专利名称：：平坦化片及使用它的滤色器的制造方法
技术领域：
：本发明涉及平坦化片以及使用上述平坦化片的滤色器的制造方法，该平坦化片用于通过《吏其与构成滤色器的至少一部分被着色的透明树脂层的表面接触，将上述透明树脂层的表面平坦化。
背景技术：
：在液晶显示器(LCD)等平板显示器中使用的滤色器是通过在透明的基板上使条紋图案对应每个像素规则整齐地排列并印刷，形成透明树脂层而制造的，所述条紋图案是由着色为对应于构成上述液晶显示器等的红(R)、绿(G)、及蓝(B)的各像素的所述各色的透明油墨而形成的。但是，利用各种印刷法将着色为上述各色的透明油墨进行印刷形成的各色条紋图案，都由于透明油墨的表面张力，使得其表面形成为在条紋的两端侧低、在中央部高的突出形状，因此，作为各色的条紋图案集合体的透明树脂层的表面，就形成了对应于上述条紋图案的突出形状的凹凸形状，存在如下问题由于上述凹凸引起光的漫反射，显示的对比度降低，或例如在LCD的情况时发生液晶的响应不均。因此，为了使在基板上形成的透明树脂层的表面平坦化，进行了各种技术探讨。例如，在日本专利公开公报JP62-280804A(1987)、JP03-156419A(1991)中记载了如下内容在使用电子束固化型、紫外线固化型等透明油墨作为成为上述条紋图案原料的透明油墨的同时，使用上述透明油墨，在印刷了各色条紋图案而形成的透明树脂层上，重合膜、玻璃基板等平板状的挤压部件进行挤压，由此以对上述透明树脂层的表面进行平坦化后的状态，照射电子束或紫外线使透明油墨固化后，剥离上述挤压部件。此外，在JP03-154003A(1991)中记栽了如下内容利用热固化性的透明油墨形成条紋图案并使其热固化后，在由上述各色的条紋图案形成的透明树脂层上，以重合作为挤压部件的膜的状态，利用大气压对上述膜均匀地加压，由此将上述透明树脂层的表面平坦化。但是，在这些的文献中记载的使用平板状的挤压部件进行平坦化的方法中，在将上述挤压部件重合于透明树脂层的表面时，容易在两者之间残留气泡，在未除去残留气泡的情况下进行平坦化处理时，有在平坦化后的透明树脂层的表面残留气泡痕迹的缺陷的问题。为此，在例如JP03-156419A(1991)中记栽了如下内容为了不使气泡残留，详细规定了将作为挤压部件的玻璃基板重合在透明树脂层的表面的工序，但是为了实施上述工序，必须使用上述文献的图中记载的那样的专用装置，来进行谨慎操作，为此存在滤色器的生产性变低，成本增高的问题。另一方面，在H02-297502A(1990)中记栽了如下内容4吏在基板的表面利用平版胶印印刷法印刷条紋图案时所使用的在外周面上巻绕有胶印胶布的辊的、上述胶印胶布的表面与印刷后的透明树脂层表面接触，在该状态下使上述辊在上述透明树脂层上滚动，由此将透明树脂层的表面平坦化。此外，在H08-075914A(1996)中记载了如下内容在上述透明树脂层上，印刷了不含有着色剂的透明油墨后，使用在外周面实施了脱模处理的金属辊，与上述同样地进行平坦化。进而，在H08-234013A(1996)中记载了如下内容一边将成为条紋图案原料的透明油墨直接供给到在外周面实施了脱模处理的辊的上述外周面上，一边使上述辊在基板上滚动，由此将供给的透明油墨印刷于基板的表面而形成条紋图案的同时，进行平坦化。在上述这些文献中记栽的使用辊进行平坦化方法中，可以使上述辊依次在透明树脂层上边滚动边使上述透明树脂层的表面平坦化，因此难以发生由于气泡的残留而引起缺陷的问题。然而，作为辊，在使用与在H02-297502A(19卯)中记栽的利用平版胶印印刷法来印刷条紋图案时所使用的相同的巻绕了胶印胶布的辊的情况下，考虑到上述胶印胶布可以良好地接受来自版的透明油墨，并良好地转印到基板的表面，设定了其表面对于透明油墨的润湿性、作为整体的柔软性等特性，因而存在如下问题在平坦化时形成透明树脂层的透明油墨在胶印胶布的表面反转印，在透明树脂层上产生凹部等缺陷，或透明树脂层容易被破坏，而难以将透明树脂层的整体均匀平坦化。并且，在使用H08-075914A(1996)、H08-234013A(1996)中记载的将外周面脱模处理后的金属辊等时，上述金属辊等反而过硬，不能柔顺地适应于透明树脂层的厚度偏差等，因此仍然存在透明树脂层的整体还是难以均匀地平坦化的问题。并且，也存在如下问题上述金属辊等的外周面的脱模处理变差，在形成透明树脂层的透明油墨变得容易反转印于上述外周面时，必须进行整体替换。因此，本发明人进行了如下研究使与透明树脂层的表面接触的接触面在防止形成透明树脂层的透明油墨的反转印的特性方面优异，并且作为整体，具有适合于平坦化上述透明树脂层的适度的柔软性的平坦化片，可替换地巻绕于上述辊的外周面，用于平坦化。然而，也明确了以下内容作为上述平坦化片，使用在具有和以往的胶印胶布同样的结构的同时，仅稍微调整了接触面对于透明油墨的润湿性、作为整体的柔软性等特性的平坦化片的情况下，特别是将平坦化片巻绕并固定于辊的外周面时，在两者之间夹持有异物等时，上述异物的形状作为突起明显存在于平坦化片的接触面上，在平坦化后的透明树脂层上，容易产生对应于上述突起的凹部等缺陷。
