1.一种基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印装置,其特征在于,包括:振动台底座,以及设置于所述振动台底座一侧的电机支架;所述电机支架上设置有音圈电机;所述振动台底座上设置有导轨,所述导轨上设置有振动台,所述振动台与所述音圈电机动子连接;所述振动台上方设置有宏动进给机构,所述宏动进给机构内设置有微动进给机构,所述宏动进给机构和所述微动进给机构之间设置有预紧螺栓和压电陶瓷驱动器,所述预紧螺栓与所述压电陶瓷驱动器连接;所述音圈电机,用于驱动所述振动台在平面方向振动,所述压电陶瓷驱动器,用于驱动所述微动进给机构,所述宏动进给机构,用于进给控制。
2.根据权利要求1所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印装置,其特征在于,所述音圈电机包括:音圈电机定子和音圈电机动子,所述音圈电机定子与所述音圈电机动子连接。
3.根据权利要求2所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印装置,其特征在于,所述音圈电机的振动频率100~300hz,振幅10~100μm。
4.根据权利要求1所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印装置,其特征在于,所述宏动进给机构与所述微动进给机构柔性铰链。
5.根据权利要求4所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印装置,其特征在于,所述柔性铰链处设置有动态应变片。
6.根据权利要求1所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印装置,其特征在于,所述微动进给机构的输出端设置有模具。
7.根据权利要求1所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印装置,其特征在于,所述振动台上固定设置有聚合物薄板。
8.一种基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、准备阶段;步骤二、摩擦生热阶段;步骤三、力控微进给阶段;步骤四、冷却脱模阶段。
9.根据权利要求8所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印方法,其特征在于,摩擦生热阶段包括:通过振动在聚合物表面实现线性摩擦生热。
10.根据权利要求8所述的基于音圈电机的振动辅助线性摩擦压印方法,其特征在于,力控微进给阶段包括:
通过具有力反馈功能的微动进给机构控制压印过程压力;
再通过压印过程的温度场和应力应变场的在线检测,完成表面摩擦和微进给的精密控制,实现表面熔融深度的有效可控;
根据模具的微纳尺寸要求,使整个聚合物表面熔融,并通过在可控压力作用下的填充,实现熔融区域的结构重构,完成高密度微流控芯片的复制制造。