专利名称：去除边缘光刻胶装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种液晶显示面板生产中使用的去除光刻胶装置，尤其是一 种去除边缘光刻胶装置。
背景技术：
液晶显示器(LCD)中主要的显示功能器件为液晶面板，液晶面板结构一 般由上下两层基板对盒而成，中间为液晶层，其显示原理是利用液晶分子具有 的介电各向异性及导电各向异性，在上下两层基板上分别形成有对应电极，从 而在两基板间产生电场，外加电场时使中间液晶分子的排列状态转换，产生各 种光电效应。 一基板上具有矩阵阵列的多个像素电极、另一基板具有公共电 极的LCD在市场中占有主导地位，它通过薄膜晶体管(TFT)作为控制开关， 控制施加到像素电极上电压的不同而产生不同的图像。
图2为薄膜晶体管的结构示意图。如图2所示，薄膜晶体管的制造工艺 首先是在玻璃基板1上形成金属栅极薄膜，栅极薄膜由铝或铝合金通过溅射 沉积形成，经过光刻工序(涂胶、曝光、显影和刻蚀)将栅极薄膜形成栅电 极2和栅极线(未标出来)；其次利用化学气相沉积先后在栅电极2上面依 次沉积绝缘层、半导体层和摻杂半导体层，对半导体层和掺杂半导体层进行 第二次光刻工序形成绝缘层3、半导体层4和掺杂半导体层5;然后在上述结 构上利用溅射工艺形成金属源/漏薄膜(Mo-A1-Mo三层金属组成)，再通过 第三次光刻工序形成金属源/漏结构6，从而形成具有三个端子的薄膜晶体管 (TFT)。
在上述制造工艺的光刻工序中，光刻胶被均匀地涂敷在整个基板表面， 在进入下一工序前,基板边缘的光刻胶要去除掉，否则边缘的光刻胶滴落到后
续单元设备中会形成不良并且影响设备的正常运行，降低稼动率。因此在TFT 的制造工艺中，去除边缘光刻胶装置是影响良品率的一个重要设备。
在传统的去除边缘光刻胶工艺中，基板进入去除边缘光刻胶装置后，由 四个移动喷嘴分四个行程(折返两次)对其边缘处喷化学药液，溶解后通过排 管排出，达到去除光刻胶的效果。传统去除边缘光刻胶装置中，药液从竖直 喷针中喷到基板边缘上，溶解掉光刻胶。同时为防止溶解后的光刻胶滴落到 设备中，在外侧呈45。分布有氮气喷针，最后一个行程启用，把溶解后的光 刻胶吹到排管中排走。实际生产表明，该结构会使45。喷射的氮气和垂直喷 射的药液在最后一个行程同时喷射，当某个或部分喷针出现变形时，气液形 成角度差，容易使化学药液賊射到基板上，产生不良。
发明内容
本发明的目的是提供一种去除边缘光刻胶装置，有效解决现有装置使用 中药液容易溅射到基板上形成不良等技术缺陷。
为了实现上述目的，本发明提供了一种去除边缘光刻胶装置，包括装置 主体，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述 装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学 药液的上喷针和下喷针。
所述上喷针通过上连接件与所述装置主体连接，所述上连接件上设置有 导入化学药液的上药液进口。
所述下喷针通过下连接件与所述装置主体连接，所述下连接件上还设置 有导入化学药液的下药液进口 。
在上述技术方案基础上，所述上喷针与玻璃基板的夹角为30° -60° ， 所述下喷针与玻璃基板的夹角为30° ~60° 。优选地，所述上喷针与玻璃基 板的夹角为45。，所述下喷针与玻璃基板的夹角为45° 。
在上述技术方案基础上，所述上喷针的端部与玻璃基板的垂直距离为lmm~ 1. 5隱，所述下喷针的端部与玻璃基板的垂直距离为lmm~ 1. 5mm。优选 地，所述上喷针的端部与玻璃基板的垂直距离为1.25mm，所述下喷针的端部 与玻璃基板的垂直距离为1.25mm。
在上述技术方案基础上，所述排管内的负压为300pa 800pa。 本发明针对现有装置使用中化学药液容易溅射到基板上形成不良等技术 缺陷，通过改变化学药液的进入管道、喷射方向和设置具有负压力的排管， 提出了一种新型结构的去除边缘光刻胶装置。与现有技术吹氮气的技术方案 相比，本发明技术方案取消现有技术的竖直喷针，不再吹氮气，因此避免了 现有装置使用中出现的气液干涉，减少了化学药液溅射到玻璃基板上形成不 良的几率。本发明将化学药液经倾斜设置的上喷针和下喷针喷出，同时在排 管内设置负压，及时吸走溶解的光刻胶， 一方面可以快速去除光刻胶，另一 方面减少了化学药液的溅射几率，同时节约氮气，降低了生产成本。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
图l为本发明去除边缘光刻胶装置结构示意图； 图2为薄膜晶体管的结构示意图。 附图标记说明
1—玻璃基板； 4一半导体层；
7—装置主体；
10—上药液进口；
14—下药液进口；
2—栅电极； 5—掺杂半导体层; 8—排管口； ll一上喷针； 15—下连接件；
3—绝缘层； 6—源/漏结构； 9—上连接件； 13—下喷针； 16—排管。
具体实施例方式
图1为本发明去除边缘光刻胶装置结构示意图。如图1所示，去除边缘
