波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备的制作方法

专利名称：波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及波长可变干涉滤波器、光学滤波设备、光学组件以及电子设备。
背景技术：
在现有技术中，公知有一种从多个波长的光中提取指定波长的光的波长可变干涉滤波器(光学滤波元件)(例如，参见专利文献1)。该专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器(光学滤波装置)具备第一基板，具备可动部(第一部分)以及支撑可动部的隔膜(第二部分)；以及第二基板，与第一基板相对。此外，在第一基板的可动部上形成有可动反射镜，在第二基板的与可动部相对的面上形成有固定反射镜。并且，在第一基板及第二基板上分别设置有环状的电极，以构成静电执行机构(actuator)。在这种波长可变干涉滤波器中，对电极间施加电压，从而通过静电引力使隔膜挠曲，并可使固定反射镜及可动反射镜间的间隙变动，从而可提取期望波长的光。此外，公知有在静电执行机构上设置多个部分执行机构、并可分别控制这些多个部分执行机构的波长可变干涉滤波器(例如专利文献2)。该专利文献2的波长可变干涉滤波器具备具有导电性可动部的第一基板、以及第二基板，并且，在第一基板的可动部、及第二基板的与可动部相对的位置上分别设置有反射膜。并且，在这些第二基板的与可动部相对的位置上设置有圆弧状的两个驱动电极。在这样的波长可变干涉滤波器中，通过分别对两个驱动电极施加不同的电压，从而可以在各驱动电极和可动部之间分别作用不同的静电引力。现有技术文献专利文献1 日本特开2009-251105号公报专利文献2 日本特开2007-086517号公报但是，在上述专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器中，在设置于第一基板的电极和设置于第二基板的电极之间的电极间间隙均等的情况下，当对这些电极间施加电压时，隔膜均勻挠曲。因此，可动部在维持姿势的状态下向第二基板侧移动。但是，在隔膜上存在少许倾斜且电极间间隙不均等的情况下，电极间间隙越小越作用较大的静电引力，所以隔膜的倾斜变大。也就是说，在初始状态下，即使隔膜的倾斜是不会对分光精度造成影响的允许值内的倾斜，在对电极间施加了电压的状态下，也会导致隔膜的倾斜变大，分光精度劣化。另一方面，在专利文献2中，将构成静电执行机构的驱动电极分割为两个以上。因此，通过对施加给这些驱动电极的电压进行控制，从而即使在隔膜的倾斜变大的情况下，也可对其进行校正。但是，在这种情况下，需要判断隔膜的倾斜状态，并将与其相对应的电压付与各驱动电极。因此，存在需要设置用于测定隔膜的倾斜状态、电极间间隙的传感器等结构复杂化的问题。并且，由于需要根据测定出的隔膜的倾斜状态和电极间间隙来计算用于施加给各驱动电极的驱动电压，所以存在静电执行机构的驱动控制复杂化的问题。

发明内容
本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种结构简单、即使在使反射膜间的间隙尺寸发生了变化的情况下也可抑制分辨率降低的波长可变干涉滤波器、光学滤波设备、光学组件以及电子设备。本发明的波长可变干涉滤波器具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退；第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极由于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极，所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置， 在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构， 该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极相对应的所述第二部分电极重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极，这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接了多个所述部分执行机构。这里，电串联连接多个部分执行机构是指交替反复第一部分电极彼此的连接、第二部分电极彼此的连接从而进行连接的结构。例如，在第一 第四部分执行机构这四个部分执行机构按该顺序电串联连接的情况下，第一部分执行机构的第一部分电极和第二部分执行机构的第一部分电极连接，第二部分执行机构的第二部分电极和第三部分执行机构的第二部分电极连接，并且第三部分执行机构的第一部分电极和第四部分执行机构的第一部分电极连接。一般在静电执行机构中产生的静电引力F基于由该静电执行机构保持的电荷量和电极的面积而变化。并且，该电荷量基于电极的面积的增大而增大，此外，基于电极间距离的变小而增大。针对于此，在本发明中，由于部分执行机构电串联连接，所以如果在两个电压施加用部分电极间施加电压V，则会分别被施加与容抗相对应的分压，且在各部分执行机构中保持的电荷量相同。此外，各部分执行机构在俯视图中具有相同的面积，所以在这些各部分执行机构中作用的静电引力由于电极的面积及保持的电荷量成为同值而成为相同大小。因此，在本发明中，由于第一基板或第二基板的倾斜，即使各部分执行机构中的部分电极间隙存在差异的情况下，也可以对各部分执行机构作用相同大小的静电引力。由此， 当使第二基板的可动区域向第一基板侧位移从而改变第一反射膜及第二反射膜间的间隙时，可以防止较大的静电引力作用于第一基板或第二基板的一部分从而导致无法维持第一及第二反射膜的平行关系的不良情况，且可抑制分辨率的降低。此外，在本发明中，如上所述，仅通过在两个电压施加用部分电极间施加驱动电压，即可使作用于各部分执行机构的静电引力均等，且可抑制分辨率的降低。因此，无需用于控制施加给各部分执行机构的电压的复杂的电路，且由于无需针对各部分执行机构单个地进行电压控制，所以可以容易地实施静电执行机构的控制。在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选在所述俯视图中，构成所述部分执行机构的所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任一方的外周缘位于另一方的外周缘的内侧。也就是说，在所述俯视图中，第一部分电极及第二部分电极中的一方形成为比另一方大的尺寸。在这样的结构中，可以高精度地将各部分执行机构的面积调整为相同的面积。也就是说，例如，在第一部分电极及第二部分电极形成为相同的形状、使俯视图中这些第一部分电极及第二部分电极的外周缘一致地形成部分执行机构的情况下，为了使俯视图中第一部分电极的外周缘和第二部分电极的外周缘一致，需要进行校准调整，从而需要进行高精度的校准调整工序。针对于此，在本发明中，由于是第一部分电极及第二部分电极中的一方的外周缘位于另一方的外周缘的内侧的结构，隐藏以使尺寸小的一方的外周缘位于另一方的外周缘的内侧的方式进行校准调整即可，从而可以容易地调整各部分执行机构的俯视时的面积。在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选在所述俯视图中，多个所述第一部分电极分别是相同的形状，在所述俯视图中，多个所述第二部分电极分别是相同的形状。根据本发明，各第一部分电极是相同的形状，各第二部分电极是相同的形状，所以第一部分电极及第二部分电极的对位(校准调整)变得更为容易。因此，可以进一步提高制造效率。在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选两个所述电压施加用部分电极在所述假想圆上彼此相邻配置，在所述静电执行机构中，在两个所述电压施加用部分电极间，依次电串联连接有沿所述假想圆的圆周方向排列的所述部分执行机构。在本发明中，部分执行机构按沿假想圆的圆周方向排列的顺序串联连接。根据这样的结构，可以缩短连接各部分执行机构间的连接电极部，且可降低电阻。在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选设置多个所述静电执行机构，这些静电执行机构电并联连接。在本发明中，如上所述，设置有多个以等角度间隔配置部分执行机构的静电执行机构。如上所述，由于对各部分执行机构施加分压后的电压，所以如果构成一个静电执行机构的部分执行机构的数量较多，则施加给各部分执行机构的分压值变小。在这种情况下，在部分执行机构中发生作用的静电引力也变小，为了获得想要的静电引力，需要增大驱动电压。针对于此，在本发明中，通过并联连接上述这样的静电执行机构，从而以较小的驱动电压获得想要的静电引力。例如，在将并联连接两个静电执行机构的波长可变干涉滤波器、和由四个部分执行机构构成的一个静电执行机构进行比较的情况下，前者的波长可变干涉滤波器可以通过后者的波长可变干涉滤波器的大致一半的驱动电压，获得与后者的波长可变干涉滤波器相同的静电引力。其中，该静电执行机构由两个部分执行机构构成。本发明的光学滤波设备具备波长可变干涉滤波器以及收容所述波长可变干涉滤波器的壳体，所述波长可变干涉滤波器具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所
