一种耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜的制作方法

文档序号:11152449阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,包括:柔性基体衬底及设置于其表面上的功能薄膜堆积层;所述的功能薄膜堆积层包括:

光学反射膜层,设于柔性基体衬底表面,该层为铝或银中的任一种金属或二者的复合物,其在可见光波段反射率不低于88%;

保护膜层,所述的保护膜层包含至少一种铬的氮化物;

透明过渡层,设置于光学反射膜层和保护膜层之间,所述的透明过渡层为磷酸铝。

2.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,所述的保护膜层为CrN、Cr2N或二者的复合物。

3.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,所述的透明过渡层采用非晶态的磷酸铝,其中铝磷原子比在从1:1到1:3的范围内。

4.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,所述的透明过渡层厚度为100纳米到5微米。

5.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,所述的保护膜层厚度为100纳米到2微米。

6.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,在所述的保护膜层表面还设有一层透明磷酸铝层。

7.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,所述的柔性基体衬底为具有柔性的金属、柔性玻璃、柔性陶瓷、高分子聚合物或其复合材料。

8.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,所述的柔性基体衬底为铝、铝合金或不锈钢的箔材/薄片。

9.如权利要求1所述的耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,在所述的光学反射膜层及柔性基体衬底之间设有过渡黏合层。

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