光刻胶装置包括装置主体7，装置主体7内设置有产生负压的排管16，排管 16的上部为排管口 8，玻璃基板l水平放置，端部伸入排管口 8内，使玻璃 基板1边缘的残液从排管口 8吸入，该残液包括溶解的光刻胶和残余的化学 药液。装置主体7上还固接有上连接件9和下连接件15,上连接件9的上端 与导入化学药液的上药液进口 10固接，下端设置有以a角向玻璃基板1的 端部喷射化学药液的上喷针11;下连接件15的下端与导入化学药液的下药 液进口 14固接，上端设置有以a角向玻璃基板1的端部喷射化学药液的下 喷针13。其中a角为上喷针11或下喷针13与玻璃基板1表面形成的夹角。 工作时，玻璃基板1通过搬运臂使之位于本发明去除边缘光刻胶装置的 工作位置，位于玻璃基板1上部的上喷针11和位于玻璃基板1下部的下喷针 13分别向玻璃基板1的端部喷射化学药液，以溶解玻璃基板1端部的光刻胶， 溶解后的光刻胶和残余的化学药液被具有负压吸力的排管口 8吸入，并通过 排管16排出，达到去除光刻胶的目的。完成后，再通过搬运臂将玻璃基板运 至传送位置等待进入下一步工位。由于上喷针11和下喷针13均设置成倾斜 状，与玻璃基板1形成夹角a ，所以化学药液也以倾斜方向向玻璃基板1的 端部喷射，本实施例中，夹角a为30°~60°。当夹角a为30°时，喷射的化 学药液和溶解后的光刻胶能快速被排管口 8吸走，不会出现化学药液溅射到 基板上形成不良情况；当夹角a为60°时，喷射的化学药液具有较大的冲击 压力，能快速将玻璃基^L 1端部的光刻胶去除，清除效率高。同时，为了保 证去除玻璃基板端部光刻胶的效果，上喷针11的端部与玻璃基板1的垂直距 离为lmm~ 1. 5mm，下喷针13的端部与玻璃基板1的垂直距离为lmm 1. 5mm。 优选的夹角a为45°，喷针端部与玻璃基板的垂直距离为1.25mm,使快速去 除光刻胶和及时吸走溶解的光刻胶实现有机的结合，最大限度地发挥本发明 的作用。
与现有技术吹氮气的技术方案相比，本发明上述技术方案对装置结构进 行了重新设计，取消现有技术的竖直喷针，不再吹氮气，因此避免了现有技术
出现的气液干涉，减少了化学药液賊射到玻璃基板上形成不良的几率。本发 明将化学药液经倾斜设置的上喷针和下喷针喷出，同时在排管内设置负压，
及时吸走溶解的光刻胶，在实际生产中，排管内的负压为300pa 800pa，视 去除光刻胶情况，可以通过调整排管162内的负压力最大限度地防止化学药 液滴落到玻璃基板上或设备中。同时，可以通过调整喷射速度(流量)和调 整上、下喷针角度适应生产需要。本发明一方面可以快速去除光刻胶，另一 方面在减少不良的同时节约氮气，P争低了生产成本。
最后应说明的是以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制， 尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当 理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技 术方案的精神和范围。
权利要求
1.一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，其特征在于，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针。
2. 根据权利要求1所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述上喷 针通过上连接件与所述装置主体连接，所述上连接件上设置有导入化学药液 的上药液进口。
3. 根据权利要求1所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述下喷 针通过下连接件与所述装置主体连接，所述下连接件上还设置有导入化学药 液的下药液进口。
4. 根据权利要求1 ~ 3中任一权利要求所述的去除边缘光刻胶装置，其特 征在于，所述上喷针与玻璃基板的夹角为30° ~60° ,所述下喷针与玻璃基 板的夹角为30° ~60° 。
5. 根据权利要求4所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述上喷 针与玻璃基板的夹角为45° ，所述下喷针与玻璃基板的夹角为45° 。
6. 根据权利要求1 ~ 3中任一权利要求所述的去除边缘光刻胶装置，其特 征在于，所述上喷针的端部与玻璃基板的垂直距离为lmm 1.5mm，所述下喷 针的端部与玻璃基板的垂直距离为lmm~ 1. 5mtn。
7. 根据权利要求6所述的去除边缘光刻胶装置，其特征在于，所述上喷 针的端部与玻璃基板的垂直距离为1.25隱，所述下喷针的端部与玻璃基板的 垂直距离为1. 25mm。
8. 根据权利要求1 ~ 3中任一权利要求所述的去除边缘光刻胶装置，其特 征在于，所述排管内的负压为300pa 800pa。
全文摘要
本发明涉及一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针。本发明通过改变化学药液的进入管道、喷射方向和设置具有负压力的排管，避免了现有装置使用中出现的气液干涉，减少了化学药液溅射到玻璃基板上形成不良的几率，同时节约氮气，降低了生产成本。
文档编号G03F7/42GK101373341SQ200710120730
公开日2009年2月25日 申请日期2007年8月24日 优先权日2007年8月24日
发明者宋瑞涛, 张学智, 张荣军, 王晏酩, 苏九端, 郑铁元, 陈祥麟 申请人:北京京东方光电科技有限公司