1.一种制造光刻结构的光学系统(1)，所述光学系统(1)包括：
--投射光学单元(8)，用于将制造结构的写入光束引导到基板平面(12)中的基板表面(10)的区域中的写入焦点(9)，
--偏转装置(5)，用于在所述基板表面(10)的所述区域中的写入场(13)内偏转所述写入光束的写入焦点(9)，
--预览光学单元(14)，用于将预览场(15)成像在所述基板表面(10)的所述区域中，其中所述预览场(15)的面积是所述写入场(13)的面积的至少10倍，
--其中所述投射光学单元(8)和所述预览光学单元(14)由共同框架(16)承载，
--基板固定器(18)，所述基板固定器(18)在平行于所述基板表面(10)的平面(xy)中是以两个平移自由度(x，y)可位移的，
--控制单元(27)，所述控制单元(27)包括存储器(28)，所述存储器(28)中存储所述写入场(13)的位置相对于所述预览场(15)的位置的相对坐标(RKx，RKy)。
2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于工艺照相机(23)，所述工艺照相机(23)用于使用所述投射光学单元(8)中的所述写入光束的束路径捕获所述写入场(13)。
3.根据权利要求1或2所述的光学系统，其特征在于，所述投射光学单元(8)相对于所述预览光学单元(14)在垂直于所述基板平面(12)的方向(z)上是可位移的。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的光学系统，其特征在于自动聚焦装置(25)，所述自动聚焦装置(25)用于确定所述投射光学单元(8)和/或所述预览光学单元(14)的焦平面。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的光学系统，其特征在于，所述投射光学单元(8)具有大于1.0的像侧数值孔径。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的光学系统，其特征在于，所述预览光学单元(14)具有小于0.1的像侧数值孔径。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的光学系统，其特征在于光源(3)，所述光源(3)用于产生写入光(4)。
8.一种在根据权利要求1-7中任一项所述的光学系统(1)中确定写入场(13)的位置相对于预览场(15)的位置的相对坐标(RKx，RKy)的方法，所述方法包括以下步骤：
--使用两个光学单元(8，14)中的一个，在初始场(13，15)中记录测试物体，所述两个光学单元(8，14)来自以下光学组：预览光学单元(14)和投射光学单元(8)，并且初始场(13，15)即为两个场中的一个，所述两个场来自以下场组：预览场(15)和写入场(13)，
--在所述初始场(13，15)中定位所述测试物体，使得所述测试物体具有所述初始场(13，15)中的限定位置，
--通过所述基板固定器(18)执行所述测试物体在所述初始场(13，15)与目标场(15，13)之间的粗位移，所述目标场即为来自所述场组的所述两个场中的另一个，
--登记此粗位移的粗相对坐标(RKx，粗；RKy，粗)，
--使用来自所述光学组的所述两个光学单元(14，8)中的另一个记录所述测试物体，
--在所述目标场(15，13)中精细定位所述测试物体，使得所述测试物体具有所述目标场(15，13)中的限定位置，
--登记在所述精细定位期间所述粗相对坐标(RKx，粗；RKy，粗)的改变，并且从所述粗相对坐标(RKx，粗；RKy，粗)和所述登记的结果产生所述相对坐标(RKx，RKy)。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在所述精细定位期间，将一方面所述测试物体在所述初始场(13，15)中的位置和另一方面所述测试物体在所述目标场(15，13)中的位置的关联最大化。
10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，使用所述记录光学单元(8，14)，在所述记录光学单元(14，8)在垂直于所述基板平面(12)的位移方向(z)上相对于所述测试物体的各位移位置，记录所述测试物体的各图像，从而记录所述测试物体，在所述记录所述测试物体期间，产生图像叠层。
11.根据权利要求8-10中任一项所述的方法，其特征在于，在所述确定期间，所述测试物体在所述场组的各场(13，15)之间的粗位移发生多次。
12.一种使用根据权利要求1-7中任一项所述的光学系统(1)制造光刻结构的方法，所述方法包括以下步骤：
--使用根据权利要求8-11中任一项所述的方法，确定所述写入场(13)的位置相对于所述预览场(15)的位置的相对坐标(RKx；RKy)，
--在所述基板固定器(18)上提供所述基板(11)，
--确定所述预览场(15)中的所述基板(11)上的写入目标位置，
--使用确定的相对坐标(RKx，RKy)，将所述写入目标位置从所述预览场(15)移动到所述写入场(13)中，
--使用所述写入光束，将预定结构写入到所述写入场(13)中。
13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，在所述写入目标位置从所述预览场(15)移动到所述写入场(13)中之前，在所述预览场(15)中对准所述写入目标位置。