7CN 102540312 A述第一基板进退；第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，由于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极，所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置，在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极相对应的所述第二部分电极重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极，这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置， 在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接了多个所述部分执行机构。在本发明中，由于在壳体内部收容有如上所述的波长可变干涉滤波器，所以可以保护波长可变干涉滤波器抵御来自外部的冲击。并且，可以通过壳体抑制从外部侵入带电粒子，且可以防止由于带电粒子而使构成各部分执行机构的第一部分电极及第二部分电极带电。因此，可以避免由于带电引起的库仑力的影响导致破坏静电引力的平衡的不良情况， 且可进一步可靠地维持第一反射膜及第二反射膜的平行关系。本发明的光学组件具备波长可变干涉滤波器以及对所述波长可变干涉滤波器所提取的光进行检测的检测部，所述波长可变干涉滤波器具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退；第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，由于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极，所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置，在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极相对应的所述第二部分电极重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极，这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接了多个所述部分执行机构。在本发明中，光学组件具备与上述的波长可变干涉滤波器相同的结构。因此，即使在改变了第一反射膜及第二反射膜间的间隙的情况下，也可以对各部分执行机构作用相同大小的静电引力，且可抑制分辨率的降低。因此，通过检测部检测以这样的高分辨率提取的光，从而可以获得高精度的检测结果。本发明的电子设备具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退；第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，由于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极，所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置，在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极相对应的所述第二部分电极重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极，这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接了多个所述部分执行机构。这里，作为电子设备，可以列举出根据由第一反射膜及第二反射膜提取的光来分析测定对象光的色度、亮度等的光测定器、检测气体的吸收波长并检查气体的种类的气体检测装置、从接收到的光获得在该波长的光中包括的数据的光通信装置等。在本发明中，电子设备具备与上述的波长可变干涉滤波器相同的结构。因此，即使在改变了第一反射膜及第二反射膜间的间隙的尺寸的情况下，也可以对各部分执行机构作用均等的静电引力，且可以通过高分辨率提取想要的光。因此，在电子设备中，基于以这样的高分辨率提取的光，而可以实施高精度的各种处理。


图1是表示本发明涉及的第一实施方式的测色装置(电子设备)的概略结构的示意图。图2是表示第一实施方式的波长可变干涉滤波器的概略结构的俯视图。图3是沿图2的III-III线截取的波长可变干涉滤波器的截面图。图4是从可动基板侧观察第一实施方式的波长可变干涉滤波器的固定基板时的俯视图。图5是从固定基板侧观察第一实施方式的波长可变干涉滤波器的可动基板时的俯视图。图6是第一实施方式的静电执行机构的配线图。图7是表示第二实施方式的波长可变干涉滤波器的概略结构的俯视图。图8是从可动基板侧观察第二实施方式的波长可变干涉滤波器的固定基板时的俯视图。图9是从固定基板侧观察第二实施方式的波长可变干涉滤波器的可动基板时的俯视图。图10是第二实施方式的波长可变干涉滤波器中的配线图。图11是表示第三实施方式的光学滤波设备的概略结构的截面图。图12是表示本发明的变形例中的波长可变干涉滤波器的概略结构的俯视图。
图13是其他变形例中的波长可变干涉滤波器中的配线图。图14是又一其他变形例中的波长可变干涉滤波器中的配线图。图15是表示具备本发明的波长可变干涉滤波器的气体检测装置的概略图。图16是表示图15的气体检测装置的控制系统的结构的框图。图17是表示具备本发明的波长可变干涉滤波器的食物分析装置的概略结构的示意图。图18是表示具备本发明的波长可变干涉滤波器的分光摄像机的概略结构的模式图。
具体实施例方式(第一实施方式)下面，根据附图对本发明涉及的第一实施方式进行说明。(测色装置的整体结构)图1是表示本发明涉及的实施方式的测色装置(电子设备)的概略结构的示意图。该测色装置1是本发明的电子设备，如图1所示，其具备对测定对象A射出光的光源装置2、作为本发明的光学组件的测色传感器3、控制测色装置1的整体动作的控制装置 4。并且，该测色装置1是如下所述的装置使测定对象A反射从光源装置2射出的光，并由测色传感器3接收所反射的测定对象光，根据从测色传感器3输出的检测信号，分析并测定测定对象光的色度、即测定对象A的颜色。(光源装置的结构)光源装置2具备光源21、多个透镜22 (在图1中仅记载了一个)，该光源装置2向测定对象A射出白色光。多个透镜22也可以包括准直透镜，此时，光源装置2通过准直透镜使从光源21射出的白色光成为平行光，并从未图示的投射透镜向测定对象A射出。此外，在本实施方式中，虽然例示了具备光源装置2的测色装置1，但在例如测定对象A是液晶面板等发光部件的情况下，可以是不设置光源装置2的结构。(测色传感器的结构)测色传感器3构成本发明的光学组件。如图1所示，该测色传感器3具备波长可变干涉滤波器5、接收并检测透过波长可变干涉滤波器5的光的检测部31、以及对波长可变干涉滤波器5施加驱动电压的电压控制部32。并且，测色传感器3在与波长可变干涉滤波器5相对的位置上，具备将被测定对象A反射的反射光(测定对象光)导入内部的未图示的入射光学透镜。并且，该测色传感器3通过波长可变干涉滤波器5，对从入射光学透镜入射的测定对象光中的规定波长的光进行分光，并由检测部31接收分光后的光。检测部31由多个光电转换元件构成，生成与光接收量相对应的电信号。并且，检测部31与控制装置4连接，将生成的电信号作为光接收信号输出给控制装置4。(波长可变干涉滤波器的结构)图2是表示波长可变干涉滤波器5的概略结构的俯视图，图3是以III-III线对图2进行了截面的波长可变干涉滤波器5的截面图。如图2所示，波长可变干涉滤波器5是例如俯视为正方形的板状的光学部件。如图3所示，该波长可变干涉滤波器5具备作为本发明的第一基板的固定基板51、以及作为本发明的第二基板的可动基板52。这两块基板51、52分别例如由钠钙玻璃、结晶玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅玻璃、无碱玻璃等各种玻璃、水晶等形成。此外，通过例如以硅氧烷为主要成分的等离子聚合膜等构成的接合膜53来接合固定基板51的第一接合部513及可动基板的第二接合部523，从而这些固定基板51及可动基板52构成为一体。在固定基板51上设置有构成本发明的第一反射膜的固定反射膜56，在可动基板 52上设置有构成本发明的第二反射膜的可动反射膜57。这里，固定反射膜56被固定在固定基板51的与可动基板52相对的面上，可动反射膜57被固定在可动基板52的与固定基板51相对的面上。并且，这些固定反射膜56及可动反射膜57隔着规定的反射膜间间隙gl 而相对配置。此外，在固定基板51和可动基板52之间设置有用于调整固定反射膜56及可动反射膜57间的间隙尺寸的静电执行机构M。该静电执行机构M具备设置在固定基板51侧的作为本发明的第一电极的固定电极讨1、以及设置在可动基板52侧的作为本发明的第二电极的可动电极M2。这里，这些电极541、542可以是分别直接设置在固定基板51及可动基板52的基板表面上的结构，也可以是隔着其他膜部件设置在固定基板51及可动基板52 的基板表面上的结构。并且，在从固定基板51 (可动基板5 的基板厚度方向观察波长可变干涉滤波器5 的如图2所示这样的俯视图中，固定基板51及可动基板52的平面中心点0与固定反射膜 56及可动反射膜57的中心点一致，且与后述的可动部521的中心点一致。此外，在下面的说明中，将从固定基板51或可动基板52的基板厚度方向看到的俯视图、即从固定基板51、接合膜53、以及可动基板52的层叠方向观察波长可变干涉滤波器 5的俯视图称为滤波器俯视图。(固定基板的结构)图4是从可动基板52侧观察第一实施方式的波长可变干涉滤波器5中的固定基板51的俯视图。固定基板51通过对厚度形成为例如500 μ m的玻璃基材进行加工而形成。具体而言，如图3所示，在固定基板51上通过蚀刻形成有电极配置槽511及反射膜设置部512。该固定基板51形成为与可动基板52相比厚度尺寸更大，从而不会产生对固定电极541及可动电极542之间施加了电压时的静电引力、以及固定电极541的内部应力引起的固定基板 51的挠曲。并且，在固定基板51的顶点Tl(参照图2)形成有切口部514，后述的可动电极焊盘(pad) 547P从波长可变干涉滤波器5的固定基板51侧露出。如图4所示，滤波器俯视图中，电极配置槽511形成为以固定基板51的平面中心点为中心的圆形。俯视上述滤波器时，反射膜设置部512形成为从电极配置槽511的中心部向可动基板52侧突出。这里，电极配置槽511的槽底面成为配置固定电极541的电极设置面511A。并且，反射膜设置部512的突出前端面成为反射膜设置面512A。并且，在固定基板51上设置有从电极配置槽511向固定基板51的外周缘的顶点 Tl、顶点T2延伸的电极引出槽511B。在电极配置槽511的电极设置面511A上形成有固定电极Ml。
