一种N×N通道的MEMS光开关模块的制作方法

文档序号:11382751阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型为一种N×N通道的MEMS光开关模块,两个相同的MEMS芯片和两个相同的N芯准直器安装于同一基板上高度相同。两个N芯准直器的透镜平面与基板垂直且相互平行。两个MEMS芯片的镜片安装平面垂直于基板相互呈90°,分别与两个N芯准直器的透镜矩阵平面成45°相对。第一N芯准直器的某根光纤导入的输入光到达与之相对的第一MEMS芯片的镜片被反射,到达第二MEMS芯片的某个镜片再被反射,进入第二N芯准直器的某个透镜,并由输出光纤输出。控制两个MEMS芯片的镜片,改变光的行进方向,实现全光路切换。输入输出光纤位于MEMS芯片同一侧,方便使用;通道数多,且可同时进行光路切换,响应快,插损低、稳定性好,结构紧凑,体积小,重量轻。

技术研发人员:张策;周剑超;李流超;黄涌;李云燕;郑安贵;唐炳促;余志强
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第三十四研究所;桂林大为通信技术有限公司;桂林信通科技有限公司
文档号码:201621385409
技术研发日:2016.12.16
技术公布日:2017.09.22

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