专利名称：柔性显示器及形成该柔性显示器的对准标记的方法
技术领域：
本发明涉及一种显示器件，尤其涉及一种柔性显示器及形成该柔性显示器 的对准标记的方法，其中该柔性显示器包括使膜层之间的位置对准所需的对准 标记。
背景技术：
随着信息社会近来的发展趋势，显示器作为信息传递器而引起关注。为了 在各种领域中使用显示器，需要实现能耗低、外形薄、重量轻和分辨率高的显 不器。
显示器可分为发光型和非发光型，其中发光型显示器对应电致发光(EL)
显示器、真空荧光显示器(VFD)和等离子体显示板(PDP);而非发光型显
示器对应液晶显示器(LCD)。
近来，开始出现柔性显示器，其可以折叠或者巻起而不会有任何损坏。 即使在目前的柔性显示器中发生各种问题，柔性显示器技术也应用于使用
薄膜晶体管(TFT) LCD器件、有机发光二极管(OLED)和电泳显示器的各
种显示器中。
除了以上所述的使用复杂结构的柔性显示器之外，还考虑并研究简单结构 的柔性显示器。
在下文中，将参照附图解释现有技术的柔性显示器。 图1A和图1B示出现有技术柔性显示器的照片。
如图1A和图1B中所示，柔性显示器一般称为巻形显示器(scrolldisplay)。 柔'性显示器由薄塑料基板形成，其可以保持折叠或者巻起而不被损坏。在这一 方面，柔性显示器是下一代显示器之一。截止目前，由于可以制造小于lmm
的薄型OLED或者LCD，因此柔性显示器应用于OLED或者LCD。
OLED可以自身发光，并且在暗环境中可以得到与亮环境中一样的良好能
见度。在目前所用的显示器中，OLED具有最快的响应速度，其是判断移动显
示器功能的最重要标准之一。
同样，OLED可用于诸如超薄型移动电话的移动器件。为了使用OLED实
现柔性显示器，必需使用塑料的柔性基板。
然而，现有技术的柔性显示器具有以下缺点。
与利用在透明玻璃基板上形成的对准标记而易于形成薄膜晶体管(TFT) 阵列或者有机发光层等的公知有机发光器件相反，柔性显示器难以形成形成 层，原因在于对准标记形成在不透明的塑料基板上而且对准标记在对准工艺中 不可见，因此使形成层之间的位置无法良好对准。
图2是用于对准公知玻璃基板的截面视图，图3是沿着图2的'A'区域 的^[大视图，以及图4是在使用可视(vision)照相机观察图3的'A'区域 的工艺中所示的图像。
如图2至图4所示，在形成有机发光层时的公知有机发光器件的情形下， 对准标记形成在透明玻璃基板上基板的边缘处，并且可视照相机对应于基板的 边缘设置，以及荫罩设置在玻璃基板下方而有机发光材料的供给源设置在荫罩 30下方。
在这种情形下，对应于玻璃基板的对准标记，掩模对准孔35形成在荫罩 30上，可视照相机10观察对应于对准标记的检测区域并检测玻璃基板20与 荫罩之间的对准度。
现有技术的柔性显示器具有以下缺点。
然而，如图2所示，柔性显示器包括金属基板，由于金属基板由不透明材 料制成，因此在可视照相机设置在柔性显示器上方而荫罩设置在柔性显示器下 方的情形下，使用可视照相机不能检测对准标记。
发明内容
因此，本发明涉及一种柔性显示器，其基本上消除了由于现有技术的限制 和缺点而导致的一个或多个问题。
本发明的目的在于提供一种包括使膜层之间位置对准所需的对准标记的
柔性显示器。本发明其他优点、目的和特征一部分将在以下描述中加以阐述， 并且一部分对于本领域的普通技术人员在研究下文时变得显而易见或通过实 施本发明而了解。本发明的目的及其他优点由在书面的说明书、权利要求书以 及附图中具体指明的结构实现和获得。
为了实现这些和其它优点并根据本发明的目的，如在此具体实施和广义的 描述的， 一种柔性显示器包括限定为显示器区域和非显示区域的基板，以及 包括对准标记和在对准标记周围的透射部分的对准标记形成部分，其中该对准 标记形成部分形成在基板的非显示区域处。
同时，基板可由金属制成，而在透射部分的基板氧化为金属氧化物。另外， 可通过电抛光使透射部分形成小于对准标记的厚度。或者可以在透射部分上形 成环氧材料。