如图4所示，该固定电极M1由以沿平面中心点0为中心的假想圆P的圆周的圆弧状的多个固定部分电极^3(M3A、543B、M3C)构成。这些固定部分电极543构成本发明的第一部分电极。在本实施方式中，在滤波器俯视图中，各固定部分电极543的沿假想圆P的圆周方向的长度尺寸Ll形成为相同的尺寸，沿与假想圆P的切线正交方向(假想圆P的直径方向)的宽度尺寸Dl形成为相同的尺寸。此外，固定部分电极M3A、543B、M3C被配置为其各自的重心点Gal, Gbl, Gcl在假想圆P的圆周上呈等角度间隔(120度间隔)。并且，优选各固定部分电极M3的厚度尺寸被设定为相同厚度尺寸。这里，三个固定部分电极M3中的固定部分电极M3A具备固定电极引出线M5。 该固定电极引出线545从固定部分电极M3A的外周缘向顶点T2方向延伸，在其前端部上设置有与电压控制部32连接的固定电极焊盘M5P。此外，固定部分电极及固定部分电极M3C通过固定电极连接线546连接。并且，在这些固定部分电极543上层叠有用于防止固定电极541及可动电极M2 间的放电的绝缘膜(省略图示)。如上所述，反射膜设置部512在与电极配置槽511同轴上形成为直径尺寸比电极配置槽511小的圆柱状。此外，在本实施方式中，如图3所示，虽然例示了反射膜设置部512 的与可动基板52相对的反射膜设置面512A形成为比电极设置面511A更接近可动基板52 的例子，但并不仅限于此。电极设置面511A及反射膜设置面512A的高度位置可以根据反射膜间间隙gl的尺寸、固定电极541及可动电极542间的尺寸、固定反射膜56或可动反射膜57的厚度尺寸、测定对象波段等而适当设定。因此，例如，也可以是将电极设置面511A 及反射膜设置面512A形成在同一面上的结构、或在电极设置面511A的中心部形成圆柱凹槽上的反射膜固定槽且在该反射膜固定槽的底面上形成反射膜固定面的结构等。此外，在反射膜设置面512A上固定有形成为圆形的固定反射膜56。作为该固定反射膜56，可以使用例如Ag等的金属膜、Ag合金等的合金膜。并且，也可以使用高折射层采用TW2且低折射层采用SW2的电介质多层膜。此外，也可以使用在电介质多层膜上层叠了金属膜(或者合金膜)的反射膜、在金属膜(或合金膜)上层叠了电介质多层膜的反射膜、 层叠了单层的折射膜(T^2或S^2等)和金属膜(或合金膜)的反射膜等。此外，固定基板51也可以是如下所述的结构在与可动基板52相对的面的相反侧的面上，在与固定反射膜56相对应的位置上设置反射防止膜(AR)。该反射防止膜通过交替层叠低折射率膜及高折射率膜而形成，其使在固定基板51的表面反射的可视光的反射率降低，透过率增大。并且，在固定基板51的与可动基板52相对的面中的、未通过蚀刻形成有电极配置槽511、反射膜设置部512、以及电极引出槽511B的面构成第一接合部513。如上所述，该第一接合部513隔着接合膜53与可动基板52的第二接合部523接合。(可动基板的结构)图5是从固定基板51侧观察第一实施方式的波长可变干涉滤波器5中的可动基板52的俯视图。可动基板52是通过对厚度形成为例如200 μ m的玻璃基材进行蚀刻而形成的。具体而言，在如图2、5所示这样的滤波器俯视图中，可动基板52具备以基板中心点(平面中心点0)为中心的圆形的可动部521、以及与可动部521同轴且保持可动部521 的保持部522。这里，通过可动部521及保持部522构成本发明的可动区域，该可动区域的
重心点与平面中心点0 —致。 此外，如图2及图5所示，可动基板52在顶点T2的位置上具备切口部524，固定电极焊盘M5P从波长可变干涉滤波器5的可动基板52侧露出。可动部521的厚度尺寸形成得比保持部522厚，例如，在本实施方式中，形成为与可动基板52的厚度尺寸相同的尺寸、即200 μ m。此外，可动部521具备与反射膜设置部512 平行的可动面521A，该可动面521A上设置有可动反射膜57以及可动电极M2。此外，在可动部521的与固定基板51相反侧的面上也可以与固定基板51同样地形成有反射防止膜。这样的反射防止膜可通过交替层叠低折射率膜及高折射率膜而形成， 其可使在可动基板52的表面反射的可视光的反射率降低，透过率增大。在可动部521的可动面521A的中心部，可动反射膜57与固定反射膜56隔着反射膜间间隙gl相对设置。作为该可动反射膜57可以使用与上述固定反射膜56相同结构的反射膜。可动电极542与固定电极541相对设置，与固定电极541 —起构成静电执行机构 54。如图5所示，该可动电极M2由沿假想圆P的圆弧状的多个可动部分电极 544(544A,544B,544C)构成。这些可动部分电极544构成本发明的第二部分电极。在本实施方式中，在滤波器的俯视图中，各可动部分电极544的沿假想圆P的圆周方向的长度尺寸L2形成为相同的尺寸，该长度尺寸L2成为小于固定部分电极M3的长度尺寸Ll的尺寸。并且，在滤波器的俯视图中，各可动部分电极M4的沿假想圆P的直径方向的宽度尺寸D2形成为相同的尺寸，该宽度尺寸D2成为小于固定部分电极M3的宽度尺寸Dl的尺寸。并且，优选各可动部分电极M4的厚度尺寸形成为相同的厚度尺寸。并且，在滤波器的俯视图中，这些可动部分电极M4A、544B、M4C被配置为其各自的重心点6&、2、6。2在假想圆？的圆周上呈等角度间隔(120度间隔)。并且，这些各重心点Ga2、(^b2、G。2分别与固定部分电极M3A、543B、M3C的重心点Gal、(;bl、Gel —致。也就是说， 在滤波器的俯视图中，各可动部分电极M4的外周缘位于各固定部分电极M3的外周缘的内侧。换言之，各可动部分电极544形成为比各固定部分电极543小的尺寸。并且，在滤波器的俯视图中，由可动部分电极544和固定部分电极543重叠的区域构成本发明的部分执行机构阳。此外，可动部分电极M4中的可动部分电极M4C具备可动电极引出线M7。该可动电极引出线547从可动部分电极M4C的外周缘向顶点Tl方向延伸，在其前端部上设置有与电压控制部32连接的可动电极焊盘M7P。此外，可动部分电极M4A及可动部分电极M4B通过可动电极连接线548连接。保持部522是包围可动部521的周围的隔膜，其厚度尺寸例如形成为50 μ m，其相对于厚度方向的刚性形成得比可动部521小。因此，保持部522比可动部521更容易挠曲，且可能因为很小的静电引力就向固定基板51侧挠曲。此时，可动部521与保持部522相比，厚度尺寸变大，且刚性变大，所以即使在基于静电引力而使可动基板52挠曲的力发生了作用的情况下，可动部521也几乎不挠曲，从而还可以防止形成在可动部521上的可动反射膜57的挠曲。(静电执行机构的结构)图6是第一实施方式的静电执行机构M的配线图。如图2所示，在滤波器的俯视图中，静电执行机构M具备部分执行机构55A，由固定部分电极及可动部分电极M4A重叠的区域构成；部分执行机构55B，由固定部分电极及可动部分电极M4B重叠的区域构成；以及部分执行机构55C，由固定部分电极 543C及可动部分电极M4C重叠的区域构成。这里，如上所述，在滤波器的俯视图中，可动部分电极M4的外周缘位于与该可动部分电极544相对的固定部分电极543的外周缘相比更靠内侧，因此，滤波器俯视图中的部分执行机构55的面积成为与可动部分电极544的面积相同的面积。此外，在本实施方式中， 由于各可动部分电极544形成为相同的形状，所以滤波器俯视图中的各部分执行机构55的面积也成为相同的面积。而且，可以成为如下所述的结构滤波器俯视图中的各可动部分电极M4的重心点Ga2、(ib2、G。2与各部分执行机构55中的重心点Ga、(ib、G。一致，且在假想圆P 的圆周上被配置为等角度间隔(120度间隔)。并且，如上所述，在固定部分电极M3A上形成有固定电极引出线M5，在可动部分电极M4C上形成有可动电极引出线M7，这些固定电极引出线545及可动电极引出线M7 分别与电压控制部32连接。也就是说，固定部分电极M3A、以及可动部分电极M4C构成本发明的电压施加用部分电极。并且，部分执行机构55A、部分执行机构55B通过可动电极连接线548连接，部分执行机构55B、部分执行机构55C通过固定电极连接线546连接。也就是说，如图6所示，构成静电执行机构讨的各部分执行机构55(55A、55B、55C)电串联连接。在这样结构的静电执行机构M中，如果对固定电极焊盘M5P及可动电极焊盘 547P间施加驱动电压V，则在各部分执行机构55A、55B、55C上施加与容抗相对应的分压N” V2、V3。并且，当将各部分执行机构55A、55B、55C中的固定部分电极543和可动部分电极 544之间的尺寸(部分电极间间隙)分别设定为C^d2W3，并将滤波器俯视图中的各部分执行机构55A、55B、55C的面积设为S，将介电常数设为ε时，各部分执行机构55A、55B、55C的静电电容CpCpC3分别通过下式(1) (3)表示。(数式1)C1 = ε SM1... (1)C2 = ε S/d2. . . (2)C3 = ε S/d3. . . (3)这里，各部分执行机构55A、55B、55C电串联连接，所以，这些部分执行机构55A、 55B、55C中所保持的电荷量Q是同值，下式(4)成立。(数式2)Q = C1V1 = C2V2 = C3V3 . . . (4)另一方面，作用于各部分执行机构55A、55B、55C的静电引力Fi、F2、F3成为各部分执行机构55A、55B、55C的固定部分电极543和可动部分电极M4间的电场E1, E2, E3、与各部分执行机构55A、55B、55C所保持的电荷量Q之积E1Q, E2Q, E3Q0