发明内容本发明的目的在于提供一种平坦化片，其可以将透明树脂层的整体均匀地平坦化，同时可以防止形成上述透明树脂层的透明油墨发生反转印，并且难以发生由于异物的混入所引起的透明树脂层的缺陷。并且，本发明的目的还在于提供使用了上述平坦化片的滤色器的制造方法。本发明的平坦化片，其特征为，从使与透明树脂层的表面接触的接触面起朝向反面，依次层压有构成所述接触面的脱模层、基材层、弹性层，所述脱模层的接触面的表面张力(231C)为30mN/m以下，并且所述接触面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为20nm以下；所述基材层的位于所述脱模层侧的面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为50nm以下；同时，所述弹性层的弹性^lt(23X:)为0.520MPa,厚度为(U5mm。根据本发明，依次层压的各层中，脱模层的接触面的表面张力(23"C)为30mN/m以下，由此可以防止形成透明树脂层的透明油墨向上述接触面进行反转印。并且，在使基材层的脱模层侧的面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为50nm以下，同时使在上述面上形成的脱模层的接触面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为20nm以下，由此可以提高上述脱模层的表面平滑性，提高平坦化的透明树脂层的表面平滑性。而且，根据本发明，将弹性层的弹性模数()设定为0.520MPa，厚度设定为0.15mm，由此可以赋予平坦化片的整体以适合于对透明树脂层进行平坦化的适度柔软性。并且，将上述平坦化片巻绕并固定于辊的外周面时，在两者之间夹持有异物等时，可以吸收上述异物形状，抑制在接触面上对应于上述形状的突起的显著化，防止在平坦化的透明树脂层发生对应于上述突起的凹部等缺陷。本发明的平坦化片优选用于以接触面朝向外侧而巻绕于辊的外周面的状态，使接触面与透明树脂层的表面接触，使辊在上述透明树脂层上滚动，从而将上述透明树脂层的表面平坦化。由此，如上述说明的那样，由于可以使辊依次在透明树脂层上一边滚动，一边使上述透明树脂层的表面平坦化，因此可以使由于气泡的残留所引起的缺陷问题难以发生。优选脱模层厚度为30pm以下。若脱模层的厚度为30pm以下，则赋予平坦化片的整体以适合于对透明树脂层进行平坦化的适度柔软性的效果能够进一步提高。并且，优选基材层的拉伸弹性模数(23X:)为100MPa以上，厚度为50~500nm。若基材层的拉伸弹性模数(231C)为100MPa以上，则可以提高平坦化片的面方向的拉伸强度，防止在将上述平坦化片以一定张力巻绕并固定于辊的外周面等时，脱模层不能追随面方向的延伸而剥离、或发生破裂。并且，若基材层的厚度为50~500nm，则可以对平坦化片赋予用于巻绕在辊的外周面的适度的追随性以及用于不发生简单折曲等的适度的韧性。本发明的滤色器的制造方法，其特征为，包含以下工序在基板的表面形成至少一部分被着色的透明树脂层的工序；使以接触面朝向外侧而巻绕于辊的外周面的本发明的平坦化片的上述接触面，与上述透明树脂层的表面接触，在该状态下，使上述辊在透明树脂层上滚动，由此将上述表面平坦化的工序。根据本发明，为了将透明树脂层平坦化，使用巻绕有上述本发明的平坦化片的辊，因而没有发生形成透明树脂层的透明油墨的反转印，或由于异物的混入所引起的透明树脂层的缺陷，可以将透明树脂层的整体均匀地平坦化。为此，可以制造出具有没有上述缺陷等、且表面平滑的透明树脂层的滤色器。图l是显示使用了本发明的平坦化片的本发明的滤色器的制造方法的工序的一例的剖面图。图2是显示了接着图1的工序的一例的剖面图。