技术总结
一种在光刻系统内使用的传输系统。所述束传输系统包括光学元件，所述光学元件被布置成接收来自辐射源的辐射束并且沿着一个或多个方向反射辐射的部分以形成用于供给到一个或多个工具的一个或多个分支辐射束。
技术研发人员：V·班尼恩;P·巴特瑞;R·范格尔库姆;L·阿门特;彼得·德亚格尔;G·德维里斯;R·栋克尔;W·恩格尔伦;O·弗里基恩斯;L·格瑞米克;A·卡塔伦尼克;E·鲁普斯特拉;H-K·尼恩惠斯;A·尼基帕罗夫;M·瑞肯斯;F·詹森;B·克鲁兹卡;
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司;
文档号码：201480063035
技术研发日：2014.09.24
技术公布日：2016.07.06