因此，当将静电引力F。F2、F3代入上式⑴ (4)时，以下式(5) (7)表示。(数式3)F1 = E1Q = Q2/ ε S …(5)F2 = E2Q = Q2/ ε S · · · (6)F3 = E3Q = Q2/ε S …(7)也就是说，如上式(5) (7)所示，作用于各部分执行机构55A、55B、55C的静电引力Fp F2、F3不依赖于部分电极间间隙C^dyd3的值而成为同值。因此，例如，在初始间隙中，部分电极间间隙屯、d2、d3的值存在例如其程度不会影响测定精度的微小的差，即使在对静电执行机构M施加了电压的情况下，这些部分电极间间隙屯、d2、d3的差也不会增大，从而可以使保持部522均等地挠曲。(电压控制单元的结构)电压控制部32根据从控制装置4输入的控制信号，控制施加给静电执行机构M 的电压。(控制装置的结构)控制装置4控制测色装置1的整体动作。作为该控制装置4可以使用例如通用的个人计算机、便携式信息终端、其他测色专用计算机等。并且，如图1所示，控制装置4构成为具备光源控制部41、测色传感器控制部42、 以及构成本发明的分析处理部的测色处理部43等。光源控制部41与光源装置2连接。并且，光源控制部41例如根据使用者的设定输入，向光源装置2输出规定的控制信号，并使从光源装置2射出规定亮度的白色光。测色传感器控制部42与测色传感器3连接。并且，测色传感器控制部42根据例如使用者的设定输入，设定由测色传感器3接收的光的波长，并对测色传感器3输出表示检测该波长的光的光接收量的控制信号。由此，测色传感器3的电压控制部32根据控制信号设定向静电执行机构M施加的电压，以便仅使使用者想要的光的波长透过。测色处理部43根据检测部31检测到的光接收量，分析测定对象A的色度。(本实施方式的作用效果)如上所述，上述实施方式的波长可变干涉滤波器5具备静电执行机构M，该静电执行机构M产生用于使可动部521向固定基板51进退的静电引力。并且，该静电执行机构讨具备由多个固定部分电极543构成的固定电极Ml、以及由多个可动部分电极544构成的可动电极M2。并且，构成有由滤波器的俯视图中这些固定部分电极543及可动部分电极544重叠的区域构成的部分致动器55。这些部分执行机构55在滤波器的俯视图中具有相同的面积。并且，各部分执行机构55的重心点Ga、(ib、G。在以平面中心点Q为中心的假想圆P的圆周上被配置为等角度间隔，且电串联连接。在这样的结构中，在对静电执行机构M施加了驱动电压时，如上式(5) (7)所示，大小相同的静电引力作用于各部分执行机构阳。此外，如上所述，由于各部分执行机构 55被配置为等角度间隔，因此，保持部522通过以等角度间隔配置的这些部分执行机构55 来接受均等的静电引力，并向固定基板51侧均等地挠曲，可动部521也可在保持初始状态的姿势的情况下向固定基板51侧移动。
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因此，即使在使固定反射膜56及可动反射膜57间的间隔发生了变动的情况下，也可以维持固定反射膜56及可动反射膜57的平行性，且可抑制分辨率的降低。此外，在具备这样的波长可变干涉滤波器5的测色传感器3中，在检测部31中，可通过检测以高分辨率分光后的光，且可获得正确的光量检测结果。而且，在测色装置1中， 基于该测色传感器3检测出的光量进行测定对象A的测色，从而可以进行高精度的测色处理。此外，仅通过对作为电压施加用部分电极的固定部分电极讨3々及可动部分电极 M4C之间施加驱动电压就可以容易地将各部分执行机构的静电引力设定为同值。因此，可以不需要为了控制各部分执行机构阳而分别控制施加给各部分执行机构55的电压等的复杂的控制方法，也不需要用于控制部分执行机构的控制电路等。也就是说，通过简单的结构及电压控制，即使在改变了反射膜56、57间的间隙的情况下，也能抑制分辨率的降低。并且，静电执行机构M的部分执行机构55A、55B、55C从作为一方电压施加用部分电极的固定部分电极开始直至作为另一个电压施加用部分电极的可动部分电极M4C 为止，按照沿假想圆P的圆周方向配置的顺序电串联连接。在这样的结构中，可缩短固定电极连接线M6、可动电极连接线讨8的距离，且可防止电阻的增大。尤其在构成静电执行机构M的部分执行机构的个数大于等于四个的情况下，部分执行机构的个数越多，连接各部分执行机构的连接线的条数越增多。在这种情况下，当部分执行机构以不规则的顺序电串联连接时，固定电极连接线讨6、可动电极连接线 548的结构也会复杂化、且电阻增大，但如上所述，在按照沿假想圆P的圆周方向配置的顺序电串联连接的情况下，可以有效地防止电阻增大。在本实施方式的波长可变干涉滤波器5中，各固定部分电极543的长度尺寸Ll形成得大于各可动部分电极544的长度尺寸L2，各固定部分电极543的宽度尺寸Dl形成得大于各可动部分电极544的宽度尺寸D2。也就是说，在滤波器的俯视图中，可动部分电极M4 的外周缘位于与该可动部分电极544相对的固定部分电极的外周缘的内侧。在这样的结构中，可以将各部分执行机构55的面积高精度地设定为相同面积。在本发明中，例如，可以使固定部分电极543和可动部分电极544形成为相同形状，即使在这样的情况下，通过进行校准调整以使在滤波器俯视图中的固定部分电极M3 和可动部分电极544的外周缘一致，从而可以构成本发明的波长可变干涉滤波器。但是，在这种情况下，可以想到在滤波器俯视图中，难以进行使固定部分电极M3的外周缘、和可动部分电极544的外周缘的位置一致的校准调整。针对于此，在本实施方式中，通过将固定部分电极543的尺寸设定为大于可动部分电极544的尺寸，在滤波器俯视图中，为了使可动部分电极544位于固定部分电极M3的内侧而进行校准调整即可，从而可以容易地形成具有相同面积的各部分执行机构阳。因此，可以提高制造效率性。此外，在本实施方式中，虽然使固定部分电极543和可动部分电极544的重心点一致，但如上所述，由于通过可动部分电极544来规定部分执行机构的位置，所以无需必须使固定部分电极讨3的重心点和可动部分电极M4的重心点一致。如上所述，在通过各可动部分电极544来规定部分执行机构的位置的情况下，如果各可动部分电极M4的重心点以等角度间隔而配置在假想圆P的圆周上，则各部分执行机构阳的重心点也以等角度间隔而配置在假想圆P的圆周上。
因此，如上所述，在可动部分电极544的外周缘位于固定部分电极543的外周缘的内侧的结构中，通过高精度地形成可动部分电极M4的形状、位置，从而即使在固定部分电极543的形状、位置存在制造误差等的情况下，也可正确地设定各部分执行机构55的位置、 面积。此外，由于可动部分电极544形成为小于固定部分电极543的尺寸，所以可动部分电极544所导致的膜应力变小，还可以减轻可动基板52的膜应力所导致的挠曲。各固定部分电极543分别形成为相同形状，各可动部分电极544分别形成为相同形状。在这种结构中，用于形成部分执行机构55的固定部分电极543及可动部分电极 544的对位变得更加容易，从而可进一步提高制造效率性。(第二实施方式)下面，根据附图对本发明的第二实施方式进行说明。在上述第一实施方式的波长可变干涉滤波器5中，示出了电串联连接了多个部分执行机构阳的一个静电执行机构讨的结构例。针对于此，在第二实施方式的波长可变干涉滤波器5A中构成为设置有多个静电执行机构(第一静电执行机构54A、第二静电执行机构MB)，且这些静电执行机构被电并联连接。下面，对这样的波长可变干涉滤波器5A的结构进行详细的描述。图7是表示第二实施方式的波长可变干涉滤波器5A的概略结构的俯视图。图8 是从可动基板52侧观察波长可变干涉滤波器5A的固定基板51时的俯视图。图9是从固定基板51侧观察波长可变干涉滤波器5A的可动基板52时的俯视图。图10是波长可变干涉滤波器5A中的配线图。此外，对与上述第一实施方式相同的结构标注了相同的符号，并省略或简化对其的说明。(固定基板的结构)在波长可变干涉滤波器5A的固定基板51上与第一实施方式同样地通过蚀刻形成有电极配置槽511及反射膜设置部512。并且，在第二实施方式的固定基板51上未形成有切口部514。此外，在固定基板51的电极配置槽511的槽底部形成有构成第一静电执行机构 54A的第一固定电极M1A、以及构成第二静电执行机构MB的第二固定电极M1B。如图8所示，第一固定电极MlA由沿着假想圆P的圆弧状的多个(在第二实施方式中是两个)第一固定部分电极M3D(543D1、543D》构成。这些第一固定部分电极M3D 构成第一静电执行机构54A中的本发明的第一部分电极。如图8所示，第二固定电极MlB由沿着假想圆P的圆弧状的多个(在第二实施方式中是两个)第二固定部分电极M3E(543E1、543E》构成。