专利名称：Lcd曝光机球座浮动升降平衡装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及LCD曝光机设备，具体地说，涉及一种LCD曝光机球座浮动升降平衡 装置。
背景技术：
目前，传统的LCD曝光机，由于料件加工及组装误差的缘故，容易导致其球座的两平 面接触贴合不良，从而影响到曝光品质。 实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种曝光品质好的LCD曝光机球座浮动升降 平衡装置。为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下技术方案本实用新型的LCD曝光机球座浮动升降平衡装置，包括吸附平台、定位销、定位座、 光罩玻璃，所述光罩玻璃设在吸附平台的上面，吸附平台与定位座通过定位销活动连接， 其特征在于还包括第一吸附球座、第二吸附球座，所述第一吸附球座固定在吸附平台的 底面上，第二吸附球座位于第一吸附球座下方，该第一吸附球座与第二吸附球座浮动接触， 所述第二吸附球座与定位座连接固定。所述第二吸附球座与第一吸附球座浮动接触的一面为一凹球面，所述第一吸附球座与 第二吸附球座相配合的面为一凸球面。由于采用了上述结构，本实用新型的第一吸附球座固定在吸附平台的底面上，第二吸 附球座位于第一吸附球座下方，该第一吸附球座与第二吸附球座浮动接触，其中第二吸附 球座与第一吸附球座浮动接触的一面为一凹球面，第一吸附球座与第二吸附球座相配合的 面为一凸球面，即它们是通过两凹凸球面浮动接触，且两球面加工时配套了磨合加工，从 而保证了加工质量，从而本实用新型使吸附平台与光罩玻璃能够实现更好的密合贴附，在 升降过程中采用髙真空固定，吸附平台与光罩玻璃接触时切换至低真空能让第二吸附球座 与第一吸附球座浮动，从而使吸附平台与光罩玻璃很好的贴合，从而大大地提高了曝光机 的曝光品质；此外，本实用新型结构简单、加工容易，易形成批量生产。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明。图1为本实用新型LCD曝光机球座浮动升降平衡装置的结构示意图。图2为本实用新型LCD曝光机球座浮动升降平衡装置的第一吸附球座的示意图。图3为本实用新型LCD曝光机球座浮动升降平衡装置的第二吸附球座的示意图。
具体实施方式
如图1、 2、 3所示，它是本实用新型LCD曝光机球座浮动升降平衡装置的结构示意图。 一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置，包括吸附平台1、定位销2、定位座3、光罩玻 璃4,其中曝光照射是照射在光罩玻璃4上，所述光罩玻璃4设在吸附平台1的上面，吸 附平台1与定位座3通过定位销2活动连接，其特征在于还包括第一吸附球座5、第二 吸附球座6,所述第一吸附球座5固定在吸附平台1的底面上，第二吸附球座6位于第一 吸附球座5下方，该第一吸附球座5与第二吸附球座6浮动接触，所述第二吸附球座6 与定位座3连接固定。所述第二吸附球座6与第一吸附球座5浮动接触的一面为一凹球面 61,所述第一吸附球座5与第二吸附球座6相配合的面为一凸球面51。如图2所示，它是本实用新型LCD曝光机球座浮动升降平衡装置的第一吸附球座的示 意图。从图中可看到第一吸附球座5和凸球面51。如图3所示，它是本实用新型LCD曝光机球座浮动升降平衡装置的第二吸附球座的示 意图。从图中可看到第二吸附球座6和凹球面61。本实用新型使用时，第一吸附球座5与第二吸附球座6浮动接触，其中第二吸附球座 6与第一吸附球座5浮动接触的一面为凹球面61,第一吸附球座5与第二吸附球座6相配 合的面为凸球面51,即它们是通过两凹凸球面浮动接触，且两球面加工时配套了磨合加 工，从而保证了加工质量，从而本实用新型使吸附平台1与光罩玻璃4能够实现更好的密 合贴附，在升降过程中采用髙真空固定，吸附平台l与光罩玻璃4接触时切换至低真空能 让第二吸附球座6与第一吸附球座5浮动，从而使吸附平台1与光罩玻璃4很好的贴合， 从而大大地提高了曝光机的曝光品质，实现本实用新型的功效。总之，本实用新型虽然例举了上述优选实施方式，但是应该说明，显然本领域的技术 人员可以进行各种变化和改型。因此，除非这样的变化和改型偏离了本实用新型的范围， 否则都应该包括在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1. 一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置，包括吸附平台(1)、定位销(2)、定位座(3)、光罩玻璃(4)，所述光罩玻璃(4)设在吸附平台(1)的上面，吸附平台(1)与定位座(3)通过定位销(2)活动连接，其特征在于还包括第一吸附球座(5)、第二吸附球座(6)，所述第一吸附球座(5)固定在吸附平台(1)的底面上，第二吸附球座(6)位于第一吸附球座(5)下方，该第一吸附球座(5)与第二吸附球座(6)浮动接触，所述第二吸附球座(6)与定位座(3)连接固定。
2、 根据权利要求1所述的LCD曝光机球座浮动升降平衡装置，其特征在于所述第 二吸附球座(6)与第一吸附球座(5)浮动接触的一面为一凹球面(61)，所述第一吸附 球座(5)与第二吸附球座(6)相配合的面为一凸球面(51)。
专利摘要本实用新型公开了一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置，包括吸附平台、定位销、定位座、光罩玻璃，所述光罩玻璃设在吸附平台的上面，吸附平台与定位座通过定位销活动连接，其特征在于还包括第一吸附球座、第二吸附球座，所述第一吸附球座固定在吸附平台的底面上，第二吸附球座位于第一吸附球座下方，该第一吸附球座与第二吸附球座浮动接触，所述第二吸附球座与定位座连接固定。由于采用了上述结构，本实用新型曝光品质好，结构简单、加工容易，易形成批量生产。
文档编号G03F7/20GK201122231SQ200720054209
公开日2008年9月24日 申请日期2007年7月17日 优先权日2007年7月17日
发明者夏卫平 申请人:志圣科技(广州)有限公司