专利名称：等离子去胶台可调式载片体的制作方法
技术领域：
本发明属于机械领域，用于半导体外延片的去胶 或清洗，特别是指一 种用于等离子去胶台可调式载片 体。
景技术
半导体工业，作为2l世纪信息社会的高新技术 产业的重要支柱，对世界经济产生着强有力的驱动作 用。近些年，随着半导体技术的飞速发展，各种半导 体工艺设备的研制和开发也应运而生。比较有代表性 的产品有等离子去胶台、光刻机、快速合金炉(4英 寸和6英寸)、探针台、扩散炉和退火炉、清洗机以及 正在开发的芯片倒装焊机等。等离子去胶台设备具有 去胶工艺简单、可靠、彻底、速率快、成品率高、无 酸气废水、且电磁兼容性能优良、高频辐射小等特点 而在半导体工艺线上发挥着重要的作用。
现在等离子去胶台普遍使用的载片体是一长方体石英平板，其上无任何固定装置。这种载片体的特点 是片子的取放比较方便，比较适合面积较小的衬底。
但这种载片体也存在很大的欠缺即片子在被去胶的
过程中由于震动或反应室的气流等原因,，m 常常使片子
位置发生变化，甚至掉落，使片子碎裂尤其是对于
面积较大的片子，从而在人力、物力和财力上造成很
大的损失0 本发明提供种等离子去胶厶可调式载片
体，该载片体可以l门 根雜片子的不同形状、大小做出相
应的调整, 再进行固定，从而避免由于震动或其他原
因引起的片子碎裂,且装卸灵活制作简'便,
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种等离子去胶台
可调式载片体，该载片体可以根据片子的不同形状大
小而做出相应的调整再进行固定，且装卸灵活制
作简便。
本发明的百的是由以下的技术方案实现的:
本发明—种等离子去胶台可调式载片体，用于等
离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，其
特征在于，包括
承载体，该承载体为一矩形，该承载体的上面
中间两侧分别有一螺孔
两探针架，该两探针架类似于套管天线的结构， 其长度可以伸縮调节，该两探针架的一 端分别用螺丝
固定在承载体上面的螺孔上；
两探针，该探针为细丝状，该两探针的 一 端分别 固定在两探针架的另一端。
其中所述的探针架包括多节可以伸縮调节的杆 体，该杆体的一端为金属片，该金属片上有一螺丝孔。
其中所述的多节可以伸縮调节的杆体的节数为两 至五节。
其中所述的承载体为绝热耐温的聚四氟乙烯材料。
其中所述的两探针架为金属材料。
其中所述的两探针为金属材料。
本发明的有益幾果是-
1、该等离子去胶台可调式载片体可以固定待清
洗或去胶的外延片，从而避免由于震动等原因引起的
片子碎裂。
2、该等离子去胶台可调式载片体可以根据外延
片的形状大小而做出相应的调整，尤其对于面积较大
的外延片，且装卸方便灵活。
3、该等离子去胶台可调式载片体制作方法简单，
成本低廉。
为了进—歩说明本发明的结构和特征，以下结合
实施例及附图对本发明作进一步的说明，其中
图1是本发明可调式载片体的立体分解图。
图2是该可调式载片体在工作状态下的立体图。
具体实施例方式
请参阅图1所示，本发明一种等离子去胶台可调 式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或 去胶的外延片，包括
—承载体l0，该承载体l0为一矩形，该承载 体l 0的上面中间两侧分别有一螺孔l 1,所述的承 载体lO为绝热耐温的聚四氟乙烯材料；
两探针架2 0,该两探针架2 O类似于套管天线 的结构，其长度可以伸縮调节，该两探针架2 O的一-端分别用螺丝固定在承载体l0上面的螺孔1l上， 所述的探针架2 O包括多节可以伸缩调节的杆体2 1，该杆体2 1的一端为金属片2 2,其中所述的多 节可以伸縮调节的杆体2l的节数为两至五节，该金
属片2 2上有一螺丝孔2 3，所述的两探针架2 0为 金属材料；
两探针3 0,该探针3 0为细丝状，该两探针3 0的一端分别固定在两棵针架2 0的另一端，所述的 两探针3 0为金属材料。
请参阅图2所示，本发明等离子去胶台可调式载 片体的工作过程为-
首先将承载体l0放置于等离子去胶台反应室的 支架上(未图示)，将两探针架2 0上的螺丝孔2 3和 承载体l0上的螺孔1l对准，然后用螺丝穿过螺丝 孔2 3拧入承载体1 0上的螺孔1 l中，但不要拧紧。
其次，您 付可调式固定装置和承载体1 0之间留有一定
的空隙，JUL* 放入外延片1 00然后根据外延片1 o 0
的形状大小调节两探针架20的长度，直至两探针架
2 0的长厪与外延片1 00的大小形状合适，直至将
两探*，— ft躯20上的探针30放在外延片1 o o的边缘端。眾后嫫两探针架2 0固定,这样外延片1 o 0就
被固定在/山 载体10之上了然后关闭等离子去胶台
的反应室内, 头施清洗或去胶过程。清洗或去胶结束
后，将两探针架20上的螺丝松开，调节两探针架2
0的长度至最紐，外延片100便可以方便的取出。
本发明等离去胶台可调式载片体与现有的技术
相比具有如下的优点-
1、 该等离子去胶台可调式载片体可以固定待清 洗或去胶的外延片，从而避免由于震动等原因引起的 片子碎裂。
2、 该等离子去胶台可调式载片体可以根据外延 片的形状大小而做出相应的调整，尤其对于面积较大 的外延片，且装卸方便灵活。
3、 该等离子去胶台可调式载片体制作方法简单， 成本低廉。
权利要求
1、一种等离子去胶台可调式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，其特征在于，包括一承载体，该承载体为一矩形，该承载体的上面中间两侧分别有一螺孔；两探针架，该两探针架类似于套管天线的结构，其长度可以伸缩调节，该两探针架的一端分别用螺丝固定在承载体上面的螺孔上；两探针，该探针为细丝状，该两探针的一端分别固定在两探针架的另一端。
2、 根据权利要求l所述的等离子去胶台可调式 载片体，其特征在于，其中所述的探针架包括多节 可以伸縮调节的杆体，该杆体的一端为金属片，该金 属片上有一螺丝孔。
3、 根据权利要求3所述的等离子去胶台可调式 载片体，其特征在于，其中所述的多节可以伸縮调节 的杆体的节数为两至五节。
4 、根据权利要求1所述的等离子去胶台可调式 载片体，其特征在于，其中所述的承载体为绝热耐温的聚四氟乙烯材料。
5、 根据权利要求l所述的等离子去胶台可调式 载片体，其特征在于，其中所述的两探针架为金属材 料。
6、 根据权利要求l所述的等离子去胶台可调式 载片体，其特征在于，其中所述的两探针为金属材料。
全文摘要
本发明一种等离子去胶台可调式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，其特征在于，包括一承载体，该承载体为一矩形，该承载体的上面中间两侧分别有一螺孔；两探针架，该两探针架类似于套管天线的结构，其长度可以伸缩调节，该两探针架的一端分别用螺丝固定在承载体上面的螺孔上；两探针，该探针为细丝状，该两探针的一端分别固定在两探针架的另一端。
文档编号G03F7/42GK101201558SQ200610165109
公开日2008年6月18日 申请日期2006年12月13日 优先权日2006年12月13日
发明者俊 王, 白一鸣 申请人:中国科学院半导体研究所