此外，对准标记可形成为环状或者多边形。
此外，透射部分之外的基板由不透明的金属形成。同时，例如，基板可由 铝、SUS系列(不锈钢)和包括铝及SUS系列的至少其中之一制成。
此外，基板具有约10pm至9mm (9000pm)的厚度。 在本发明的另一方案中，提供一种用于形成对准标记柔性显示器的方法，
包括在限定为显示区域和非显示区域的基板上涂覆光刻胶层，其中非显示区 域具有对准标记形成部分；通过选择性地去除光刻胶层以暴露并显影对应于除
对准标记形成部分的中心部分之外的那部分对准标记形成部分，由此形成光刻
胶图案；以及在对准标记形成部分内部的中心部分中形成对准标记，并在对准 标记的周围形成透明的透射部分。
在该情形下，在形成光刻胶图案的步骤之后还可包括烘焙光刻胶图案的步骤。
形成对准标记和透射部分的步骤包括分别将基板浸在由充满氧化溶液的 溶槽中的其中一侧，并将电极浸在该溶槽中的另一侧，以及使基板的对准标记 形成部分与电极发生氧化还原反应，并通过使用光刻胶图案作为掩模来氧化透 射部分。同时，氧化溶液可至少由草酸、磷酸、硫酸和包括上述溶液的混合溶 液的其中之一形成。并且还可包括通过使用剥离器去除光刻胶图案的步骤。
另外，形成对准标记和透射部分的步骤包括通过使用光刻胶图案作为掩模 电抛光基板的对准标记形成部分。
或者，形成对准标记和透射部分的步骤包括通过使用光刻胶图案作为掩模 在对准标记形成部分上涂覆环氧材料。
应理解，上述的概括说明和以下的详细描述为示例性和解释性的，并旨在 提供如权利要求书所述的进一步解释。
附图提供对本发明的进一歩理解，其包含在说明书中并构成说明书的一部 分，说明本发明的实施方式并且与说明书一起用于解释本发明的原理。在附图 中
图1A和图1B示出现有技术的柔性显示器的照片； 图2是在现有技术中用于对准玻璃基板的横截面图； 图3是沿着图2的'A'区域的放大视图4是在使用可视照相机观察图3的区域的工艺中的所示图像； 图5是根据实施方式的柔性显示器及用于对准其位置的方法的横截面图6是沿着图5的'B'区域的放大视图7是在使用可视照相机观察图5的'B，区域的工艺中的所示图像； 图8A-图8D是示出根据实施方式形成柔性显示器的对准标记的方法的横 截面图。
具体实施例方式
下面将对本发明的优选实施方式进行详细说明，所述实施方式的实例示于 附图中。在任何可能的情况下，相同的附图标记将在整个附图中用来指示相同 或类似的部件。
在下文中，将参照附图描述根据本发明的柔性显示器。
图5为根据本发明实施方式的柔性显示器及用于对准其位置的方法的横 截面图，图6是沿着图5的'B，区域的放大视图以及图7是使用可视照相机 在观察图6的'B'区域的工艺中的所示图像。
如图5至图7所示，根据实施方式的柔性显示器包括基板300和在基板 300边缘上形成的对准标记形成部分305，其中对准标记形成部分305具有对 准^H己311和透射部分312。通过使对准标记形成部分305中对应于对准标记 311区域之外的区域氧化来形成透射部分312。
荫罩100设置在柔性显示基板300的下方，荫罩100的掩模孔105形成在 对应于对准标记311的区域中，而可视照相机200设置在柔性显示基板300 的上方。
一旦检测到可视照相机400的观察部分并且使用可视照相机200读取柔性 显示基板300的对准标记311，便发现对应于荫罩100的掩模孔105以使荫罩 100和柔性显示基板300对准。
接下来，将有机发光材料的源极设置在荫罩100的下方，然后形成有机发 光层以传输(透过)在柔性显示基板300上的荫罩100的图案。
在这里，正常金属301形成在除对准标记形成部分305之外的区域上而无 需额外的氧化处理。对准标记形成部分305形成在柔性显示基板上非显示区域 的预定部分上，其中非显示部分不显示区域。
图8A-图8D是示出根据实施方式形成柔性显示器的对准标记的平面图和 横截面图。
