一种工件六自由度位置和姿态测量传感器装置的制作方法

文档序号:13217115阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种工件六自由度位置和姿态测量传感器装置,用于可同时对工件的垂向和水平向进行测量,其特征在于,包括光源,用于提供探测所述工件所需的光束;以及若干光学元件,用于将所述光束投射至所述工件上,并将所述工件上的反射光分别传送至第一光电探测器和第二光电探测器,所述第一光电探测器,用于探测所述工件的垂向度值;所述第二光电探测器,用于探测所述工件的水平度值。2.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述第一光电探测器为线阵探测器或者共焦探测器,所述第二光电探测器为面阵探测器或者二维阵列探测光谱仪。3.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述若干光学元件至少包括一个分光镜、一个棱镜组件、二个透镜和用于探测所述工件的垂向度值的所述第一光电探测器。4.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述若干光学元件至少包括一个分光镜、一套成像前组光学元件、一套成像后组光学元件和用于探测所述工件的水平度值的所述第二光电探测器。5.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述若干光学元件至少还包括投影狭缝组件、照明镜组、第一分光镜、大色差组件、第二分光镜、成像前组、可见光滤波片、成像后组、水平向成像元件、红外滤波片、第一探测镜组、探测狭缝组件、第二探测镜组、棱镜组件、第三探测镜组和垂向成像元件,所述光源、所述投影狭缝组件、所述照明镜组、所述第一分光镜、所述大色差组件、所述第二分光镜和成像前组为共用组件;所述共用组件与所述可见光滤波片、所述成像后组、所述水平向成像元件和所述第二光电探测器组成水平向测量传感器测量单元;所述共用组件与所述红外滤波片、所述第一探测镜组、所述探测狭缝组件、所述第二探测镜组、所述棱镜组件、所述第三探测镜组、所述垂向成像元件和所述第一光电探测器组成垂向传感器测量单元。6.根据权利要求2所述的测量装置,其特征在于,所述第二光电探测器使用可见光波段进行测量,所述第一光电探测器使用单色可见光或者红外光线进行测量。7.根据权利要求2所述的测量装置,其特征在于,所述若干光学元件至少包括一个快门,所述快门在仅有所述第一光电探测器工作时关闭,在所述第二光电探测器工作时打开。
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