具体实施例方式本发明的平坦化片，从与透明树脂层的表面接触的接触面起朝向反面，依次层压有构成上述接触面的脱模层、基材层、弹性层。上述脱模层是构成与透明树脂层的表面接触的接触面的层，所述接触面的表面张力(23X:)必须为30mN/m以下。当接触面的表面张力超过30mN/m时，脱模层从透明树脂层的脱模性降低，在平坦化时，会发生如下问题形成透明树脂层的透明油墨反转印到接触面上，在透明树脂层产生凹部等缺陷，或透明树脂层被破坏。另外，考虑到进一步确实地防止发生透明树脂层向接触面的反转印，优选上述接触面的表面张力(23X:)为5~25mN/m,特别优选10~20mN/m。并且，脱模层优选利用后述的涂布法等形成，此时若利用接触面的表面张力(23"C)可达到上述范围的材料来形成脱模层，则也可以确保上述脱模层对于基材层的密合性，抑制脱模层由于剥离而在早期失去，从而实现延长平坦化片的寿命。脱模层的表面张力Ys(23t:)用作为Fowkes理论的扩张的OwensandWendt法求出的值来表示。即，在温度23tl的测定环境下，在作为测定对象的脱模层的表面滴加表面张力W、上述表面张力的分散成分YJ、极性成分化P已知的溶剂的液滴，使用KyowaInterfaceScienceCo.,Ltd.制造的全自动接触角测量仪DM700进行测定，由上述溶剂的接触角e(。)、上述表面张力YL、分散成分n"、和极性成分YlP根据式(1):h(l+Cos0)=2(YsdyLd)1/2+2"spYLp)1/2(1)求出上述脱模层表面的表面张力Ys的分散成分Ysd、极性成分YsP，由上述分散成分Ys11、极性成分YsP，进一步根据式(2):ys"sd+ysp(2)求出脱模层的表面张力Ys(23"C)。脱模层可以利用可形成表面张力在上述范围内的层的各种材料形成，但为了实现提高上述脱模层的耐久性、延长平坦化片的寿命而特别优选利用硅酮树脂、氟树脂等表面能小的树脂来形成。脱模层可利用如下涂布法形成将含有上述树脂或其前体的涂布液涂布于基材层的单面后，使其干燥，或在含有前体时，使上述前体反应生成树脂。并且，脱模层的上述接触面按照日本工业标准JISB0601:2001[制品的几何特性方法(GPS)-表面性状轮廓曲线方式-用语、定义以及表面性状参数(与IS04287:1997—致)规定的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra必须为20nm以下。算术平均粗糙度Ra超过20nm时，由于脱模层的表面平滑性降低，因此压合上述表面而平坦化的透明树脂层的表面上，转印脱模层的表面形状，由此透明树脂层的厚度产生不均。为此，将具有上述透明树脂层的滤色器组装到例如LCD等时，产生如下问题对应于透明树脂层厚度的不均，显示时发生浓度不均，图像质量降低。另外，若考虑尽可能减小透明树脂层的厚度不均，进一步提高LCD等显示的图像质量，优选脱模层的表面的算术平均粗糙度Ra为15nm以下，特别优选10nm以下。并且，若考虑进一步提高上述效果，则优选算术平均粗糙度Ra尽可能的小，还可以包括其下限到达0nm。但是，利用涂布法所形成的脱模层表面的算术平均粗糙度Ra，若考虑到以下事项在实际上难以实现等，则优选脱模层的表面算术平均粗糙度Ra为3nm以上，特别优选5nm以上，所述难以实现的事项为受到作为基底的基材层的形成脱模层的面的表面状态的影响，以及将上述基材层的形成脱模层的面精加工成粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为Onm的、没有凹凸的完全平滑的面，为了将利用涂布法所形成的脱模层的表面算术平均粗糙度Ra调整到上述范围，如上所述由于脱模层表面的表面状态受到作为基底的基材层的形成脱模层的面的表面状态的影响，因此将上述基材层的面尽可能地平滑精加工是重要的。另外，如下内容也是重要的利用涂布法形成脱模层时，例如釆用使用了其外周面被研磨精加工后的涂布棒的刮棒涂布法(barcoat)、喷涂法等尽可能使表面形成平滑的涂膜的涂布方法，或根据需要，将形成后的脱模层的表面研磨精加工。脱模层的表面的算术平均粗糙度Ra由使用彩色三维激光扫描显微镜[基恩士公司制造的VK-9700],进行非接触三维测定(Noncontact3Dmeasurement)得到的结果，根据上述说明的JIS标准计算出的值来表示。脱模层的厚度为30pm以下，特别优选为15|nm以下。厚度超过上述范围时，平坦化片的整体变软，平坦化时不能向透明树脂层施加均匀的压力，因此不能将上述透明树脂层均勻地平坦化。