一种无损耗超高真空光纤导入装置及方法与流程

文档序号:12115537阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种无损耗超高真空光纤导入装置,其特征在于:包括紧固螺帽(1)、中间设有通孔的弹性密封塞(2)和管状接头(3),所述紧固螺帽(1)的帽盖上设有通孔,弹性密封塞(2)的头部塞装在管状接头(3)的左端口,紧固螺帽(1)与管状接头(3)的左端螺纹连接,且使弹性密封塞(2)的尾部位于紧固螺帽(1)的帽腔中。

2.根据权利要求1所述的一种无损耗超高真空光纤导入装置,其特征在于:所述中间设有通孔的弹性密封塞(2)的头部为锥台型,以便与管状接头(3)密封连接。

3.根据权利要求2所述的一种无损耗超高真空光纤导入装置,其特征在于:所述管状接头(3)为一圆柱管,圆柱管左端内壁为与弹性密封塞(2)锥台型头部相匹配的锥形面,在圆柱管左端的外壁设有外螺纹,以便与紧固螺帽(1)螺纹连接。

4.一种采用权利要求1-3任一项所述无损耗超高真空光纤导入装置获取超高真空的方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)将裸光纤依次穿过紧固螺帽、中间设有通孔的弹性密封塞、管状接头和真空法兰进入真空气室,旋转紧固螺帽直到帽盖内侧将弹性密封件压紧;

(2)利用机械泵和涡轮分子泵在常温下制备低真空;

(3)获取低真空后,第一次对紧固螺帽紧固,促使低真空保持和改善;

(4)真空系统烘烤升温,离子泵和过渡真空管道的烘烤温度和加热速度略大于真空室和光纤导入装置;

(5)升温结束后第二次对紧固螺帽紧固;

(6)高温持续烘烤真空系统;

(7)高温烘烤结束后,第三次将紧固螺帽紧固;

(8)真空系统烘烤降温,降温速度低于升温过程,在降温过程中根据真空压强变化适时紧固紧固螺帽,直到最终获得超高真空;

(9)利用高纯液体对光纤导入装置进行检漏。

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