检测或补正位置系统及其方法与流程

本发明涉及一种检测或补正位置系统及其方法，尤指一种能够缩短测量时间与提升测量精准度的方法与系统。

背景技术：

薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay，以下简称tft-lcd)已广泛地应用于人们的日常生活中，tft-lcd于制造过程中需进行测量，以确认tft-lcd能够进行后续的制造过程。

但是，tft-lcd测量不可避免会有龙门、探针头或悬臂，或是移动过程中产生有形变，从而造成机构偏移量，使得探针头寻址时的位置产生异常。进而导致测量的不准确性。

若以人工方式进行探针头定位，则要对tft-lcd的各晶体管一一进行定位，方能达到准确性的要求，但人工方式又往往会耗费大量的工时，故如何在一较短时间内提升测量的精准性就有可讨论的空间。

技术实现要素：

有鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种检测或补正位置系统及其方法，其将待测物分为多个预定位置，视觉测量单元测量少量的预定位置，并于每次测量后即进行补正动作，以缩短测量时间，并提升测量的精准度。

为了达到上述目的，本发明提供了一种检测或补正位置系统，其包含有：

一基座；

一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及

一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；

其中，该基座承载一待测物，该待测物设有多个待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置，该视觉测量单元撷取一影像信息并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录；于执行该检测程序时，该控制单元根据该补正值控制该视觉测量单元的位置。

于一实施例中，该控制单元具有一演算模块、一补偿模块与一记录模块，该演算单元接收该影像信息，以计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并将该距离传送给该补偿模块，以产生该补正值，该补偿模块将该补正值传送给该视觉测量单元与该记录模块，该记录模块储存该补正值；该待测物为一待测基板或一待测面板，当该待测物为待测基板时，该待测点为一晶体管；当该待测物为待测面板时，该待测点为一像素。

于一实施例中，检测或补正位置系统还包含一第一移动机构、一第二移动机构、一第三移动机构与一载台，该第一移动机构设于该基座并可相对于该待测物于第一方向移动，该第二移动机构设于 该第一移动机构，该第二移动机构可相对于该待测物于第二方向移动，该第三移动机构设于该第二移动机构，该第三移动机构可相对于该待测物于第三方向移动，该第三移动机构、该第二移动机构与该第一移动机构电性连接该控制单元；该载台设于该基座，该载台供该待测物设置。

于一实施例中，该视觉测量单元还具有一探针模块，该探针模块设于该第三移动机构。

于一实施例中，该视觉测量单元还具有一视觉撷取模块，该视觉撷取模块设于该第三移动机构。

于一实施例中，检测或补正位置系统还具有一视觉倍增模块，该视觉倍增模块设于该第三移动机构。

本发明还提供了一种检测或补正位置方法，该方法用于执行一补正程序，该补正程序包含以下步骤：

移动视觉至预定位置，一视觉测量单元设有一定位标记，一待测物具有多个待测点，该待测物设定有多个预定位置，各预定位置具有该待测点；

选定多个预定位置，已选定的各预定位置之间具有一预定距离，该预定距离为多个该预定位置的距离总和；该视觉测量单元随机移动至任一预定位置的上方，该视觉测量单元撷取该预定位置的待测点与该定位标记的影像信息，该影像信息传送给一控制单元，以使该控制单元能设该定待测点于该定位标记的位置；

选择最近该定位标记的该待测点，该视觉测量单元撷取一影像信息，该影像信息具有该定位标记与最邻近的该定位标记的该待测点，该影像信息传送给一控制单元由控制单元选出最邻近该定位标 记的待测点；

计算该定位标记与该待测点的间的距离，该控制单元依据该影像信息计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并依该距离产生一补正值；以及

