用于在激光脉冲装置中折叠光路的折返光学系统的制作方法

文档序号:11160574阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于激光脉冲压缩机的折返光学系统(1),包括至少两个分别具有一个平坦的镜面(7)的镜元件(6),所述镜元件由保持装置(2)通过力锁合在空间上固定,使得两个镜面(7)相对于彼此设置在预先规定的角度中,其特征在于,两个镜元件(6)中的每一个分别沿角度器(8)的一个侧面定向,其中,这两个侧面相对于彼此设置在预先规定的角度中,并且所述角度器(8)用作用于使镜元件(6)与保持装置(2)之间力锁合地连接的支座,其中,为了力锁合而作用到相应镜元件(6)上的力能间接地通过设置在张紧元件(9)和相应镜元件(6)之间的并且面形地构成的弹簧元件(11)传递。

2.根据权利要求1所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述弹簧元件(11)拱曲地构成并且设置成,使得所述弹簧元件(11)相对于与镜元件(6)的接触面具有至少一个凸出延伸的拱曲部。

3.根据上述权利要求中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,一个或所述张紧元件(9)能绕轴线旋转地支承,从而能由张紧元件(9)获得的力的方向是可变的。

4.根据上述权利要求中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述预先规定的角度小于120°、特别是为90°。

5.根据上述权利要求中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述角度器(8)由陶瓷、金属或玻璃基体制成。

6.根据权利要求5所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述角度器(8)由单晶体制成。

7.根据上述权利要求中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述角度器(8)的各侧面是打磨和/或抛光的。

8.根据上述权利要求中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,在所述角度器(8)的表面上施加反射涂层(17)。

9.根据上述权利要求中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述保持装置(2)具有底板(3)和与底板(3)相对置的保持元件(5),为了力锁合地固定设置在所述底板(3)与所述保持元件(5)之间的所述镜元件(6),所述保持元件用作支座,其中,在底板(3)与保持元件(5)之间传递的力垂直于由镜面(7)的法向量限定的平面作用。

10.根据权利要求9所述的折返光学系统(1),其特征在于,设置在所述保持元件(5)与相应镜元件(6)之间的保持件(13)将用于力锁合连接的力传递到所述镜元件(6)上。

11.根据权利要求10所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述保持件(13)和/或所述保持元件(5)弹性地支承。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,向所述保持装置(2)的底板(3)中引入至少一个缝隙(14、15),所述缝隙平行于底板(3)的底面延伸并且构造成,使得通过沿垂直于底板(3)的底面延伸的方向作用到底板(3)上的力能实现镜元件(6)绕第一翻转轴线(16)的翻转。

13.根据权利要求12所述的折返光学系统(1),其特征在于,向所述保持装置(2)的底板中引入另一个缝隙(15),所述另一个缝隙平行于底板(3)的底面延伸并且构造成,使得通过沿垂直于底板(3)的底面延伸的方向作用到底板(3)上的力能实现镜元件(6)的绕第二翻转轴线(16)的翻转。

14.根据权利要求13所述的折返光学系统(1),其特征在于,第一和第二翻转轴线(16、17)相互垂直地延伸。

15.根据权利要求12至14中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,所述底板(3)平坦的上侧相对于底板(3)的与上侧相对置的平坦的下侧以不等于零的角度(α)延伸。

16.根据权利要求10至14中任一项所述的折返光学系统(1),其特征在于,保持装置(2)包括垂直于所述保持元件(5)设置的另一个保持元件,所述另一个保持元件对于镜元件(6)之一形成侧面的限制。

17.激光脉冲装置,包括光学元件,特别是棱镜、光栅和/或色散反射镜的布置结构,其特征在于,设置至少一个根据上述权利要求中任一项所述的折返光学系统(1),用于引导激光射线通过光学元件的所述布置结构。

18.根据权利要求17所述的激光脉冲装置,其特征在于,光学元件的所述布置结构设置在两个折返光学系统(1)之间。

19.根据权利要求17或18所述的激光脉冲装置,其特征在于,所述折返光学系统(1)的保持装置(2)能平行于激光射线的传播方向移动地支承。

20.根据权利要求17至19中任一项所述的激光脉冲装置,其特征在于,光学元件的所述布置结构具有缩短激光脉冲的脉冲持续时间的色散。

21.根据权利要求17至19中任一项所述的激光脉冲装置,其特征在于,光学元件的所述布置结构具有延长激光脉冲的脉冲持续时间的色散。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1