技术总结
本发明提供了一种基于平面杂化波导的石墨烯电光调制器，包括衬底、设置在衬底表面的波导层、以及依次设置在波导层上的第一石墨烯层、电容层、第二石墨烯层和金属层；第一石墨烯层与波导层之间通过第一低折射率介质层隔离，第二石墨烯层与金属层之间通过第二低折射率介质层隔离，波导层、第一石墨烯层、电容层、第二石墨烯层和金属层在垂直于衬底方向上重叠；波导层材质包括高折射率介质或贵金属；石墨烯电光调制器还包括平行于衬底且互相垂直的第一方向和第二方向，第一方向与光传输方向平行；在第二方向上，第一石墨烯层和第二石墨烯层包括向相反方向延伸的延伸端，第一石墨烯层的延伸端上设有第一电极，第二石墨烯层的延伸端上设有第二电极。
技术研发人员：张晗;陈兴;张家宜
受保护的技术使用者：深圳大学
文档号码：201611110879
技术研发日：2016.12.06
技术公布日：2017.03.22