这些第二固定部分电极M3E 构成第二静电执行机构MB中的本发明的第一部分电极。这些第一固定部分电极M3D形成为在滤波器的俯视图中俯视形状相同且厚度尺寸相同。并且，在滤波器的俯视图中，这些固定部分电极M3D沿着假想圆P的圆周配置，且各第一固定部分电极M3D的重心点(idll、(；dl2在假想圆P上以等角度间隔(180度间隔)配置。第二固定部分电极M3E也分别形成为相同形状、相同厚度尺寸。并且，在滤波器俯视图中，这些第二固定部分电极M3E沿着假想圆P的圆周配置，且各第二固定部分电极 543E的重心点Gell、Gel2在假想圆P上以等角度间隔(180度间隔)配置。此外，优选第一固定部分电极M3D及第二固定部分电极M3E分别形成为在滤波器俯视图中俯视形状相同且厚度尺寸相同。此外，优选这些第一固定部分电极M3D及第二固定部分电极M3E沿假想圆P的圆周方向以等角度间隔(90度间隔)配置。第一固定部分电极M3D1及第二固定部分电极M3E1通过固定电极连接线M5A 连接。从该固定电极连接线向顶点T2(图7、图8中的左下方向)延伸形成有固定电极引出线Μ6Α。在该固定电极引出线Μ6Α的前端部上设置有与电压控制部32连接的电极焊盘Μ6Ρ1。此外，第一固定部分电极M3D2和第二固定部分电极Μ3Ε2通过固定电极连接线 545Β连接。从该固定电极连接线Μ5Β向顶点Tl (图7、图8中的右上方向)延伸形成有固定电极引出线Μ6Β。在该固定电极引出线Μ6Β的前端部上设置有与电压控制部32连接的电极焊盘Μ6Ρ2。而且，这些第一固定部分电极M3D及第二固定部分电极Μ3Ε上层叠有用于确保绝缘性的绝缘膜。反射膜设置部512及固定反射膜56的结构由于与上述第一实施方式相同，所以这里省略说明。(可动基板的结构)波长可变干涉滤波器5Α的可动基板52与第一实施方式同样地具备通过蚀刻形成的可动部521、保持部522。而且，如图7及图9所示，波长可变干涉滤波器5Α的可动基板52在与固定基板51 的电极焊盘546Ρ1、546Ρ2相对应的位置上分别具备切口部524。通过这些切口部524，电极焊盘546Ρ1、546Ρ2从波长可变干涉滤波器5Α的可动基板52侧的面露出。可动部521及保持部522的结构由于与上述第一实施方式相同，所以这里省略说明。在保持部522的与固定基板51相对的面上形成有与第一固定电极MlA及第二固定电极MlB相对的、第一可动电极讨2々及第二可动电极讨28。这里，由第一固定电极MlA 及第一可动电极讨2々构成第一静电执行机构54Α，由第二固定电极MlB及第二可动电极 542Β构成第二静电执行机构MB。如图9所示，第一可动电极M2A由圆弧状的多个(在第二实施方式中是两个)第一可动部分电极讨40(54401、544拟)构成。这些第一可动部分电极M4D构成第一静电执行机构54A中的本发明的第二部分电极。第二可动电极M2B也同样地由圆弧状的多个(在第二实施方式中是两个)第二可动部分电极^4E(544E1、544E》构成。这些第二可动部分电极M4E构成第二静电执行机构MB中的本发明的第二部分电极。并且，两个第一可动部分电极M4D分别形成为在滤波器俯视图中俯视形状相同且厚度尺寸相同，且沿着假想圆P而配置。并且，第一可动部分电极M4D1544D2的重心点 Gd21、Gm在假想圆P上以等角度间隔(180度间隔)配置，分别与第一固定部分电极M3D1、 543D2的重心点(idl^Cidl2重合。
同样地，第二可动部分电极M4E分别形成为在滤波器俯视图中俯视形状相同且厚度尺寸相同，且沿着假想圆P而配置。并且，第二可动部分电极M4E1544E2的重心点 Ge21、G&2在假想圆P上以等角度间隔(180度间隔)配置，分别与第二固定部分电极M3E1、 543E2的重心点Gell、Gel2重合。此外，优选第一可动部分电极M4D及第二可动部分电极M4E分别形成为在滤波器俯视图中俯视形状相同。这里，与第一实施方式同样地，在滤波器俯视图中，这些第一可动部分电极M4D 及第二可动部分电极M4E的外周缘分别位于比第一固定部分电极M3D及第二固定部分电极M3E的外周缘更靠内侧。也就是说，在滤波器俯视图中，配置第一可动部分电极M4D的区域成为第一静电执行机构54A中的第一部分执行机构55D。并且，在滤波器俯视图中，配置第二可动部分电极M4E的区域成为第二静电执行机构MB中的第二部分执行机构55E。此外，在可动基板52上具备以平面中心点0为中心点的环状的内侧可动连接电极 547A、以及与内侧可动连接电极M7A同心的环状的外侧可动连接电极M8A。内侧可动连接电极M7A形成在假想圆P的内周侧，其连接第一可动部分电极 544D1及第一可动部分电极M4D2。外侧可动连接电极M8A形成在假想圆P的外周侧，其连接第二可动部分电极以及第二可动部分电极M4E2。(静电执行机构的结构)图10是第二实施方式的静电执行机构54A、54B的配线图。如图10所示，第一静电执行机构54A及第二静电执行机构54B电并联连接。因此， 如果向电极焊a^6Pl、M6P2之间施加驱动电压，则对这些第一静电执行机构54A及第二静电执行机构54B施加相同的驱动电压。另一方面，如果着眼于第一静电执行机构54A，则由彼此相对的第一固定部分电极M3D(543D1、543D》及第一可动部分电极M4D (544D1、544D》构成第一部分执行机构 55D(55D1、55D2)。并且，与上述第一实施方式同样地，这些第一部分执行机构55D1及第一部分执行机构55D2电串联连接。在第二静电执行机构MB中也是同样地由彼此相对的第二固定部分电极 543E(543EU543E2)以及第二可动部分电极M4E (544E1、544E》构成第二部分执行机构 55E(55E1、55E2)。并且，与上述第一实施方式同样地，这些第二部分执行机构55E1及第二部分执行机构55E2电串联连接。因此，如上式(5) (7)所示，作用于第一静电执行机构54A的各第一部分执行机构55D1、55D2的静电引力不依赖于部分电极间间隙的值而为同值。在第二静电执行机构 54B中也是同样地，作用于各第二部分执行机构55E1、55E2的静电引力不依赖于部分电极间间隙的值而成为同值。由此，例如，在初始间隙中，部分电极间间隙的值存在例如其程度不会影响测定精度的微小的差，即使在对静电执行机构54A、54B施加了电压的情况下，这些部分电极间间隙的差也不会增大，从而可以使保持部522均等地挠曲。(本实施方式的作用效果)第二实施方式的波长可变干涉滤波器5A具备第一静电执行机构54A及第二静电执行机构MB，这些第一静电执行机构54A及第二静电执行机构MB电并联连接。并且，通过串联连接第一部分执行机构55D1、55D2构成第一静电执行机构54A，通过串联连接第二部分执行机构55E1、55E2构成第二静电执行机构MB。并且，第一部分执行机构55D1、 55D2以180度间隔而配置、即被配置在相对于基板中心呈点对称的位置上。同样地，第二部分执行机构55E1、55E2以180度间隔而配置、即被配置在相对于基板中心呈点对称的位置上。而且，构成第一部分执行机构55D1、55D2的第一固定部分电极M3D1、543D2及第一可动部分电极M4D1544D2在滤波器俯视图中形成为相同形状，且被配置为第一固定部分电极 543D1和第一可动部分电极M4D1彼此相对、第一固定部分电极M3D2和第一可动部分电极M4D2彼此相对。构成第二部分执行机构55E1、55E2的第二固定部分电极M3E(543E1、 543E2)及第二可动部分电极M4E(544E1、544E》也在滤波器俯视图中形成为相同形状，且被配置为彼此相对。因此，与上述第一实施方式同样地，如果对电极焊盘M6P1546P2之间施加驱动电压，则第一静电执行机构54A的各第一部分执行机构55D1、55D2中的静电引力成为同值， 第二静电执行机构^B的各第二部分执行机构55E1、55E2中的静电引力成为同值。因此， 即使在变动了固定反射膜56及可动反射膜57间的间隔的情况下，也可以维持固定反射膜 56及可动反射膜57的平行性，且可抑制分辨率的降低。此外，在具备这样的波长可变干涉滤波器5A的测色传感器3中，在检测部31，可以检测以高分辨率分光后的光，且可获得正确的光量检测结果。而且，在测色装置1中，根据该测色传感器3检测到的光量，进行测定对象A的测色，从而可以进行高精度的测色处理。此外，在第二实施方式的波长可变干涉滤波器5A中，第一静电执行机构54A及第二静电执行机构54B并联连接。在这样的结构中，例如，与四个部分执行机构串联连接的情况相比，可以使施加给各部分执行机构55D、55E的电压变大，且可促进节能。(第三实施方式)下面，根据附图对本发明的第四实施方式进行说明。在上述第一实施方式的测色装置1中，是针对作为光学组件的测色传感器3直接设置波长可变干涉滤波器5的结构。但是，作为光学组件，也存在具有复杂结构的光学组件，尤其针对小型化的光学组件，存在难以直接设置波长可变干涉滤波器5的情况。下面， 在本实施方式中，对即使针对这样的光学组件也能够容易地设置波长可变干涉滤波器5的光学滤波设备进行说明。图11是表示本发明的第三实施方式涉及的光学滤波设备的概略结构的截面图。如图11所示，光学滤波设备600具备波长可变干涉滤波器5、以及收容该波长可变干涉滤波器5的壳体601。壳体601具备底层(base)基板610、罩620、底层侧玻璃基板630、以及罩侧玻璃基板 640。底层基板610例如由单层陶瓷基板构成。该底层基板610上设置有波长可变干涉滤波器5的可动基板52。可以隔着例如粘接层等将可动基板52设置在底层基板610上，还可以通过嵌合于其他固定部件等处理等将可动基板52设置在底层基板610上。并且，在底层基板610上，在与波长可变干涉滤波器5的反射膜(固定反射膜56、可动反射膜57)相对的区域上，开口形成光通过孔611。