基板检测装置的制作方法

文档序号:2725310阅读:93来源:国知局
专利名称:基板检测装置的制作方法
技术领域
本实用新型与基板检测装置有关,特别是有关于一种可快速地完成微 调作业的基板检测装置。
背景技术
在液晶显示器的制作过程中,必须通过由一检测装置来检测液晶显示 器的一玻璃基板是否有瑕疵。
检测装置主要包含有一检测平台,用以承载玻璃基板,检测平台的周 围设有若干组探针,用以检测玻璃基板。当玻璃基板输送至检测平台后, 利用 一光源照射在玻璃基板周缘的定位标记,使玻璃基板完成定位的后, 才能透过探针进行检测。
然而,为了大量生产液晶显示器,原始的玻璃基板尺寸都相当大, 若玻璃基板输送至检测平台的位置有偏差,造成光源的光线无法准确地照 射在玻璃基板的定位标记时,必须再通过由一调整装置来进行微调的动 作,但是由于玻璃基板的尺寸很大,导致微调作业会非常麻烦,且进行微 调作业的调整装置结构也会相当复杂。

实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种基板检测装置,其结构简单, 并可快速地完成微调作业,用以方便进行检测基板的动作。
为达成上述目的,本实用新型的基板检测装置包含有一检测平台、
至少一检测单元与至少一定位单元;该检测平台具有一工作平面,用以承 载一基板;该检测单元设于该检测平台的周缘,并位于该检测平台的上方, 该检测单元可相对该工作平面而沿一第一方向、一第二方向与一第三方向 移动,其中该第一方向平行该工作平面,该第二方向平行该工作平面,并 垂直该第一方向,该第三方向则分别垂直该工作平面、该第一方向与该第 二方向;该定位单元设于该检测平台的周缘,并位于该检测平台的上方, 该定位单元与该检测单元电性连接,使该定位单元可同步与该检测单元沿 该第一方向与该第二方向移动。
通过此,本实用新型的基板检测装置可透过该检测单元与该定位单 元沿该第一方向与该第二方向的移动,使该定位单元可快速地对准该基板 的一定位标记,用以方便该检测单元进行后续的检测动作。
兹配合图式列举以下较佳实施例,用以对本实用新型的结构及功效 进行详细说明;其中所用图式先简要说明如下