执行记录及补正，该视觉测量单元依据该补正值进行一补正动作，该控制单元记录该补正值。

于一实施例中，还包括选择进行一检测程序的步骤，该控制单元根据该补正程序产生的补正值控制该视觉测量单元的位置。

本发明还提供了另一种检测或补正位置方法，该方法用于执行一检测程序，该检测程序包含以下步骤：

一控制单元根据一补正程序产生的补正值控制一视觉测量单元的位置。

于一实施例中，还包括选择进行一补正程序的步骤，该步骤包含以下子步骤：

移动视觉至预定位置，该视觉测量单元设有一定位标记，一待测物具有多个待测点，该待测物设定有多个预定位置，各预定位置具有该待测点；选定多个预定位置，已选定的各预定位置的间具有一预定距离，该预定距离可为多个该预定位置的距离总和；该视觉测量单元随机移动至任一预定位置的上方，该视觉测量单元撷取该预定位置的待测点与该定位标记的影像信息，该影像信息传送给该控制单元，以使该控制单元能设该定待测点于该定位标记的位置；

选择最近该定位标记的该待测点，该视觉测量单元撷取一影像信息，该影像信息具有该定位标记与最邻近的该定位标记的该待测点，该影像信息传送给该控制单元，由控制单元选出最邻近该定位 标记的待测点；

计算该定位标记与该待测点之间的距离，该控制单元依据该影像信息计算出该定位标记与该待测点之间的距离，并依该距离产生一补正值；以及

执行记录及补正，该视觉测量单元依据该补正值进行一补正动作，该控制单元记录该补正值。

于一实施例中，进一步包括一决定是否至下一个预定位置的步骤，若为否，则至结束；若为是，则返回至该移动视觉至预定位置的步骤，以产生另一补正值，该控制单元记录该另一补正值，该视觉测量单元进行另一位置补正动作；该待测物为一待测基板或一待测面板，当该待测物为待测基板时，该待测点为一晶体管；当该待测物为待测面板时，该待测点为一像素。

于一实施例中，还包含有一设定待测点于定位标记的位置的步骤，选定该待测点于该定位标记的位置，以设定该定位标记与该待测点的距离，该设定传送给该控制单元，该控制单元记录该设定。

于一实施例中，于计算定位标记与待测点之间的距离的步骤中，一演算模块依据该测量结果计算出该定位标记与该待测点之间的距离，该距离传送给一补偿模块以产生一补正值，该补正值传送给该视觉测量单元与一记录模块。综合上述，本发明提供的检测或补正位置系统及其方法，其使视觉测量单元测量少量的待测物的预定位置，于每次测量后，即可立即执行补正的动作，以缩短测量时间，并提升测量的精准性。

附图说明

图1为一待测物的示意图；

图2为本发明提供的检测或补正位置系统的示意图；

图3为本发明提供的检测或补正位置系统的示意图；

图4为本发明提供的检测或补正位置方法的流程示意图；

图5为定位标记与待测点的示意图；

图6为定位标记与邻近该定位标记的待测点的示意图；

图7为定位标记位于待测物的预定位置的上方的示意图。

附图标记说明：1-待测物；10-待测点；11-预定位置；2-视觉测量单元；20-基座；21-第一移动机构；22-第三移动机构；23-视觉撷取模块；230-定位标记；24-探针模块；25-第二移动机构；26-载台；27-对位视觉撷取模块；3-控制单元；30-演算模块；31-补偿模块；32-记录模块；s1～s6-步骤。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，所属技术领域中具有通常知识者可由本说明书所揭示的内容，轻易地了解本发明的其他优点与功效。

如图2与图3所示，本发明提供了一种检测或补正位置系统，其用于执行一检测程序或一校正程序，该检测或补正位置系统包含有一基座20、一视觉测量单元2、一移动单元、一载台26与一控制单元3。

载台26设于基座20。载台26供一待测物1设置。如图1至图3所示，待测物1具有多个待测点10，待测点10以dm×dn矩阵排列，m、n为常数，m、n可依实际待测物1的尺寸而变更，故不限定。待测物1设定有多个预定位置11，各预定位置11具有一待测点10。该待测物1为一待测基板或一待测面板，当该待测物1为待测基板时，该待测点10为一晶体管；当该待测物1为待测面板时， 该待测点10为一像素。