并且，以覆盖该光通过孔611的方式而接合底层侧玻璃基板630。作为底层侧玻璃基板630的接合方法，例如，可以利用玻璃烧结(glass frit)接合、基于环氧树脂等的粘接等，该玻璃烧结接合使用了通过高温熔解玻璃原料并急剧冷却后的玻璃的碎片的玻璃料(glass frit)。在该底层基板610的与罩620相对的底层内侧面612上，设置有与波长可变干涉滤波器5的各电极焊盘M5P、547P连接的内侧端子部615。此外，关于各电极焊盘M5P、 547P和内侧端子部615之间的连接，可以使用例如FPC(Flexible Printed Circuits, 挠性印刷电路板)615A进行连接，还可以通过例如Ag浆料(paste)、ACF (Anisotropic Conductive Film，异方性导电胶膜)、ACP(Anisotropic Conductive Paste，异方导电胶) 等进行接合。此外，当将内部空间维持在真空状态的情况下，优选使用排气(排出气体)少的Ag焊料。并且，并不仅限于通过FPC615A进行连接，也可以实施例如引线焊接法等的配线连接。并且，底层基板610对应设置各内侧端子部615的位置而形成有贯通孔614，各内侧端子部615通过填充入贯通孔614的导电性部件而与外侧端子部616连接，该外侧端子部616设置在底层基板610的底层内侧面612的相反侧的底层外侧面613上。并且，在底层基板610的外周部设置有与罩620接合的底层接合部617。如图11所示，罩620具备罩接合部624，与底层基板610的底层接合部617接合；侧壁部625，连着罩接合部6M且沿离开底层基板610的方向立起；顶部626，连着侧壁部625且覆盖波长可变干涉滤波器5的固定基板51侧。该罩620可以通过例如科瓦合金 (kovar)等合金或金属形成。通过将罩接合部624、底层基板610的底层接合部617接合，该罩620与底层基板 610贴紧接合。作为该接合方法，例如除了激光熔敷以外，还可以列举出使用了银浆料等的焊接、 使用了共晶合金层的焊封、使用了低熔点玻璃的熔敷、玻璃粘着、玻璃烧结接合、基于环氧树脂的粘接等。这些接合方法可以根据底层基板610及罩620的原料、接合环境等而适当选择。罩620的顶部6 相对于底层基板610平行。在该顶部6 上，在与波长可变干涉滤波器5的各反射膜56、57相对的区域，开口形成有光通过孔621。并且，以覆盖该光通过孔621的方式接合罩侧玻璃基板640。作为罩侧玻璃基板640的接合方法，可以与底层侧玻璃基板630的接合同样地使用例如玻璃烧结接合、基于环氧树脂等的粘接等。(第三实施方式的作用效果)在本实施方式的光学滤波设备600中，通过壳体601保护波长可变干涉滤波器5， 从而可以防止异物或大气所包含的气体等引起波长可变干涉滤波器5的特性变化，且可防止由于外部因素引起的波长可变干涉滤波器5的破损。并且，由于可以防止带电粒子的侵入，所以可以防止固定电极讨1、可动电极讨2的带电。因此，可以抑制因带电而产生库仑力，从而可以进一步可靠地维持反射膜56、57的平行性。并且，例如将工厂中所制造的波长可变干涉滤波器5运送至组装光学组件或电子设备的组装线等的情况下，如果是由光学滤波设备600保护的波长可变干涉滤波器5，则可以安全地进行运送。此外，光学滤波设备600设置有露出于壳体601的外周面的外侧端子部616，因此， 即使在安装入光学组件或电子设备时也易于实施配线。
(其他实施方式)此外，本发明并不仅限于上述实施方式，只要是可以实现本发明目的的范围内的变形、改良等都包含在本发明中。例如，在上述第一实施方式及第二实施方式中，已经例示了 在滤波器俯视图中， 将可动部分电极讨4的外周缘配置在固定部分电极讨3的外周缘的内侧的例子、即可动部分电极544形成为小于固定部分电极M3的尺寸的例子，但并不仅限于此。例如，如图12 所示，也可以是如下所述的结构固定部分电极543及可动部分电极544形成为相同形状， 且在滤波器俯视图中，以外周缘完全一致的方式进行配置。并且，在本发明中，如果满足滤波器俯视图中的各部分执行机构55的面积是相同面积、且各部分执行机构55的重心点在假想圆P的圆周上以等角度间隔配置的条件，则固定电极541及可动电极M2的形状并没有特别的限定。例如，也可以是如下所述的结构固定部分电极M3的长度尺寸Ll大于可动部分电极544的长度尺寸L2，固定部分电极543的宽度尺寸Dl小于可动部分电极544的宽度尺寸D2。并且，还可以是如下所述的结构各固定部分电极543分别形成为不同的形状，各可动部分电极544分别形成为不同的形状。即使在这些情况下，如果满足上述条件，则可以使作用于各部分执行机构的静电引力F均等，且可抑制可动部521的倾斜。在上述第一及第二实施方式中，虽然已经例示了由可动部521及保持部522构成作为本发明的第二基板的可动区域的例子，但并不仅限于此。例如，作为第二基板，也可以不设置保持部522而是厚度均等的板状部件。在这种情况下，优选在从第二基板的基板厚度方向进行俯视观察时，以可动反射膜58的中心点为中心、第二基板向第一基板侧挠曲的方式来设置静电执行机构。也就是说，优选将可动区域的重心点设定为可动反射膜58的中心点。此外，在上述第一及第二实施方式中，虽然例示了隔膜状的保持部522，但是例如也可以是如下的结构等设置具有多个梁构造的保持部，该多个梁构造相对于可动部的中心以等角度间隔配置。此时，通过构成为以等角度间隔配置梁状保持部，从而可以使保持部挠曲时的应力平衡(balance)均等，且可抑制可动部的倾斜。并且，在这种情况下，静电执行机构构成为对应各梁状保持部的位置而配置部分执行机构即可。在第一实施方式中，虽然例示了设置有三个部分执行机构55的结构例，但是也可以是串联连接更多的部分执行机构阳的结构。同样地，在第二实施方式中，虽然例示了第一静电执行机构54A及第二静电执行机构54B分别具有两个部分执行机构55的例子，但是，例如如图13所示，也可以是具有更多的部分执行机构阳的结构。在图13所示的例子中，第一静电执行机构54A具有由第一固定部分电极及第一可动部分电极M4D1构成的第一部分执行机构55D1 ；由第一固定部分电极及第一可动部分电极M4D2构成的第一部分执行机构55D2 ；以及由第一固定部分电极及第一可动部分电极M4D3构成的第一部分执行机构55D3。并且，第二静电执行机构54B具有由第二固定部分电极M3E1及第二可动部分电极M4E1构成的第二部分执行机构55E1 ；由第二固定部分电极M3E2及第二可动部分电极M4E2构成的第二部分执行机构；以及由第二固定部分电极M3E3及第二可动部分电极M4E3构成的
22第二部分执行机构55E3。并且，在第二实施方式中，虽然例示了第一静电执行机构54A与第二静电执行机构54B并联连接的例子，但也可以并联连接更多的静电执行机构。例如，如图14所示，也可以将第一静电执行机构54A、第二静电执行机构54B及第三静电执行机构54C并联连接。在如该图14所示的例子中，第三静电执行机构54C具有由第三固定部分电极M3F1及第三可动部分电极构成的第三部分执行机构55F1 ；以及由第三固定部分电极M3F2及第三可动部分电极构成的第三部分执行机构55F2。在第二实施方式中，虽然例示了第一静电执行机构54A的第一部分执行机构 55D1、55D2与第二静电执行机构54B的第二部分执行机构55E1、55E2成为相同形状的结构， 但并不仅限于此。例如，在滤波器俯视图中，第一部分执行机构^Dl (55D2)、第二部分执行机构55E1(55E2)也可以形成为不同的形状、面积。在上述第一及第二实施方式中，作为波长可变干涉滤波器5、5A，例示了如下所述的例子在作为第二基板的可动基板52上设置可动部521，可动基板52的可动部521向固定基板51侧位移，但并不仅限于此。例如，也可以是在固定基板51上设置可动部，且该可动部能向可动基板52侧位移的结构等。在上述第二实施方式中，为了彼此连接第一可动部分电极M4D，而使用了环状的内侧可动连接电极M7A，且为了彼此连接第二可动部分电极M4E，而使用了环状的外侧可动连接电极M8A，但并不仅限于此。也就是说，只要是第一可动部分电极M4D彼此连接的结构、第二可动部分电极M4E彼此连接的结构，则可以形成为任何形状的连接电极。但是， 在保持部52上形成连接电极的情况下，需要使保持部522的挠曲均等且将可动部521维持为平行。因此，优选将连接电极设置为相对于基板中心(可动部521的中心)呈点对称的形状，如上述第二实施方式所述，可以通过形成为与假想圆P同心的环状，从而可以将针对保持部522的应力平衡保持为均等。在上述第一实施方式及第二实施方式中，虽然例示了可动电极542被设置在可动部521的可动面521A上的例子，但并不仅限于此。例如，也可以是将可动电极542设置在保持部522的与固定基板51相对的面上的结构。但是，如果在保持部522上形成可动电极 M2，则可以认为由于可动电极M2的膜应力的影响而发生挠曲。此时，在与保持部522的设置有可动电极M2的面相反一侧的面上，设置用于抵消可动电极M2的膜应力的挠曲防止膜，或者作为可动电极M2由膜应力的作用方向不同的多个电极层(具有拉伸应力的电极层及具有压缩应力的电极层)来构成，从而降低膜应力的影响即可。此外，作为本发明的电子设备，虽然在第一实施方式中例示了测色装置1，但除此之外还可以根据各种领域而使用本发明的波长可变干涉滤波器、光学滤波设备、光学组件、 电子设备。例如，可以用作用于检测特定物质存在的基于光的系统。作为这样的系统，可以例示出例如使用了本发明的波长可变干涉滤波器的采用分光计测方式来高灵敏度检测特定气体的车载用气体泄漏检测器、呼气检查用的光声稀有气体检测器等气体检测装置。下面，根据附图对这样的气体检测装置的一例进行说明。图15是表示具备波长可变干涉滤波器的气体检测装置的一例的概略图。图16是表示图15的气体检测装置的控制系统的结构的框图。
