技术总结
一种用于制造光刻结构的光学系统(1)具有投射镜头系统(8)，其用于将制造结构的写入光束引导到基板平面(12)中的基板表面(10)的区域中的写入焦点(9)中。偏转装置(5)用于在基板表面(10)的区域中的写入场(13)内偏转写入光束的写入焦点(9)。预览镜头系统(14)，用于在基板表面(10)的区域中成像预览场(15)。预览场(15)的面积是写入场(13)的面积的至少10倍。投射镜头系统(8)和预览镜头系统(14)由共同框架(16)支撑。基板固定器(18)在平行于基板表面(10)的平面(x，y)中以两个平移自由度(x，y)可位移。此外，系统(1)具有控制单元(27)，控制单元包括存储器(28)，存储器中存储写入场(13)的位置相对于预览场(15)的位置的相对坐标。呈现出一种光学系统，其中以良好目标精度实现了在制造光刻结构时被处理的基板的定位。
技术研发人员：P.许布纳;G.克拉姆珀特;S.里克特;T.梅普斯
受保护的技术使用者：卡尔蔡司股份公司
文档号码：201580054446
技术研发日：2015.09.22
技术公布日：2017.05.31