技术总结
本实用新型涉及带流量控制的喷淋系统，包括吸液管、循环泵、液位计、温度计、储液罐、节流阀、流量计、喷淋区、输送管、喷头、防护罩、回收管，喷头为多个，多个喷头呈矩阵排列。输送管上端通过三通接头实现单管转回路功能。液位计、温度计与储液管连接处设置有辅助密封材料。实际使用时，先将蚀刻液按比例调好后泵入储液区，再启动循环泵，蚀刻液在循环泵的作用下，经吸液管流入循环泵，再由循环泵泵入输送管，从而依次流经节流阀、流量计后进入分布有喷头的组成闭合回路的输送管，即可实现蚀刻液喷淋，喷淋后的蚀刻液在喷淋区底部沉积后，经回收管流回储液管，即可形成封闭的回路，实现蚀刻液的循环使用。
技术研发人员：袁树明;韦建晶
受保护的技术使用者：苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
文档号码：201620742484
技术研发日：2016.07.15
技术公布日：2017.02.22