1.一种载台定位系统(200)，所述载台定位系统包括：
第一本体(20)；
第二本体(22)；
联接件(24)，所述联接件布置成用以将所述第一本体(20)与所述第二本体(22)彼此联接；
其中所述联接件(24)包括被布置成用以将所述第一本体(20)与所述第二本体(22)彼此联接的粘弹性元件(26)。
2.根据条目1所述的载台定位系统(200)，所述载台定位系统包括：
传感器(64)，用以提供表示所述第一本体(20)的位置的信号，
致动器，用以移动所述第一本体(20)，
其中，所述第二本体(22)被布置成用以将所述致动器与所述联接件(24)彼此联接。
3.根据条目2所述的载台定位系统(200)，其中所述第二本体(22)包括所述致动器。
4.根据条目2或3所述的载台定位系统(200)，其中所述致动器包括磁阻致动器。
5.根据条目2-4中任一项所述的载台定位系统(200)，所述载台定位系统包括长行程模块(66)，
其中所述长行程模块(66)被布置成用以移动所述致动器，且
其中所述致动器被布置成用以相对于所述长行程模块(66)来移动所述第一本体(20)。
6.根据条目1-5中任一项所述的载台定位系统(200)，其中所述联接件(24)包括弹性元件(28)，
其中所述弹性元件(28)被布置成用以与所述粘弹性元件(26)并行地将所述第一本体(20)和所述第二本体(22)彼此联接。
7.根据条目1-6中任一项所述的载台定位系统(200)，其中所述粘弹性元件(26)具有频率依赖刚度(300)，
所述频率依赖刚度(300)以玻璃转变区(320)为特征，
所述第一本体(20)形成了以主自然频率(fn)为特征的动态系统，
其中所述主自然频率(fn)在所述载台定位系统(200)的操作温度处于所述玻璃转变区(320)中。
8.根据条目7所述的载台定位系统(200)，其中，
其中所述联接件(24)包括弹性元件(28)，所述弹性元件(28)被布置成用以与所述粘弹性元件(26)并行地将所述第一本体(20)和所述第二本体(22)彼此联接；
所述弹性元件具有为第一值(400)的刚度，
所述频率依赖刚度(300)以玻璃区(310)为特征，
所述频率依赖刚度(300)以橡胶区(330)为特征，
所述频率依赖刚度(300)在第二频率(f2)具有第二值(420)，
所述第二频率(f2)在所述载台定位系统(200)的所述操作温度处于所述橡胶区(330)中，
所述频率依赖刚度(300)在第三频率(f3)具有第三值(430)，
所述第三频率(f3)在所述载台定位系统(200)的所述操作温度处于所述玻璃区(310)中，
所述第二频率(f2)低于所述主自然频率(fn)，
所述第三频率(f3)高于所述主自然频率(fn)，
所述第一值(400)大于所述第二值(420)，并且
所述第一值(400)小于所述第三值(430)。
9.根据条目8所述的载台定位系统(200)，其中所述频率依赖刚度(300)在所述主自然频率(fn)下具有第四值(440)，且其中所述第四值(440)大于所述第一值(400)。
10.根据条目7-9中任一项所述的载台定位系统(200)，
其中所述第一本体(20)、所述第二本体(22)及所述联接件(24)一起形成具有另一自然频率的另一动态系统，
其中所述另一自然频率对应于实质上由所述联接件(24)的变形而确定的谐振模式，
其中所述主自然频率(fn)等于所述另一自然频率。
11.一种光刻设备，包括：
支撑结构(MT)，所述支撑结构用于支撑具有图案的图案形成装置(MA)，
投影系统(PS)，所述投影系统用于将所述图案投影到衬底(W)上，
衬底台(WT)，所述衬底台(WT)用于保持所述衬底(W)，
根据前述条目中任一项所述的载台定位系统(200)，
其中所述第一本体(20)包括所述支撑结构(MT)和所述衬底台(W)之一。