图1为本实用新型一较佳实施例的局部立体图; 图2为图1的俯视图3为图2沿3-3剖线的剖视图4为本实用新型一较佳实施例的局部侧视图5为本实用新型一较佳实施例的使用示意图6为本实用新型一较佳实施例的动作示意图 与定位单元沿第一方向的状态;
图7为本实用新型一较佳实施例的动作示意图 与定位单元沿第二方向的状态;
图8为本实用新型一较佳实施例的动作示意图 沿第三方向的状态;
,主要显示检测单元 ,主要显示检测单元 ,主要显示检测单元
图9为本实用新型一较佳实施例所提供的检测单元与定位单元相对 工作平面旋转的示意图。
主要组件符号说明
基板检测装置10
定位标记14 工作平面202 第一马达212 第一滑轨22
第一方向P1 第二马达242 第二移动座25 第二方向P2 第三马达272 第三移动座28 第三方向P3 探针32
电荷耦合组件42 反射镜46
基板12 检测平台20 第一驱动装置21 第一螺杆214 第一移动座23 第二驱动装置24 第二螺杆244 第二滑轨26 第三驱动装置27 第三螺杆274 第三滑轨29 检测单元30 定位单元40 镜头4具体实施方式
请参阅图1、图2及图5,为本实用新型一较佳实施例所提供的基板 检测装置10,该基板检测装置10包含有一检测平台20、四检测单元30 与四定位单元40。
该检测平台20为概呈矩形的框体,其具有一工作平面202,该工作 平面202的上方可用以承载一基板12,如图5所示。该检测平台20的四 个角落分别设有一第一驱动装置21与一第一滑轨22,其中该第一驱动装 置21具有一第一马达212与一第一螺杆214,该第一滑轨22分别平行该 工作平面202与该第一螺杆214的轴向,该检测平台20于该第一滑轨22 上设有一第一移动座23该第一移动座23是与该第一驱动装置21的该第 一螺杆214连接,使该第一移动座23可受该第一螺杆214的驱动而沿着 该第一滑轨22朝一第一方向Pl移动如图7所示。该检测平台20于该第 一移动座23的一侧边设有一第二驱动装置24与一第二移动座25,其中 该第二驱动装置24具有一第二马达242与一第二螺杆244,该第二移动 座25是与该第二驱动装置24的该第二马达242连接,且该第二移动座 25与该第一移动座23之间设有一第二滑轨26如图3所示,该第二滑轨 26垂直该第一滑轨22,使该第二移动座25可随该第一移动座23朝该第 一方向Pl移动,并可受该第二马达242的驱动而沿着该第二滑轨26朝一 第二方向P2移动如图6所示。该检测平台20于该第一移动座23的一侧 面设有一第三驱动装置27与一第三移动座28,其中该第三驱动装置27 具有一第三马达272与一第三螺杆274,该第三移动座28是与该第三驱 动装置27的该第三马达272连接,且该第三移动座28与该第二移动座 25之间设有一第三滑轨29,该第三滑轨29分别垂直该第一滑轨22与该 第二滑轨26,使该第三移动座28除了可随着该第一移动座23与该第二 移动座25朝该第一方向Pl与该第二方向P2移动的外,还可受该第三马 达272的驱动而沿着该第三滑轨29朝一第三方向P3移动如图8所示。
各该检测单元30分别装设于该检测平台20的第三移动座28,并位 于该工作平面202的上方,使各该检测单元30两两相对,并可随着该第 三移动座28的移动而朝该第一方向Pl、该第二方向P2与该第三方向P3 移动。各该检测单元30具有若干探针32,当各该检测单元30朝该第三 方向P3而靠近该工作平面202时,可透过该等探针32碰触该基板12, 用以进行检测基板12的动作。
各该定位单元40装设于该检测平台20的第一移动座23,并与该第 二移动座25连接,使各该定位单元40可随着该第一移动座23与该第二 移动座25而朝该第一方向Pl与该第二方向P2移动。各该定位单元40 包含有一电荷耦合组件(Charge Coupled Device, CCD) 42、 一连接该电 荷耦合组件42的镜头44与一连接该镜头44的反射镜46,如图4所示, 其中该反射镜46是与该电荷耦合组件42及该镜头44呈45度的夹角。该 电荷耦合组件42可将一光源照射至该基板12的一定位标记14的影像透 过该反射镜46与该镜头44而加以检索,用以完成定位的动作。
经由上述结构,当该基板12输送至该检测平台20后,各该检测单 元30与各该定位单元40会先随着各该第二移动座25而朝该第二方向P2 移动至该基板12的上方,如图5所示。若该基板12输送至该检测平台 20的位置有所偏差,造成各该定位单元40无法对准该基板12的定位标 记14,此时,各该第二移动座25会再受该第二驱动装置24的驱动而连 带各该检测单元30与各该定位单元40朝该第二方向P2移动,如图6所 示,若各该定位单元40仍无法对准该基板12的定位标记14,各该第一 移动座23会再带动各该检测单元30与各该定位单元40朝该第一方向Pl 移动,如图7所示,当各该定位单元40对准该基板12的定位标记14的 后,各该定位单元40即可将该光源的光线照射至各该定位标记14的影像 透过该反射镜46的反射,并经由该镜头44而加以检索,用以完成定位的 动作,此时,各该检测单元30即可随着各该第三移动座28朝该第三方向 P3移动,如图8所示,直至各该检测单元30的探针32碰触该基板12, 用以进行后续检测基板12的动作。另外,若该基板12的尺寸相当大,使 得该基板12输送至该检测平台20的位置容易有歪斜的状况发生,如图9 所示,将造成各该检测单元30的部分探针32无法碰触到该基板12,此 时,各该检测单元30与各该定位单元40可以该第三方向P3为轴心旋转 一角度e,使各该检测单元30的探针32可碰触到该基板12,以完成检 测的动作。
通过此,本实用新型的基板检测装置10的结构相当简单,并透过可
移动的检测单元30与定位单元40,即使该基板12输送至该检测平台20 的位置有所偏差,仍可快速地进行调整而完成定位的动作,用以方便后续 的检测作业。
权利要求1.一种基板检测装置,其特征在于包含有一检测平台,具有一工作平面,用以承载一基板;至少一检测单元,设于该检测平台,相对该工作平面而沿一第一方向、一第二方向与一第三方向移动,其中该第一方向平行该工作平面,该第二方向平行该工作平面,并垂直该第一方向,该第三方向则分别垂直该工作平面、该第一方向与该第二方向;以及至少一定位单元,设于该检测平台,并与该检测单元电性连接,该定位单元同步与该检测单元沿着该第一方向与该第二方向移动。
2. 依据权利要求l所述的基板检测装置,其特征在于,所述该检测 单元与该定位单元可同步以该第三方向为轴心而相对该工作平面旋转一 预定角度。
3. 依据权利要求l所述的基板检测装置,其特征在于,所述该检测 平台具有一第一滑轨、 一第二滑轨与一第三滑轨,该第一滑轨平行该第一方向,该第二滑轨平行该第二方向,该第三滑轨平行该第三方向;该检测 单元可位移地分别设于该第一滑轨、该第二滑轨与该第三滑轨,该定位单 元则可位移地分别设于该第一滑轨与该第二滑轨。
4. 依据权利要求3所述的基板检测装置,其特征在于,所述该检测 平台具有一第一移动座、 一第二移动座与一第三移动座,该第一移动座设 于该第一滑轨,该第二移动座设于该第一移动座,且该第二移动座与该第 一移动座之间设有该第二滑轨,该第三移动座设于该第一移动座,且该第 三移动座与该第二移动座之间设有该第三滑轨;该定位单元设于该第一移 动座,并与该第二移动座连接,该检测单元则与该第三移动座连接。
5. 依据权利要求4所述的基板检测装置,其特征在于,所述该检测 平台更具有一第一驱动装置、 一第二驱动装置与一第三驱动装置,该第一 驱动装置是与该第一移动座连接,该第二驱动装置是与该第二移动座连 接,该第三驱动装置是与该第三移动座连接。
6. 依据权利要求l所述的基板检测装置,其特征在于,所述该定位 单元包含有一电荷耦合组件、一连接该电荷耦合组件的镜头与一连接该镜 头的反射镜。
专利摘要本实用新型一种基板检测装置,包含有一检测平台,检测平台具有一工作平面,工作平面可用以承载一基板,检测平台的周缘设有至少一检测单元与至少一定位单元,检测单元与定位单元皆可同步相对工作平面沿一第一方向与一第二方向移动,其中第一方向与第二方向分别平行工作平面,且第一方向与第二方向相互垂直,而检测单元亦可相对工作平面沿一第三方向移动,第三方向则分别垂直工作平面、第一方向与第二方向;通过此,本实用新型的基板检测装置可透过检测单元与定位单元沿第一方向与第二方向的移动而快速地完成定位的动作,用以方便进行后续的检测作业。
文档编号G02F1/13GK201000519SQ200620137618
公开日2008年1月2日 申请日期2006年10月8日 优先权日2006年10月8日
发明者叶公旭, 林祈廷 申请人:东捷科技股份有限公司
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