用于SOI芯片‑光纤耦合的堆叠式光子芯片耦合器的制作方法

文档序号:11530197阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供了一种通过接合的光子芯片(104)耦合器构建的用于绝缘体上硅(SOI)芯片‑光纤(106)耦合的光耦合器。用于将光子芯片(104)耦合至光纤(106)的光耦合器包括:光子芯片(104),该光子芯片包括纳米级光子波导(106)、光子光学衍射表面光栅(122)以及覆盖光子波导(106)和光子光栅(122)的第一覆层(120);以及光耦合芯片(102),该光耦合芯片包括嵌入在第一耦合覆层(114)中且嵌在第二耦合覆层(110)上的微米级耦合波导和耦合光学衍射表面光栅(112),其中,第一耦合覆层(114)连接至第一覆层(120),其中,光耦合芯片(102)被构造成对在光子芯片(104)与光纤(106)之间传输的光进行耦合。

技术研发人员:蒋嘉
受保护的技术使用者:华为技术有限公司
技术研发日:2015.09.29
技术公布日:2017.08.18
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