并且，平坦化时，脱模层向剪切方向移动，从而其表面的平滑性降低，透明树脂层的厚度产生不均，或根据情况有时会发生形成上述透明树脂层的透明油墨向脱模层表面反转印。另外，脱模层的厚度优选0.5jim以上，特别优选lpm以上。这是由于厚度低于上述范围时，有时不能充分获得因设置脱模层而防止形成透明树脂层的透明油墨发生反转印的效果。将上述脱模层的一部分用丙酮溶解剥离，以与未剥离部分之间产生阶梯差的状态，将上述阶梯差的高度，用先前说明的彩色三维激光扫描显微镜[基恩士公司制造的VK-9700，进行非接触三维测定(Noncontact3Dmeasurement)得到的值来表示脱模层的厚度。基材层支撑着其上下的脱模层和弹性层，所述基材层主要是如下的层用于提高平坦化片的整体的面方向的拉伸强度，同时赋予上述平坦化片以用于巻绕在辊的外周面的适度的追随性以及用于不简单地折曲的适度韧性。上述基材层的拉伸弹性模数(23C)为lOOMPa以上，特别优选为200MPa以上。拉伸弹性模数(231C)低于上述范围，则平坦化片的面方向的拉伸强度不足，将上述平坦化片以一定的张力巻绕并固定于辊的外周面等时，脱模层不能追随面方向的延伸存在剥离、产生破裂的危险。另外，拉伸弹性模数(23X:)的上限没有特别限定，为了维持用于巻绕辊的外周面的适度追随性，优选基材层的拉伸弹性模数(231C)为lOMPa以下，特别优选5MPa以下。基材层的拉伸弹性模数以在温度23X:的测定环境下，根据日本工业规格JISK6251:2004[硫化橡胶以及热塑性橡胶-拉伸特性的求法](修正了IS037:1994)测定的值来表示。基材层可以利用可形成拉伸弹性模数在上述范围内的层的各种材料形成。作为上述基材层，优选使用尤其是聚对苯二甲酸乙二酯(PET)等聚酯系树脂的膜、尼龙等聚酰胺系树脂的膜、Kapton(注册商标)等全芳香族聚酰亚胺树脂的膜等所谓工程塑料的膜。并且，作为基材层，也可以使用铝、镍、不锈钢、铁、铜等金属箔或薄板。基材层的厚度优选50500nm，特别优选75350pm。厚度低于上述范围时，不能赋予平坦化片以用于不发生简单折曲的适度的韧性，而超过上述范围时，不能赋予平坦化片以用于巻绕在辊的外周面的适度追随性，因此在上述任何一种情况下，存在以一定张力将上述平坦化片巻绕并固定于辊的外周面等时的操作性降低的危险。基材层的厚度以使用千分尺(例如三丰林式会社制造的防水型数码千分尺"CoolantProofMicrometer"等)测定的值来表示。基材层的脱模层侧的面按照日本工业标准JISB0601:2001[制品的几何特性方法(GPS)-表面性状轮廓曲线方式-用语、定义及表面性状参数〗(与IS04287:1997—致)规定的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra必须为50nm以下。算术平均粗糙度Ra超过50nm时，由于在其表面利用涂布法形成的脱模层的接触面的算术平均粗糙度Ra超过了先前说明的20nm以下的范围，因此产生LCD等的图像质量降低的问题。另外，若考虑脱模层的表面的算术平均粗糙度Ra在先前说明的适当范围，则基材层的脱模层侧的面的算术平均粗糙度Ra为15nm以下，特别优选10nm以下。并且，若考虑尽可能地减小脱模层的表面的算术平均粗糙度Ra，则优选基材层的脱模层侧的面的算术平均粗糙度Ra越小越好，也可包括其下限达到Onm。但是，如先前说明那样，若考虑到基材层的生产性等，则形成基材层的脱模层的面精加工成粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为Onm的、没有凹凸的平滑的面实际上是困难的，考虑到上述生产率等，则算术平均粗糙度Ra优选3nm以上，特别优选5nm以上。为了将基材层的形成脱模层的面的算术平均粗糙度Ra调整到上述范围内，例如上述基材层为金属的箔或薄板等时，对其表面进行研磨等精加工成平滑的即可。并且，当基材层为所谓的工程塑料的膜等时，可以调整例如挤压成型、延伸等制造膜的各工序的条件，或者研磨制造的膜的表面，精加工成平滑即可。基材层的形成脱模层的面的算术平均粗糙度Ra,由使用先前说明的彩色三维激光扫描显微镜[基恩士公司制造的VK-9700],进行非接触三维测定(Noncontact3Dmeasurement)得到的结果，根据先前说明的JIS标准计算出的值来表示。