首先，在柔性显示基板350上形成光刻胶层351。如图8A所示，光刻胶 层351形成同时覆盖上部、下部和侧部的形状。光刻胶351具有该形状的原因 在于为了保护基板，并在柔性显示基板350浸(浸泡)在氧化溶液中以使对应 于对准标记(图8D中的311)周围的透射部分氧化时，防止破坏透射部分(图 8D中的312)之外的部分。
此处，在实施例中，柔性显示基板350由Al或SUS (不锈钢)型或者反 射金属制成。并且，柔性显示基板350的厚度为1(Him 9mm (9000^im)。
光刻胶由诸如酚醛树脂系列等的至少一种亚克力系列制成，光刻胶可以为 正性的或者负性的光敏性。在这种情形下，基于光刻胶的光敏性确定对光刻胶 层构图所需的掩模图像。
如图8B所示，选择性地暴露并显影光刻胶351，从而形成光刻胶图案351a 以^^开预定部分。柔性显示基板350的非显示区域在柔性显示基板350的边缘 处具有对准标记形成部分。通过选择性地去除光刻胶层351以暴露并显影除了 对准标记形成部分的中心部分之外的对应于对准标记形成部分(图8D中的 305)的部分，由此形成光刻胶图案351a。
接下来，烘焙光刻胶图案351a以使其稳定，由此不会在随后的工艺中变 形。
如图8C所示，包括光刻胶图案351a的柔性显示基板380浸在充满氧化溶 液的溶槽500中，而电极502浸在该氧化溶液的另一部分中，然后电流流过柔 性显示基板380与电极502之间的电流计，使柔性显示基板380的打开的对准 标记形成部分305与电极发生氧化还原反应。
通过该氧化还原反应，柔性显示基板350的曝露部分氧化，在实施例中， 在该情形下，柔性显示基板350由Al材料制成，氧化部分变为Al203。如在 图8D中所示，氧化部分示为透明的，因此其用作透射部分312。在对准标记 形成部分中，具有光刻胶图案351a的掩蔽部分保持原样，在使用可视照相机 的观察工艺之后，对准标记形成部分的掩蔽部分用作对准标记311。
对应于柔性显示基板300的厚度，使透射部分312氧化。除非使透射部分 312氧化为小于柔性显示基板300的厚度，否则应达到通过可视照相机能够显 示的状态才完成对对准标记形成部分的氧化。
以上所述的方法是电化学方法，在该情形下，氧化溶液501由草酸、磷酸、 硫酸或包括上述溶液的混合溶液的其中之一形成。
如图8D所示，通过浸在剥离溶液中去除光刻胶图案351a，以选择性地剥
离光刻胶材料。
除了电化学方法之外，电抛光方法作为形成以透射部分形状的对准标记的 方法。电抛光方法是一种减小预定厚度的方法。在该情形下，在电抛光之后， 通过使用可视照相机观察减小部分和未减小部分之间的阶差来观察对准度。并 且通过观察能够使荫罩与柔性显示基板对准。
电抛光方法和电化学方法是可选的，或者电抛光方法与电化学方法一起实施。
此外，除电化学方法或者电抛光之外，可以在对应于透射部分的区域上形 成显示为透明的环氧系列材料。
此外，在图7中的对准标记311的形状可改变为环形或者包括三角形或者 矩形或者星状的多边形。
通过在柔性显示基板上的处理形成根据本发明的包括对准标记的柔性显 示基板，并且包括对准标记的柔性显示基板可使蒸发或沉积的形成层与包括用 于、沉积或者蒸发的图案的荫罩对准。
如上所述，根据本发明的柔性显示器具有以下优点。
首先，在现有技术中柔性显示基板由不透明的金属制成，在后表面上方的 可视照相机不能观察对准位置，从而需要额外的对准装置。在本发明中，柔性 显示基板自身具有由氧化限定的对准标记，从而对准标记可以使柔性显示基板 上的蒸发或沉积的形成层与包括用于沉积或蒸发的图案的荫罩对准，而不需要 额外的外部对准装置。
第二，由于在柔性显示基板中存在对准标记，所以形成有机发光层或者其 它形成层的工艺中，能够简化对准工艺中所需的装置。
显然在不脱离本发明的精神和范围的情况下，本领域的普通技术人员可以 对本发明做出各种改进和变型。因此，本发明意图覆盖所有落入所附权利要求 书及其等效物的范围之内的改进和变型。