视觉测量单元2具有一视觉撷取模块23、一探针模块24与至少一对位视觉撷取模块27，该视觉撷取模块23与该探针模块24之间隔距离为现有已知技术，故不于此多论述，特先陈明。

移动单元具有一第一移动机构21、一第二移动机构25与一第三移动机构22。

第一移动机构21滑设于基座20的顶端，并相对于待测物1于第一方向移动。

第二移动机构25设于第一移动机构21，并相对于待测物1于第二方向移动。

第三移动机构22设于第二移动机构25，并相对于待测物1于第三方向移动。

视觉撷取模块23设于第三移动机构22，如图5所示，视觉撷取模块23具有一定位标记230。探针模块24设于第三移动机构22。

举例而言，上述第一移动机构21、第二移动机构25与第三移动机构能够进行上述第一方向移动、第二方向移动或第三方向移动，直至视觉撷取模块23移动至预定位置11或者探针模块23移动至预定位置11。

视觉撷取模块23撷取一影像信息，该影像信息包含有定位标记230与邻近该定位标记230的待测点10，如图6所示。探针模块24对待测点10进行测量，因探针模块24非本案的重点，故不再进一步论述，特先陈明。

因探针模块24可依据实际需求决定是否要设置探针模块24。若未设置探针模块24，可以用一视觉倍增模块替换探针模块24，该 视觉倍增模块配合视觉撷取模块23，以供工作人员操作，并放大待测点11的影像，以进行人工目视检查。

对位视觉撷取模块27设于载台26的至少一侧，于本实施例中，对位视觉撷取模块27设于载台26的两侧。对位视觉撷取模块25撷取位于载台26的待测物1的影像，撷取该影像以确认待测物1位于载台26所设定的位置，若由该影像中判定待测物1有偏位的情况，可对待测物1进行调整。以避免待测物1偏位。

控制单元3电性连接该基座20与视觉测量单元2。控制单元3具有一演算模块30、一补偿模块31与一记录模块32。

演算单元30接收该影像信息，以计算出定位标记230与待测点10之间的距离，并将该距离传送给补偿模块31，以产生一补正值，补偿模块31将该补正值传送给视觉测量单元2与记录模块32，记录模块32储存该补正值，视觉测量单元2依据该补正值进行一补正动作，该补正动作可视为一校正程序。该控制单元3配合补正值而控制视觉测量单元2的位置，其可视为一检测程序。

如图1至图4所示，本发明提供的检测或补正位置方法，该方法用于执行一补正程序，该检测或补正位置方法的包含以下步骤：

s1，设定待测点于定位标记的位置，如图5所示，视觉撷取模块23设有定位标记230，如上所述与图1所示，待测物1设有多个预定位置11，为了便于说明，故预定位置11以图1的d1至dn或d1至dm表示。

若选择d3、d6、d9至d3x，或者d2、d4、d6至d2x。x为常数。如前所述，已选定的各预定位置11之间具有预定距离，该预定距离可为多个预定位置11的距离总和，预定位置11的数量不限定，其依现场的工作人员所设定。

举例而言，选择预定位置11时，应考虑移动单元于移动过程有可能会产生机械误差，视觉测量单元2原本预定移至d9，但因机械误差量过大，有可能移动至d8或d10，所以该移动单元于移动上述的距离总和的机械误差值小于一个待测点10的尺寸，以避免移动单元将视觉测量单元2移动至偏离已选定的预定位置11的位置。