弹性层作为緩冲层是如下的层在平坦化时，在对透明树脂层施加均匀压力的同时，将平坦化片巻绕并固定于辊的外周面时，在两者之间夹持有异物等的情况下，可以吸收上述异物的形状，抑制作为突起在平坦化片接触面上明显存在，防止在平坦化后的透明树脂层发生对应于上述突起的凹部等缺陷，弹性模数(23t:)必须为0.520MPa，厚度必须为0.1~5mm。当弹性层的弹性模数(23X:)低于0.5MPa或者厚度超过5mm时，平坦化片的整体变得过软，在平坦化时，不能对透明树脂层施加均勻的压力，因此不能将上述透明树脂层均匀地平坦化。另一方面，当弹性模数(23匸)超过20MPa或者厚度不足O.lmm时，将平坦化片巻绕并固定于辊的外周面时，在两者之间夹持有异物等的情况下，不能充分吸收上述异物的形状，上述异物的形状作为突起明显存在于平坦化片的接触面，在平坦化后的透明树脂层发生对应于上述突起的凹部等缺陷。另外，考虑到下述的均衡，即对平坦化片的整体赋予适度的柔软性，在平坦化时，对透明树脂层施加均匀的压力；以及在夹持有异物等时，充分吸收上述异物的形状，抑制作为突起明显存在于平坦化片的接触面上，并且考虑形成没有缺陷且均匀平坦化的透明树脂层，则优选弹性层的弹性模数(23'C)为0.815MPa，厚度优选为0.1250.35mm。弹性层可以利用满足上述特性的各种材料来形成，特别优选利用发泡或者非发泡的橡胶、软质树脂来形成。弹性层的弹性模数在温度23X:的测定环境下，以根据先前说明的日本工业规格JISK6251:2004[硫化橡胶及热塑性橡胶拉伸特性的求法(修正了IS037:1994)测定的值来表示。并且，厚度也是以使用先前说明的千分尺(例如三丰林式会社制造的防水型数码千分尺"CoolantProofMicrometer"等)测定的值来表示。本发明的平坦化片可以仅用上述脱模层、基材层、及弹性层这3层形成，还可以在上述各层间存在例如粘附层等。并且，也可以形成为由脱模层、基材层、以及弹性层的各层分别满足先前说明的各特性的2层以上的层形成的层压结构。仅由上述3层构成的平坦化片可通过如下制造例如，在基材层的单面涂布成为脱模层原料的涂布液，然后如先前说明那样，使其干燥以至反应形成脱模层，同时在上述基材层的相反面涂布成为弹性层的原料的橡胶或软质树脂用溶剂溶解后的液状或糊状的糊剂，使其干燥，进而根据需要进行固化反应形成弹性层。图1、2显示了使用上述本发明的平坦化片的本发明的滤色器的制造方法的工序的一例的剖面图。参照图1，在该例子的制造方法中，首先在玻璃基板等基板1上，对应每个像素规则整齐地排列并印刷条紋24形成透明树脂层5，所述条紋24是由着色为对应于红(R)、绿(G)、以及蓝(B)的各种像素的上述各色的透明油墨而形成的。然后，参照图2，使在外周面巻绕有本发明的平坦化片6的辊7，以上述平坦化片6的接触面与印刷后的透明树脂层5的表面接触的状态，将上述辊7如图中实线的箭头以及空心箭头所示那样在上述透明树脂层5上滚动，由此将透明树脂层5平坦化，就可制造出滤色器。在图1的工序中，作为用于在基板1上印刷条紋图案24的印刷法，可任意采用例如凹版胶印印刷法、平版胶印印刷法、筛网印刷法等以往公知的各种印刷法，特别优选釆用凹版胶印印刷法。在凹版胶印印刷法中，可使用具有对应于条紋图案的形状的凹部的凹版和在外周面巻绕有胶印胶布的辊的凹版胶印印刷机。其次，在上述凹版的凹部填充着色为上述各色的透明油墨后，以胶印胶布的表面与凹版的表面接触的状态，使上述辊在上述凹版上滚动，由此将凹部内的透明油墨以条紋图案转印于胶印胶布的表面，然后以上述胶印胶布的表面与基板表面接触的状态，使上述辊在上述基板上滚动，由此可以将上述条紋图案转印在基板的表面，就可以在上述基板的表面印刷对应于凹版的凹部的条紋图案。根据上述凹版胶印印刷法，具有如下优点可以将在凹版的表面通过例如照相平版法等形成的对应于高精度的图案的由透明油墨形成的条紋图案，重现性良好地印刷在基板的表面。也可以实施如下工序为了使用凹版胶印印刷机和本发明的平坦化片，将印刷后的透明树脂层平坦化，在凹版胶印印刷机上安装了巻绕有上述胶印胶布的辊以外，还安装了巻绕有平坦化片的辊，交替实施利用前者的辊的印刷工序和利用后者的辊的平坦化工序。并且，也可以如下实施平坦化工序辊仅为l根，在印刷工序结束后的辊上巻绕本发明的平坦化片代替胶印胶布。实施例1作为基材层，准备其两面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为11.5nm、拉伸弹性模数(23X:)为210MPa、厚度为100pm的PET膜[东丽林式会社制造的T60。