权利要求
1.一种柔性显示器，包括限定为显示区域和非显示区域的基板；以及对准标记形成部分，其包括对准标记和在所述对准标记周围的透射部分，其中所述对准标记形成部分形成在所述基板的非显示区域处。
2. 根据权利要求1所述的柔性显示器，其特征在于，所述基板由金属制成，并且在所述透射部分中的基板氧化为金属氧化物。
3. 根据权利要求1所述的柔性显示器，其特征在于，所述透射部分通过 电抛光形成小于所述对准标记的厚度。
4. 根据权利要求1所述的柔性显示器，其特征在于，在所述透射部分上 还包括环氧材料。
5. 根据权利要求1所述的柔性显示器，其特征在于，所述对准标记为环 状或者多边形。
6. 根据权利要求1所述的柔性显示器，其特征在于，所述透射部分之外 的基板由不透明的金属形成。
7. 根据权利要求6所述的柔性显示器，其特征在于，所述基板由铝、不 锈钢系列和包括铝及不锈钢系列的合金中的至少其中之一制成。
8. 根据权利要求1所述的柔性显示器，其特征在于，所述基板具有10pm 至9mm的厚度。
9. 一种形成对准标记柔性显示器的方法，包括在限定为显示区域和非显示区域的基板上涂覆光刻胶层，其中所述非显示 区域具有对准标记形成部分；通过选择性地去除所述光刻胶层以暴露并显影对应于除所述对准标记形 成部分的中心部分之外的那部分所述对准标记形成部分，由此形成光刻胶图 案；以及在所述对准标记形成部分内部的中心部分形成对准标记，并在所述对准标 记的周围形成透明的透射部分。
10. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在形成所述光刻胶图案的 步骤之后，还包括烘焙所述光刻胶图案的步骤。 11. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，形成所述对准标记和透射 部分的步骤包括分别将所述基板浸在充满氧化溶液的溶槽中的其中一侧，并将电极浸在该 溶槽中的另一侧；以及使所述基板的对准标记形成部分与所述电极发生氧化还原还应，并且通过 使用所述光刻胶图案作为掩模来氧化所述透射部分。12. 根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述氧化溶液至少由草 酸、磷酸、硫酸和包括上述溶液的混合溶液的其中之一形成。13. 根据权利要求12所述的方法，其特征在于，还包括通过使用剥离器去除所述光刻胶图案的步骤。14. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，形成所述对准标记和透射部分的步骤包括通过使用所述光刻胶图案作为掩模电抛光所述基板的对准标记形成部分。15. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，形成所述对准标记和透射部分的步骤包括通过使用所述光刻胶图案作为掩模在所述对准标记形成部分上涂覆环氧材料。16. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述基板由铝、不锈钢系列和包括铝或不锈钢系列的合金中的至少其中之一制成。17. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述基板具有10pm到9mm 的厚度。
全文摘要
本发明公开一种柔性显示器及形成该柔性显示器的对准标记的方法，其包括使膜层之间的位置对准所需的对准标记，该柔性显示器包括限定为显示区域和非显示区域的基板的，以及包括对准标记和在对准标记周围的透射部分的对准标记形成部分，其中所述对准标记形成部分形成在基板的非显示区域处。
文档编号G03F9/00GK101097302SQ20071010946
公开日2008年1月2日 申请日期2007年6月21日 优先权日2006年6月30日
发明者全爱暻, 朱仁秀, 金玉姬 申请人:Lg.菲利浦Lcd株式会社