设定待测点10于定位标记230的位置时，视觉撷取模块23选定或随机移动至一待测点10的上方，并选定该待测点10于该定位标记230的位置。如图5所示，选定该晶体管(待测点10)于该定位标记230的位置。视觉撷取模块23撷取该待测点10与定位标记230的影像信息，该影像信息传送给控制单元3，以使控制单元3能设定待测点10于定位标记230的位置。

s2，移动视觉至预定位置，上述移动单元进行第一方向移动、第二方向移动或第三方向移动，以使视觉撷取模块23移动至一预定位置11。

s3，选择最近定位标记的待测点，如步骤s2所述，视觉撷取模块23的定位标记230位于待测物1的预定位置11的上方，视觉撷取模块23撷取一影像信息，该影像信息包含定位标记230与邻近的定位标记230的待测点10，该影像信息传送给一控制单元3，从而选出最邻近定位标记230的待测点10。若更进一步说明，该影像信息应为定位标记230与所选择的最邻近定位标记230的待测点10的影像。

s4，计算定位标记与待测点之间的距离，控制单元3中的演算模块30依据影像信息，以计算出定位标记230与最邻近的定位标记230的待测点10之间的距离，该距离传送给补偿模块31，以产生一补正值，补偿模块31将补正值传送给视觉测量单元2与记录模块 32。

s5，执行记录及补正，视觉测量单元2依据补正值进行一补正动作，从而使视觉撷取模块23的定位标记230位于待测物1的预定位置11的上方，记录模块记录补正值，如图7所示。

s6，是否至下一个预定位置，若为否，则至结束；若为是，则回至步骤s2，以产生另一补正值，控制单元3系记录另一补正值，视觉测量单元2进行另一补正动作。举例而言，若以上述的d3、d6、d9至d3x说明，第一个预定位置11可为d3，则下一个预定位置可依序为d6、d9至d3x。

于上述的d3、d6、d9至d3x各产生一补正值。

如上所述的补正程序，若执行上述补正程序，则可进一步选择进行一检测程序的步骤，该控制单元3根据该补正程序所产生的补正值控制该视觉测量单元2的位置。

本发明还公开了一种检测或补正位置方法，该方法用于执行一检测程序，该检测或补正位置方法包含以下步骤：

控制单元3改进一补正程序产生的补正值控制视觉测量单元2的位置。

当视觉测量单元2移动至预定位置11时，视觉测量单元2因受到上述的补正值补正，因此定位标记230会接近一待测点10，如图7所示，以使探针模块24测量最接近定位标记230的待测点10。或者以视觉撷取模块23配合视觉倍增模块进行检测程序。

举例而言，若以上述的d3、d6、d9至d3x说明，假若于检测时，视觉撷取模块23或探针模块24可能移动至d6与d9之间，所以控制单元选择d6的补正值与d9的补正值，并通过一数学运算得 出一新的补正值，该新的补正值提供给视觉测量单元2，以使视觉测量单元2进行一位置补正动作，待位置补正动作完成后，则可进行一检测程序。

若更进一步说明，若视觉测量单元2于进行检测程序，移动至非预定位置11时，控制单元3选择位于该非预定位置11的前一预定位置11的补正值与后一预定位置11的补正值，并将两个补正值通过一数学运算得出新的补正值，该新的补正值提供给视觉测量单元2，以使视觉测量单元2进行一位置补正动作，待位置补正动作完成后，则可进行一检测程序。

如上所述的检测程序，其可进一步选择进行补正程序，该补正程序如上所述，故不于此赘述。

综合上述，本发明提供的检测或补正位置系统及其方法，其将待测物1分为多个预定位置11，视觉测量单元2只需测量所选定的预定位置11，预定位置11的数量可依实际数量决定，因此可于较短的时间内，即可使视觉测量单元2进行补正。

另外，检测或补正位置系统可选择进行补正程序或检测程序，其依据实据需求设定检测或补正位置系统进行检测程序与补正程序的顺序或仅执行其一。

以上所述具体实施例仅用于例释本发明的特点及功效，而非用于限定本发明的可实施范畴，于未脱离本发明上揭的精神与技术范畴下，任何运用本发明所揭示内容而完成的等效改变及修饰，均仍应为本案权利要求范围所涵盖。