然后，将上述PET膜的切成纵向300mmx横向400mm的矩形形状，在其单面的矩形两长边侧的边缘分别黎贴缝补胶带(mendingtape)，同时以PET膜上述单面朝上固定于平盘上的状态，将上述缝补胶带用作厚度的导向装置(guide),使用直径12mm的不锈钢制且外周面研磨精加工后的涂布棒，利用刮棒涂布法，在上述单面涂布成为脱模层的原料的硅酮树脂系涂布液[信越化学公司制造的注册商标SEPA-COAT，单独固化物的表面张力(23n):16mN/m后，在洁净烘箱内进行100"Cxio分钟的加热，使涂布液干燥同时使珪酮树脂发生固化反应形成脱模层。上述脱模层的表面的表面张力(23T)为16mN/m，粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为8.7nm,厚度为lpm。将上述PET膜以与形成脱模层的一侧相反面朝上置于平盘上，在矩形的4边的边缘，分别放置不锈钢棒，形成高度500nm的提，同时以PET膜固定于平盘上的状态，将上述不锈钢棒用作厚度的导向装置，使用直径12mm的不锈钢制且外周面研磨精加工后的涂布棒，利用刮棒涂布法，在上述相反面涂布成为弹性层的原料的铸型用尿烷树脂[日立化学公司制造的KU-5550-9,单独固化物的弹性模数(23"C):5.3MPa]后，在洁净烘箱内进行40*Cx5分钟的加热，使尿烷树脂固化形成弹性层，制造实施例1的平坦化片。上述弹性层的弹性模数(23"C)为5.3MPa，厚度为0.65mm。实施例2除了使用以重量比40:60的比例配合了信越化学公司制造的注册商标SEPA-COAT和同一公司制造的KS-830[单独固化物的表面张力(23L):38mN/m作为成为脱模层的原料的硅酮树脂系的涂布液以外，其余和实施例1同样，制造实施例2的平坦化片。上述脱模层的表面的表面张力(23n)为28mN/m,粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为8.7nm,厚度为lpm。比较例1除了使用以重量比20:80的比例配合了信越化学公司制造的注册商标SEPA-COAT和同一公司制造的KS-830作为成为脱模层的原料的硅酮树脂系的涂布液以外，其余和实施例1同样，制造比较例1的平坦化片。上述脱模层的表面的表面张力(23匸)为32mN/m，粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为8.7nm，厚度为lpm。比较例2除了单独使用信越化学公司制造的KS-830作为成为脱模层的原料的硅酮树脂系的涂布液以外，其余和实施例1同样，制造比较例2的平坦化片。上述脱模层的表面的表面张力(23X:)为38mN/m，粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为10.5nm，厚度为lnm。实施例3除了使用以重量比80:20的比例配合了信越化学公司制造的注册商标SEPA-COAT和同一公司制造的KS-837[单独固化物的表面张力(23"C):16mN/m作为成为脱模层的原料的硅酮树脂系的涂布液以外，其余和实施例1同样，制造实施例3的平坦化片。上述脱模层的表面的表面张力(23*C)为16mN/m，粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为18nm，厚度为l(im。比较例3除了使用其两面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为66.8nm、拉伸弹性模数(23T)为230MPa、厚度为100pm的PET膜[杜邦帝人薄膜日本有限公司制造的注册商标MelinexS作为基材层以外，其余和实施例1同样，制造比较例3的平坦化片。在上述PET膜上形成的脱模层的表面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为39nm。实施例4除了使用其两面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为48nm、拉伸弹性模数(23T)为230MPa、厚度为100nm的PET膜[东丽工业林式会社制造的SIO作为基材层以外，其余和实施例1同样，制造实施例4的平坦化片.