硅片显影定影装置制造方法
【专利摘要】一种硅片显影定影装置，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。本发明通过在槽体内设置气体分流装置，在显影定影液中通入气体，利用气泡的冲击力对硅片进行清洗，同时，气体可回收利用，不仅不会对环境造成污染，而且使用成本低。
【专利说明】硅片显影定影装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及硅片显影定影装置。
【背景技术】
[0002] 目前，硅片加工工艺中的显影定影设备主要是硅片浸没晃动显影定影设备，这种 设备需要在显影定影液中将硅片晃动清洗，虽然能大批量处理硅片，但晃动过程中容易导 致硅片破碎损坏。还有一种是采用喷嘴在硅片上喷洒显影定影液，同时硅片低速旋转，这种 设备处理硅片数量少，而且设备成本高。
【发明内容】
[0003] 为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种处理硅片效率 高，结构简单，成本低的娃片显影定影装置。
[0004] 为了解决上述问题，本发明采用以下技术方案：一种硅片显影定影装置，其特征在 于，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的 进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通 的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐 连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。
[0005] 优选的，所述气体分流装置为分流管，所述分流管上设置有若干出气孔。
[0006] 作为本发明的另一个优选实施例，所述气体分流装置为设置在所述槽体底部的盒 体，所述盒体的上表面设置有若干出气孔。
[0007] 本发明的有益效果是：它通过在槽体内设置气体分流装置，在显影定影液中通入 气体，利用气泡的冲击力对硅片进行清洗，同时，气体可回收利用，不仅不会对环境造成污 染，而且使用成本低。
【专利附图】
【附图说明】
[0008] 下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明： 图1为本发明第一实施例的俯视结构示意图； 图2为本发明第二实施例的主视结构示意图。
[0009] 图中，1槽体、2槽盖、3吹气泵、4吸气泵、5气体罐、6流量调节阀、7气体分流装置。
【具体实施方式】
[0010] 下面结合附图对本发明做进一步详细描述： 如图1和图2所示，本发明的第一实施例和第二实施例均包括槽体1、槽盖2、吹气泵3、 吸气泵4、气体罐5、流量调节阀6和气体分流装置7。
[0011] 所述吹气泵3的进气端通过管道与气体罐5连通，吹气泵3的出气端与所述气体 分流装置7通过管道连通，为了调节气体分流装置7的气体流量，在出气端与气体分流装置 7连通的管道上设置所述流量调节阀6。
[0012] 所述吸气泵4的进气端与槽体1的上端连通，吸气泵4的出气端与所述气体罐5 连通。所述气体分流装置7设置在槽体1底部。
[0013] 为了保证清洗时气体不泄露，槽盖2的边缘设置有密封条，且槽盖2采用较厚的钢 板，槽盖2盖在槽体1上时与槽体1紧密配合。
[0014] 对本发明的第一实施例，如图1所示，首先需要说明的是，图1中并未画出槽盖2。 本实施例中所述气体分流装置7为分流管，所述分流管上设置有若干出气孔，分流管的形 状可以多种多样，图1中所示的也不是唯一的形状，例如还可以是弯曲的"S"型，分流管可 以是直接放置在槽体1的底部，也可以焊接在槽体1的底部。
[0015] 对本发明的第二实施例，如图2所示，它的气体分流装置7为设置在所述槽体1底 部的盒体，所述盒体的上表面设置有若干出气孔，盒体的大小与槽体1的底部相同，盒体可 以直接焊接在槽体1底部，也可以放置在槽体1底部。
[0016] 由于氮气稳定性较强，不会与显影定影液反应，因此气体罐5内装入氮气，使用 时，将硅片篮放置在槽体1内，倒入显影定影液，盖上槽盖2,打开吸气泵和吹气泵，开始对 硅片清洗。气体在气体罐5和槽体1内循环。
[0017] 以上所述只是本发明的优选实施方式，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在 不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本发 明的保护范围。
【权利要求】
1. 一种硅片显影定影装置，其特征在于，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流 量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流 装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进 气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。
2. 根据权利要求1所述的硅片显影定影装置，其特征在于，所述气体分流装置为分流 管，所述分流管上设置有若干出气孔。
3. 根据权利要求1所述的硅片显影定影装置，其特征在于，所述气体分流装置为设置 在所述槽体底部的盒体，所述盒体的上表面设置有若干出气孔。
【文档编号】G03F7/30GK104102095SQ201410350781
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年7月23日 优先权日:2014年7月23日
【发明者】许玉雷 申请人:济南晶博电子有限公司