如图15所示，该气体检测装置100构成为具备传感器芯片110、流道120以及主体部130，其中，该流道120具备吸引口 120A、吸引流道120B、排出流道120C、以及排出口 120D。主体部130由检测装置、对检测出的信号进行处理并控制检测部的控制部138、提供电力的电力供给部139等构成，其中，该检测装置包括具有可装卸流道120的开口的传感器部盖131、排出单元133、壳体134、光学部135、滤波器136、波长可变干涉滤波器5以及光接收元件137(检测部)等。并且，光学部135由用于射出光的光源135A、分束器135B、透镜135C、135D、135E构成，该分光器135B向传感器芯片110侧反射从光源135A入射的光， 并使从传感器芯片侧入射的光透过至光接收元件137侧。此外，也可以配置波长可变干涉滤波器5A及光学滤波设备600来取代波长可变干涉滤波器5。并且，如图16所示，在气体检测装置100的表面设置有操作面板140、显示部141、 作为与外部的接口的连接部142、电力供给部139。在电力供给部139是蓄电池的情况下， 还可以具备用于充电的连接部143。而且，如图16所示，气体检测装置100的控制部138具备由CPU等构成的信号处理部144、用于控制光源135A的光源驱动电路145、用于控制波长可变干涉滤波器5的电压控制部146、接收来自光接收元件137的信号的光接收电路147、读取传感器芯片110的码并接收来自用于检测有无传感器芯片110的传感器芯片检测器148的信号的传感器芯片检测电路149、以及控制排出单元133的排出驱动电路150等。下面，对上述这样的气体检测装置100的动作进行说明。在主体部130的上部传感器部盖131的内部设置有传感器芯片检测器148，并通过该传感器芯片检测器148检测有无传感器芯片110。信号处理部144如果检测到来自传感器芯片检测器148的检测信号，则判断处于安装有传感器芯片110的状态，并向显示部141 发出用于显示表示能够实施检测动作的显示信号。并且，例如由使用者操作操作面板140，并将来自操作面板140的表示开始检测处理的指示信号输出给信号处理部144时，首先，信号处理部144向光源驱动电路145输出光源动作的信号以使光源135A动作。如果驱动光源135A，则从光源135A以单一波长射出直线偏振光的稳定的激光。此外，在光源135A中内置有温度传感器、光量传感器，其信息被输出给信号处理部144。然后，如果信号处理部144根据从光源135A输入的温度、光量，判断光源135A正在稳定地动作，则控制排出驱动电路150以使排出单元133动作。由此，包括应该检测的目标物质(气体分子)的气体试料从吸引口 120A被导向吸引流道120B、传感器芯片110内、排出流道120C、排出口 120D。此外，在吸引口 120A中设置有除尘过滤器120A1， 从而可以除去比较大的粉尘和一部分水蒸气等。此外，传感器芯片110是安装有多个金属纳米结构体、使用了局部表面等离子体共振的传感器。在这样的传感器芯片110中，通过激光在金属纳米结构体间形成加强电场， 当气体分子进入该加强电场时，会产生包括分子振动信息的拉曼散射光及瑞利散射光。这些瑞利散射光、拉曼散射光通过光学部135入射到滤波器136，通过滤波器136 分离瑞利散射光，从而拉曼散射光入射到波长可变干涉滤波器5。并且，信号处理部144控制电压控制部146，调整施加给波长可变干涉滤波器5的电压，通过波长可变干涉滤波器5 分光与作为检测对象的气体分子相对应的拉曼散射光。然后，如果通过光接收元件137接收分光后的光，通过光接收电路147将与光接收量相对应的光接收信号输出给信号处理部 144。信号处理部144将上述获得的作为检测对象的气体分子相对应的拉曼散射光的光谱数据和存储在ROM中的数据进行比较，并判断是否是目标气体分子，从而指定物质。然后，信号处理部144在显示部141上显示该结果信息、或从连接部142向外部输出。此外，在上述图15及图16中，虽然例示了通过波长可变干涉滤波器5分光拉曼散射光、并基于分光后的拉曼散射光来进行气体检测的气体检测装置100，但作为气体检测装置，还可以使用通过检测气体固有的吸光度以指定气体种类的气体检测装置。在这种情况下，可以使用使气体流入传感器内部且检测被入射光中的气体吸收的光的气体传感器作为本发明的光学组件。此外，可以将通过这样的气体传感器分析、判断流入传感器内的气体的气体检测装置作为本发明的电子设备。即使在这样的结构中，也可以使用波长可变干涉滤波器来检测气体的成分。此外，作为用于检测特定物质存在的系统，并不仅限于检测上述这样的气体，还可以例示出如下所述的物质成分分析装置基于近红外线分光的糖类的非侵入性测量装置； 食物、生物、矿物等的信息的非侵入性测量装置等。下面，作为上述物质成分分析装置的一例，对食物分析装置进行说明。图17是使用了波长可变干涉滤波器5的电子设备的一例的食物分析装置的概略结构的示意图。如图17所示，该食物分析装置200具备检测器210 (光学组件)、控制部220、显示部230。检测器210具备用于射出光的光源211、导入来自测定对象物的光的摄像透镜212、 对从摄像透镜212导入的光进行分光的波长可变干涉滤波器5、检测分光后的光的摄像部 213 (检测部)。此外，也可以配置波长可变干涉滤波器5A或光学滤波设备600来取代波长可变干涉滤波器5。此外，控制部220具备光源控制部221，实施光源211的点灯/灭灯控制、点灯时的亮度控制；电压控制部222，控制波长可变干涉滤波器5 ；检测控制部223，控制摄像部 213，并取得通过摄像部213拍摄到的分光图像；信号处理部224 ；以及存储部225。该食物分析装置200在驱动系统时，通过光源控制部221控制光源211，从光源 211向测定对象物照射光。并且，被测定对象物反射的光通过摄像透镜212入射到波长可变干涉滤波器5。波长可变干涉滤波器5在电压控制部222的控制下被施加能对想要的波长进行分光的电压，并通过由例如CDD摄像机等构成的摄像部213对分光后的光进行拍摄。 并且，将拍摄到的光作为分光图像存储在存储部225中。并且，信号处理部2M控制电压控制部222，使施加给波长可变干涉滤波器5的电压值变化，并取得针对各波长的分光图像。并且，信号处理部2M对存储部225存储的各图像中的各像素的数据进行运算处理，以求得各像素中的光谱。并且，在存储部225中存储有例如与光谱相对应的食物成分的相关信息，信号处理部2M根据存储部225所存储的食物的相关信息，对求得的光谱的数据进行分析，并求得检测对象中包括的食物成分及其含量。并且，可以还根据获得的食物成分及含量计算食物卡路里和新鲜度等。此外，通过分析图像内的光谱分布，还可以实施检查对象的食物中新鲜度降低的部分的提取等，且可进一步实施食物内所包括的异物等的检测。此外，信号处理部2M进行以下的处理在显示部230上显示上述这样获得的检查对象的食物成分和含量、卡路里和新鲜度等信息。并且，在图17中，虽然例示了食物分析装置200的例子，但通过大致相同的结构也可以用作上述那样的其他信息的非侵入性测量装置。例如，可以用作进行血液等体液成分的测定、分析等的分析生物体成分的生物体分析装置。作为这样的生物体分析装置，例如当作为对血液等体液成分进行测定的装置，如果是检测乙醇的装置，则可以被用作检测驾驶员的饮酒状态的酒驾防止装置。此外，也可以被用作具备这样的生物体分析装置的电子内窥镜系统。并且，作为使用了波长可变干涉滤波器5的电子设备的其它例子，还可以被用作实施矿物成分分析的矿物分析装置。并且，作为本发明的波长可变干涉滤波器、光学组件、电子设备，可以适用于下面这样的装置。例如，随着时间变化而使各波长的光的强度发生变化，从而可以由各波长的光来传送数据，在这种情况下，通过设置在光学组件上的波长可变干涉滤波器对特定波长的光进行分光，并由光接收部进行接收，从而可以提取出由特定波长的光传送的数据，并且，还可以通过具备这样的数据提取用光学组件的电子设备处理各波长的光的数据，来实施光通
信°此外，作为电子设备，可以适用于通过本发明的波长可变干涉滤波器对光进行分光从而拍摄分光图像的分光摄像机、分光分析机等。作为这样的分光摄像机的一例，可以列举出内置有波长可变干涉滤波器的红外线摄像机。图18是表示分光摄像机的概略结构的模式图。如图18所示，分光摄像机300具备摄像机主体310、摄像透镜单元320、以及摄像部330 (检测部)。摄像机主体310是由使用者把持、操作的部分。摄像透镜单元320设置在摄像机主体310上，其将入射的图像光导向摄像部330。 并且，如图18所示，该摄像透镜单元320构成为具备物镜321、成像透镜322以及设置在这些透镜间的波长可变干涉滤波器5。此外，也可以设置波长可变干涉滤波器5A或光学滤波设备600来取代波长可变干涉滤波器5。摄像部330由光接收元件构成，其对通过摄像透镜单元320导入的图像光进行拍摄。在这样的分光摄像机300中，通过波长可变干涉滤波器5使作为摄像对象的波长的光透过，从而可以对想要的波长的光的分光图像进行拍摄。而且，也可以将本发明的波长可变干涉滤波器用作带通滤波器，例如，也可以被用作如下所述的光学式激光装置，该光学式激光装置通过波长可变干涉滤波器仅对发光元件射出的规定波段的光中的、以规定波长为中心的狭窄波段的光进行分光并使其透过。并且，也可以将本发明的波长可变干涉滤波器用作生物体认证装置，例如，可以适用于使用了近红外区域或可视区域的光的、血管、指纹、视网膜和虹膜等认证装置。而且，可以将光学组件及电子设备用作浓度监测装置。