在上述PET膜上形成的脱模层的表面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为8.7nm。比较例4除了使用其两面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为52nm、拉伸弹性模数(231C)为230MPa、厚度为100pm的PET膜[东丽工业林式会社制造的S15I作为基材层以外，其余和实施例1同样，制造比较例4的平坦化片。在上述PET膜上形成的脱模层的表面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为8.7nm。实施例5除了使用以重量比50:50的比例配合了日立化学公司制造的KU-7002[单独固化物的弹性模数(231C):0.07MPa和同一公司制造的KU-7008[单独固化物的弹性模数(23C):0.95MPa作为成为弹性层的原料的铸型用尿烷树脂以外，其余和实施例1同样，制造实施例5的平坦化片。上述弹性层的弹性模数(23t:)为0.55MPa。比较例5除了使用以重量比40:60的比例配合了日立化学公司制造的KU-7002和同一公司制造的KU-7008作为成为弹性层的原料的铸型用尿烷树脂以外，其余和实施例1同样，制造比较例5的平坦化片。上述弹性层的弹性模数(231C)为0.45MPa。比较例6除了单独使用日立化学公司制造的KU-7002作为成为弹性层的原料的铸型用尿烷树脂以外，其余和实施例1同样，制造比较例6的平坦化片。上述弹性层的弹性模数(23X:)为0.07MPa。实施例6除了使用以重量比55:45的比例配合了日立化学公司制造的KU-5550-9和同一公司制造的U-801A/B[单独固化物的弹性模数(2332MPa作为成为弹性层的原料的铸型用尿烷树脂以外，其余和实施例1同样，制造实施例6的平坦化片。上述弹性层的弹性模数(23"C)为18MPa。比较例7除了使用以重量比45:55的比例配合了日立化学公司制造的KU-5550-9和同一公司制造的U-801A/B作为成为弹性层的原料的铸型用尿烷树脂以外，其余和实施例1同样，制造比较例7的平坦化片。上述弹性层的弹性模数(23"C)为22MPa。比较例8除了使用硅酮树脂[信越化学公司制造的SCR-1011A/B，单独固化物的弹性模数(23n)为1400MPa形成弹性层以外，其余和实施例1同样，制造比较例8的平坦化片。上述弹性层的弹性模数(231C)为1400MPa。实施例7、8、比较例9~11除了将弹性层的厚度制成O.llmm(实施例7)、4.8mm(实施例8)、0.08mm(比较例9)、5.2mm(比较例10)、6.5mm(比较例11)以外，其余和实施例l同样，制造实施例7、8、比较例911的平坦化片。比较例12除了未形成弹性层以外，其余和实施例1同样，制造比较例12的平坦化片。评价试验在纵向300mmx横向400mm的玻璃基板的表面，使用平型凹版胶印印刷机[Nakan公司制造，通过凹版胶印印刷法，利用凹版胶印用CF油墨，以100pm的间遂巨如图1所示地顺序湘夂列印刷线宽lOOjim、RGB3色的条紋图案，由此形成透明印刷层。作为凹版，使用玻璃制造，对应于条紋图案的形状的凹部的开口宽110pm、深度7nm的物质，作为胶印胶布，使用SRIResearch&Development公司制造的总厚度0.9mm的精密印刷用硅酮胶布。并且，作为凹版胶印用CF油墨使用如下物质在以等量配合己二酸和邻苯二甲酸使其在180n进行聚合反应合成的聚酯树脂中，加入三聚氰胺[住友化学林式会社制造的注册商标Sumimal，加热至200X:，同时以表1的比例配合重均分子量Mw在2000-20000的范围内任意调整的粘合剂树脂、下述任意的颜料、分散剂[味之素林式会社制造的注册商标AJISPERPB821以及作为溶剂的二甘醇丁醚醋酸酯，使用3根辊进行混合而得的物质。(颜料)红C丄颜料红245(二酮基吡咯并吡咯颜料)绿C丄颜料绿36(卣代铜酞菁颜料)蓝C丄颜料蓝15:6(铜酞菁颜料)<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>接着，将胶印胶布从印刷机的辊取出，代之以巻绕并固定实施例、比较例中制造的平坦化片。然后，以上述平坦化片的接触面与上述透明树脂层的表面接触的状态，使上述辊在上述透明树脂层上滚动，由此将上述表面平坦化后，进行230nx30分钟的加热，使透明树脂层固化制造滤色器。