一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器的制作方法

文档序号:14686251发布日期:2018-06-15 00:09阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提出一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器,它包括由两根平行设置在衬底上的硅基纳米线构成的槽波导和上层条形波导;所述槽波导沿长度方向分为信号输入段、中间传输段和信号输出段,上层条形波导设置在中间传输段的正上方,与槽波导之间的高度间距为D;上层条形波导与中间传输段形成垂直耦合区;包含横磁模和横电模的输入信号从所述槽波导的信号输入段输入,在进入垂直耦合区后,输入的横磁模信号被耦合至上层条形波导并在输出端因光场衍射而损耗;输入的横电模信号直接在槽波导中传输并在信号输出段输出。本发明具有尺寸小、偏振消光比高、插入损耗低等优点。

技术研发人员:肖金标;徐银;
受保护的技术使用者:东南大学;
技术研发日:2016.05.17
技术公布日:2016.07.13

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