在这种情况下，通过波长可变干涉滤波器，对从物质射出的红外能量(红外光)进行分光并进行分析，从而测定采样中的被检体浓度。如上所述，本发明的波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备还可以适用于对入射光中规定的光进行分光的任意装置。并且，如上所述，由于本发明的波长可变干涉滤波器可以通过一台设备对多个波长进行分光，所以可以高精度地实施多个波长的光谱的测定、针对多个成分的检测。因此，与通过多台设备提取想要的波长的现有装置相比，可以促进光学组件和电子设备的小型化，例如可以优选作为便携用或车载用的光学设备来适用。其他，关于实施本发明时的具体构造，只要在可实现本发明的目的的范围内可以适当变更为其他构造等。附图标记说明1作为电子设备的测色装置3作为光学组件的测色传感器5波长可变干涉滤波器31检测部51作为第一基板的固定基板52作为第二基板的可动基板54静电执行机构54A第一静电执行机构54B第二静电执行机构55(55A、55B、55C)部分执行机构55D(55DU55D2)第一部分执行机构55E(55EU55E2)第二部分执行机构56作为第一反射膜的固定反射膜57作为第二反射膜的可动反射膜100作为电子设备的气体检测装置200作为电子设备的食物分析装置300作为电子设备的分光摄像机521构成可动区域的可动部522构成可动区域的保持部541作为第一电极的固定电极542作为第二电极的可动电极543(543A,543B,543C)作为第一部分电极的固定部分电极543D(543DU543D2)作为第一部分电极的第一固定部分电极543E(543EU543E2)作为第一部分电极的第二固定部分电极544(544A,544B,544C)作为第二部分电极的可动部分电极544D(544DU544D2)作为第二部分电极的第一可动部分电极544E(544EU544E2)作为第二部分电极的第二可动部分电极600光学滤波设备601 壳体
2权利要求
1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置； 第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退； 第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，基于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极， 所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置， 在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极对应的所述第二部分电极相重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极， 这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接有多个所述部分执行机构。
2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述俯视图中，构成所述部分执行机构的所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任一方的外周缘位于另一方的外周缘的内侧。
3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 在所述俯视图中，多个所述第一部分电极分别是相同的形状， 在所述俯视图中，多个所述第二部分电极分别是相同的形状。
4.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 两个所述电压施加用部分电极在所述假想圆上彼此相邻配置，在所述静电执行机构中，在两个所述电压施加用部分电极之间，依次电串联连接有沿所述假想圆的圆周方向排列的所述部分执行机构。
5.根据权利要求3所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 两个所述电压施加用部分电极在所述假想圆上彼此相邻配置，在所述静电执行机构中，在两个所述电压施加用部分电极之间，依次电串联连接有沿所述假想圆的圆周方向排列的所述部分执行机构。
6.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于， 设置有多个所述静电执行机构，这些所述静电执行机构电并联连接。
7.根据权利要求3所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，设置有多个所述静电执行机构，这些所述静电执行机构电并联连接。
8.一种光学滤波设备，其特征在于，具备波长可变干涉滤波器以及收容所述波长可变干涉滤波器的壳体， 所述波长可变干涉滤波器具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置；第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退；第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，由于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极， 所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置， 在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极对应的所述第二部分电极相重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极， 这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接有多个所述部分执行机构。
9.一种光学组件，其特征在于，具备波长可变干涉滤波器以及对所述波长可变干涉滤波器所提取的光进行检测的检测部， 所述波长可变干涉滤波器具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置； 第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退； 第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，由于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极， 所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置， 在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极对应的所述第二部分电极相重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极， 这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接有多个所述部分执行机构。
10. 一种电子设备，其特征在于，具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对配置； 第一反射膜，设置在所述第一基板上；可动区域，设置在所述第二基板上，能相对于所述第一基板进退； 第二反射膜，设置在所述第二基板的所述可动区域上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；以及静电执行机构，具备设置在所述第一基板上的第一电极、以及设置在所述第二基板上且与所述第一电极相对的第二电极，由于电压施加而使所述可动区域相对于所述第一基板进退，其中，所述第一电极具备多个第一部分电极， 所述第二电极具备多个第二部分电极，所述第二部分电极各自与多个所述第一部分电极中的任意一个对应设置， 在从基板厚度方向观察到的所述第一基板及所述第二基板的俯视图中，所述第二部分电极至少一部分与对应的所述第一部分电极重叠，所述静电执行机构具备多个部分执行机构，该部分执行机构由所述俯视图中所述第一部分电极及与该第一部分电极对应的所述第二部分电极相重叠的区域构成，由所述第一部分电极及所述第二部分电极中的任意两个构成电压施加用部分电极， 这些多个所述部分执行机构在所述俯视图中具有相同面积，且各所述部分执行机构的重心点在以所述可动区域的重心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，在所述静电执行机构中，在所述电压施加用部分电极间电串联连接有多个所述部分执行机构。
全文摘要
本发明涉及一种波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备。该波长可变干涉滤波器具备静电执行机构，该静电执行机构具备固定电极及可动电极。并且，固定电极具备多个固定部分电极，可动电极具备多个可动部分电极，由彼此相对的固定部分电极及可动部分电极构成部分执行机构。此外，这些部分执行机构具有相同的面积，重心点在以可动部的中心点为中心的假想圆上以等角度间隔配置，这些部分执行机构在电压施加用部分电极间电串联连接。
文档编号G02B26/00GK102540312SQ20111043359
公开日2012年7月4日 申请日期2011年12月21日 优先权日2010年12月21日
发明者广久保望 申请人:精工爱普生株式会社