观察平坦化后的平坦化片的接触面，确认没有发生油墨的反转印。并且，以显微镜观察固化后的透明树脂层的表面，将与平坦化前相比表面的凹凸没有发生变化的评价为平坦化不良。并且，对于平坦化后的表面使用阶梯差表面粗糙度微细形状测定装置[KLA-Tencor公司制造的Alpha-Step500测定上述表面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra，将上述算术平均粗糙度Ra超过20nm的评价为透明树脂层厚度不均、将20nm以下的评价为没有不均，平滑性良好。另外，以显微镜观察上述透明树脂层的表面，确认在上述透明树脂层有没有发生凹部等缺陷。将结果示于表2表7。<table>tableseeoriginaldocumentpage20</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>透明树脂层的厚度产生不均。并且明确了脱模层的表面的算术平均M度Ra虽然在20nm以下，但是作为基材层，使用其表面的算术平均粗Ra超过50nm的比较例4的平坦化片时，透明树脂层的表面的算术平均WI度Ra仍旧超过20nm,因此上述透明树脂层的厚度产生不均。并且，明确了使用弹性层的弹性模数(23t:)不足0.5MPa的比较例5、6的平坦化片、弹性层的厚度超过5mm的比较例10、11的平坦化片时，不能将透明树脂层平坦化。此外，使用了弹性层的弹性模数(231C)超过20MPa的比较例7、8的平坦化片、未形成弹性层的比较例12的平坦化片、弹性层的厚度不足O.lmm的比较例9的平坦化片时，不能防止在透明树脂层发生凹部等缺陷。与此相对，在使用实施例1~8的平坦化片时，都可以确认将透明树脂层的整体均匀地平坦化，同时可以防止形成上述透明树脂层的透明油墨的反转印，并且可以防止透明树脂层发生凹部等缺陷。权利要求1、一种平坦化片，通过与构成滤色器的、至少一部分被着色的透明树脂层的表面接触，而用于将所述透明树脂层的表面平坦化，其特征为，从与所述透明树脂层的表面接触的接触面起朝向反面，依次层压有构成所述接触面的脱模层、基材层、弹性层，所述脱模层的接触面的表面张力在23℃时为30mN/m以下，并且所述接触面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为20nm以下；所述基材层的位于所述脱模层侧的面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为50nm以下；同时，所述弹性层的弹性模数在23℃时为0.5～20MPa，厚度为0.1～5mm。2、根据权利要求l所述的平坦化片，用于在以接触面朝向外侧而巻绕于辊的外周面的状态下，使接触面与透明树脂层的表面接触，使辊在所述透明树脂层上滚动，由此对所述透明树脂层的表面进行平坦化。3、根据权利要求l所述的平坦化片，其中，脱模层的厚度为30pm以下。4、根据权利要求1所述的平坦化片，其中，基材层的拉伸弹性模数在23t时为lOOMPa以上，厚度为50500nm。5、一种滤色器的制造方法，其特征为，包括以下工序在基板的表面形成至少一部分被着色的透明树脂层的工序；使接触面朝向外侧而巻绕于辊的外周面的权利要求1所述的平坦化片的所述接触面，与所述透明树脂层的表面接触，在该状态下使所述辊在透明树脂层上滚动，由此将所述表面进行平坦化的工序。全文摘要本发明的平坦化片依次层压脱模层、基材层以及弹性层而成，所述脱模层的接触面的表面张力(23℃)为30mN/m以下，粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为20nm以下，所述基材层的脱模层侧的面的粗糙度曲线的算术平均粗糙度Ra为50nm以下，所述弹性层的弹性模数(23℃)为0.5～20MPa，厚度为0.1～5mm。其可以使透明树脂层的整体均匀平坦化的同时，可以防止形成上述透明树脂层的透明油墨发生反转印，且难以产生由于异物的混入所引起的透明树脂层的缺陷。并且，本发明的滤色器的制造方法如下将所述平坦化片(6)以脱模层朝向外侧卷绕固定于辊(7)，以辊(7)与在基板(1)上形成了透明树脂层(5)的表面接触的状态使其滚动，将上述表面平坦化。文档编号G02B5/20GK101556346SQ20081008756公开日2009年10月14日申请日期2008年4月11日优先权日2007年5月8日发明者杉谷信,越智淳,近藤康彦申请人:住友橡胶工业株式会社