可携式电浆表面处理装置的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种可携式电浆表面处理装置，其可包含可携式壳体、托盘、制程气体容器及电浆头。托盘可设置于可携式壳体中并可供放置目标物。制程气体容器可设置于可携式壳体上。电浆头可设置于可携式壳体中并可与制程气体容器连接，电浆头可发射电浆喷束至目标物上，以对目标物进行表面处理。

技术研发人员：周汉章;张倜
受保护的技术使用者：施吉生技应材股份有限公司
文档号码：201620486055
技术研发日：2016.05.25
技术公布日：2016.12.14