技术总结
一种工件六自由度位置和姿态测量传感器装置，用于同时对工件的垂向和水平向进行测量，包括光源，用于提供探测所述工件所需的光束；以及若干光学元件，用于将所述光束投射至所述工件上，并将所述工件上的反射光分别传送至第一光电探测器和第二光电探测器，其特征在于，所述第一光电探测器，用于探测所述工件的垂向度值；所述第二光电探测器，用于探测所述工件的水平度值。
技术研发人员：程琦;陈飞彪;
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司;
文档号码：201410848264
技术研发日：2014.12.31
技术公布日：2016.07.27