所述气缸结构连接在所述箱体上。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述烘烤腔内还设置有温度感应单元，所述温度感应单元探测其所在位置处的温度，并将探测到的温度数值发给所述控温模块，所述控温模块将接收到的温度数值与其内预设的温度数值比较，当接收到的温度数值低于其内的所述预设温度数值时，其会在所述加热位置进行所述加热操作。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述控温模块包括控制单元和加热单元，其中所述控制单元接收所述温度感应单元传送的探测温度数值，并与其内预设的温度数值比较，当接收到的探测温度数值低于其内的所述预设温度数值时，其会指令所述加热单元在所述加热位置进行所述加热操作。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述控温模块包括2个或以上数量。其中所述控温模块的设置数量及设置方式随需要而定，并无限定，只要能使待处理的基板边缘及整体区域进行温度补偿、减少温度损伤即可。

相对于现有技术，本发明的有益效果在于提供一种烘烤装置，其在待处理的基板边缘的四角位置设置具有自身加热功能的控温模块，使其能够通过自身的加热功能对待处理基板的边缘进行温度补偿，减少其温度损伤，从而降低所述待处理基板的边角区域与其他区域间温度均匀性的差异性。

进一步的，所述控温模块能够独立控制进行移动，使得其能够对所述待处理基板的各个区域根据需要对其进行温度补偿，进一步的扩大了其应用范围。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例1提供的烘烤装置的结构示意图；

图2为本发明实施例1中承载热台承载待处理的基板时的结构示意图；

图3为本发明实施例2提供的烘烤装置的结构示意图；

图4为本发明实施例2中承载热台承载待处理的基板时的结构示意图；

图5为本发明实施例2中控温模块处于加热位置时的结构示意图；

图6为本发明实施例2中控温模块完成温度补偿后移动至初始位置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，属于“第一”“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定由“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

实施例1

请参阅图1，图1所示为本实施例提供的烘烤装置的结构示意图，本发明提供一种烘烤装置，包括箱体，箱体内定义有烘烤腔，烘烤腔内设置有承载热台1、控温模块3和温度感应单元4。

图2所示为承载热台承载待处理的基板时烘烤装置的结构示意图，在基板2放置位置边缘的四角，即加热位置设置四个控温模块3和温度感应单元4，其中控温模块3具有自身加热功能，能对基板2进行温度补偿，温度感应单元4能够侦测加热位置处的温度，加热位置的中心点与其最近的承载热台上设置的待处理基板2的点的距离l1为50mm。

烘烤装置上还设置有控制单元，其与温度感应单元4连接并能接收温度感应单元4的数值。承载热台1在承载输入到烘烤腔内的待处理的基板2时是处于加热状态，温度感应单元4感应加热位置处的温度，当控制单元获知温度感应单元4的温度数值低于预设温度时，其会通知控温模块3处于加热状态以对加热位置处的温度进行补偿从而使其达到预设温度。

以下说明本发明优选实施例中的烘烤装置的烘烤作业过程：

首先在基板放置位置边缘的四角，即加热位置设置四个控温模块3和温度感应单元4；

先使承载热台1处于加热状态，等其达到预设温度后，然后将基板2放置在承载热台1上，对基板2进行对位、固定；

当控制单元获知温度感应单元4的温度数值低于预设温度时，其会通知控温模块3处于加热状态以对加热位置处的温度进行补偿从而使其达到预设温度。

实施例2

请参阅图3，图3所示为本实施例提供的烘烤装置的结构示意图，本发明提供一种烘烤装置，包括箱体，箱体内定义有烘烤腔，烘烤腔内设置有承载热台1、控温模块3和温度感应单元4。

控温模块3具有初始位置和加热位置，控温模块3可以在初始位置和加热位置之间移动。其中控温模块3设置在一伸缩结构上，并通过伸缩结构的伸缩在初始位置和加热位置间进行位置转换，其中伸缩结构连接在所述箱体上。

在其他实施方式中，其中控温模块也可以设置在一气缸结构上，并通过气缸结构的活塞移动在初始位置和加热位置间进行位置转换，其中气缸结构连接在所述箱体上。

图4所示为本实施例中承载热台承载待处理的基板时的结构示意图，在基板2放置位置边缘的四角，即加热位置设置四个温度感应单元4，在初始位置设置四个控温模块3。其中控温模块3具有自身加热功能，能对基板2进行温度补偿，温度感应单元4能够侦测加热位置处的温度。初始位置的中心点与其最近的承载热台上设置的待处理基板2的点的距离l2为200mm。

图5所示为本实施例中控温模块处于加热位置时的结构示意图，烘烤装置上还设置有控制单元，其与温度感应单元4连接并能接收温度感应单元4的数值。承载热台1在承载输入到烘烤腔内的待处理的基板2时是处于加热状态，温度感应单元4感应加热位置处的温度，当控制单元获知温度感应单元4的温度数值低于预设温度时，其会通知控温模块3从初始位置移动至加热位置处，其中控温模块3处于加热状态以对加热位置处的温度进行补偿从而使其达到预设温度。其中加热位置的中心点与其最近的承载热台上设置的待处理基板2的点的距离l1为50mm。

图6为本实施例中控温模块完成温度补偿后移动至初始位置的结构示意图，当加热位置处的温度达到预设温度后，控制单元会通知控温模块3从加热位置移动至初始位置。

以下说明本发明优选实施例中的烘烤装置的烘烤作业过程：

首先在基板2放置位置边缘的四角，即加热位置设置四个温度感应单元4，在初始位置设置四个控温模块3；

先使承载热台1处于加热状态，等其达到预设温度后，然后将基板2放置在承载热台1上，对基板2进行对位、固定；

当控制单元获知温度感应单元4的温度数值低于预设温度时，其会通知控温模块3从初始位置移动至加热位置处，其中控温模块3处于加热状态以对加热位置处的温度进行补偿从而使其达到预设温度；

当加热位置处的温度达到预设温度后，控制单元会通知控温模块3从加热位置移动至初始位置。

本发明的有益效果在于提供一种烘烤装置，其在待处理的基板边缘的四角位置设置具有自身加热功能的控温模块，使其能够通过自身的加热功能对待处理基板的边缘进行温度补偿，减少其温度损伤，从而降低所述待处理基板的边角区域与其他区域间温度均匀性的差异性。

进一步的，所述控温模块能够独立控制进行移动，使得其能够对所述待处理基板的各个区域根据需要对其进行温度补偿，进一步的扩大了其应用范围。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。