一种用于集成光学相控阵的电光单元及光学相控阵的制作方法

文档序号:11152677阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电光单元,其特征在于,包括一光耦合器、一微型谐振器、一电光控制结构和一光发射器;其中

该光耦合器与该微型谐振器连接,用于将光信号耦合输入到该微型谐振器内;

该电光控制结构设置于该微型谐振器内,用于调制该微型谐振器内的光信号的光场强度和或相位;

该光发射器与该微型谐振器的输出端连接,用于将输出光场发射到空间中。

2.如权利要求1所述的电光单元,其特征在于,该电光控制结构包括电光作用区和电学连接线;其中,电学连接线与电光作用区连接,用于将电信号加载到该电光作用区。

3.如权利要求2所述的电光单元,其特征在于,该电光作用区的材料为具有电光效应的材料。

4.如权利要求2或3所述的电光单元,其特征在于,该电光作用区的材料为加载电信号时能够引起光传输波导及光学腔内的光学特性改变的材料。

5.如权利要求1所述的电光单元,其特征在于,该微型谐振器包括光传输波导和光学谐振腔;其中,光传输波导与光学谐振腔间距满足光的隐逝条件,使得光传输波导中的光能够进入光学谐振腔中。

6.如权利要求1所述的电光单元,其特征在于,该光耦合器利用光的隐逝现象将光信号耦合入该微型谐振器中。

7.如权利要求1所述的电光单元,其特征在于,该光发射器为集成光天线或聚光型光栅。

8.一种基于权利要求1所述电光单元的光学相控阵,其特征在于,包括多个按照设定方式排列的电光单元。

9.如权利要求8所述的光学相控阵,其特征在于,各电光单元的间距为一微米至五百微米,使得出射光具有足够的空间相干性。

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